衍射光學(xué)技術(shù)及其應(yīng)用-文庫吧資料
2025-05-18 18:00本頁面
【正文】 算法 全局優(yōu)化潛力優(yōu)化效率不高 優(yōu)化效率高 最早的實用算法是 GS算法，于 1971年由 Gerchberg和 Saxton首先提出。 光學(xué)材料、光子學(xué)材料、光電材料、電子學(xué)材料 ? 熔融石英、硅、 SiO2, SiON, Si3N4 ? 玻璃 glass ? 塑料 plastic ? 丙烯酸 acrylic ? 環(huán)氧 epoxy ? 聚酰胺 polyamide ? 聚碳酸酯 polycarbonate ? 樹脂 resin ? ZnS ? 鋁 aluminum ? 鉻 chromium ? 銅 copper ? 鍺 germanium ? 砷化鍺 germanium arsenide ? 金 gold ? 鎳 nickel 更多的設(shè)計自由度 臺階位置、寬度、深度、形狀等。 特征尺寸 波長，標(biāo)量衍射理論； 特征尺寸 ~波長，矢量衍射理論。 衍射光學(xué) 定義 ：基于光的衍射理論，利用計算機輔助設(shè)計、并用大規(guī)模集成電路制作工藝，在基片上 (或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面 )刻蝕產(chǎn)生兩個或多個臺階深度的浮雕結(jié)構(gòu)，它是一種純位相衍射光學(xué)元件。 微光學(xué) 微光學(xué)兩個主要分支 : 基于折射原理的梯度折射率光學(xué) 基于光波衍射原理的衍射 (二元 )光學(xué) 1987年，美國 MIT林肯實驗室 Veldkamp領(lǐng)導(dǎo)的研究組在設(shè)計新型傳感系統(tǒng)中，率先提出了“二元光學(xué)”的概念。 儀器儀表 光學(xué)儀器儀表 激光 1960年 什么是衍射光學(xué)？ 光學(xué)技術(shù)與儀器的發(fā)展趨勢： 小 (微 )型化、陣列化、集成化。 衍射光學(xué)技術(shù)及其應(yīng)用 譚峭峰 清華大學(xué) 精儀系 光電工程研究所 內(nèi)容： 1. 什么是衍射光學(xué)，優(yōu)勢何在？ 2. 如何設(shè)計衍射光學(xué)器件？ 3. 如何加工衍射光學(xué)器件？ 4. 衍射光學(xué)器件的應(yīng)用 光線：折射、反射 傳播方向由斯涅耳公式確定 能量分配由菲涅耳公式確定 薄透鏡成像 電磁波：衍射、干涉、偏振等 楊氏雙縫干涉實驗 單縫衍射實驗 信息 信息的獲取 信息的傳輸 信息的存儲 信息的處理 信息的顯示 傳統(tǒng)的光學(xué)器件對此卻“心有余而力不足”，供需矛盾就要求在技術(shù)上要有所創(chuàng)新與突破。 二元光學(xué)元件因其在實現(xiàn)光波變換上所具有的許多卓越的、傳統(tǒng)光學(xué)難以具備的功能，而有利于促進光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)微型化、陣列化和集成化，開辟了光學(xué)領(lǐng)域的新視野。 折射透鏡到衍射光學(xué)器件浮雕結(jié)構(gòu)的演變 掩模 曝光 顯影 刻蝕 二元！ 衍射理論：標(biāo)量衍射理論和矢量衍射理論。 菲涅耳衍射： 夫瑯和費衍射： ? 高衍射效率 ? 獨特的色散性能 ? 更多的設(shè)計自由度 ? 寬廣的材料選擇性 ? 特殊的光學(xué)功能 衍射光學(xué)的優(yōu)點： 高衍射效率 L：位相臺階數(shù) ?3?1?2 折衍混合物鏡 傳統(tǒng)物鏡 獨特的色散性能 寬廣的材料可選性 只要能刻蝕的，都能作為基底進行衍射光學(xué)器件的刻蝕。 Micro lens multicolor dispersive beam collimator
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