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第十二屆三束學(xué)術(shù)會(huì)議-文庫吧資料

2025-07-01 03:33本頁面
  

【正文】 為發(fā)展我國電子束、離子束、光子束技術(shù),由中國電子學(xué)會(huì)半導(dǎo)體與集成技術(shù)分會(huì)和生產(chǎn)技術(shù)分會(huì)聯(lián)合主辦的“第十二屆全國電子束、離子束、光子束學(xué)術(shù)年會(huì)”將于2003年的金秋在北京市近郊召開,會(huì)議由中國科學(xué)院微電子中心和中國科學(xué)院電工研究所聯(lián)合承辦?,F(xiàn)將學(xué)術(shù)會(huì)議的征文工作通知如下:一、征文范圍: 1. 電子束、離子束光刻及微細(xì)加工工藝 2. 電子束、離子束輻照材料改性 3. 電子束曝光及相關(guān)技術(shù) 4. 半導(dǎo)體離子注入與離子束合成(包括器件和集成電路) 5. 離子注入及相關(guān)
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