無(wú)機(jī)合成ppt課件-文庫(kù)吧資料
2025-05-06 18:19本頁(yè)面
【正文】 熱陰極電離真空規(guī) 陰極發(fā)射的電子在柵極作用下，以高速運(yùn)動(dòng)與氣體分子碰撞，使氣體分子電離成離子。但由于不能吸收惰性氣體，因此常與低溫吸附泵聯(lián)用。氣體分子與新鮮鈦膜相碰而化合成固相化合物，即相當(dāng)于氣體被抽走。第四節(jié) 真空合成技術(shù)鈦升華泵 鈦升華泵是一種吸氣劑泵。吸附泵的極限真空主要取決于系統(tǒng)中惰性氣體的含量，一般可達(dá) 107 Pa。第四節(jié) 真空合成技術(shù)分子篩吸附泵 利用分子篩物理吸附氣體的可逆性質(zhì)，可制成分子篩吸附泵。其極限真空在 107~109 Pa。 鈦升華泵 真空的獲得真空泵第四節(jié) 真空合成技術(shù)旋片式機(jī)械泵旋片式機(jī)械真空泵的結(jié)構(gòu)及工作原理第四節(jié) 真空合成技術(shù)油擴(kuò)散泵 油擴(kuò)散泵的臨界反應(yīng)壓強(qiáng)為 10 Pa左右，因此需要與機(jī)械泵配合使用。 分子泵252。真空度
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