微執(zhí)行器ppt課件-文庫吧資料
2025-01-20 16:56本頁面
【正文】 為 4個 工藝步驟 靜電力驅動諧波式微馬達 工作原理 結論：轉子角頻率的值取決于定子半徑和轉子半徑 Rr之差，差值越小，比越小。采用特殊的充磁方法， 在垂直于薄片的方向上寫入磁極。 ? 材料 相變溫度 Mt —— Ms和 Mf的平均值 Mt TiNi冷卻過程 Ms以上奧氏體， Mf以下為馬氏體， M s和 Mf之間（約為 15℃ ）具有馬氏體和兩種相。 ? 微觀執(zhí)行器 —— 微閥、微泵、微開關等。 ? 典型材料 ：聚丙烯酸鹽、聚乙烯醇 ? 作為微執(zhí)行器的特點 ?很高的機械轉換效率 ?無摩擦 ?柔性體 凝膠 ? 工作原理 外加電場下，介電膠體粒子極化并沿電場方向呈鏈狀排列，從而使其流變特性劇烈變化，如粘性、塑性、彈性。微機電系統(tǒng) MicroElectroMechanicalSystem(MEMS) 第 6章 微執(zhí)行器 ? 微執(zhí)行器的致動方式與材料 ? 典型微執(zhí)行器 —— 微馬達 ? 典型微執(zhí)行器 —— 微泵閥與微流量系統(tǒng) ? 典型微執(zhí)行器 —— 梳狀位移驅動器 第一部分 微執(zhí)行器的致動方式與材料 微執(zhí)行器的主要驅動方式及其對應材料 (分類方法 1) 電（靜電 /壓電 /電致伸縮 /凝膠 /電流變體） 磁（磁力 /磁致伸縮） 熱（ SMA/雙金屬 /熱氣動） 光、化學等 采用驅動材料與驅動結構的關系 (分類方法 2) 機械微結構型 —— 運動在零件間生成，材料可應力變形 可變形微結構型 —— 運動在零件材料內生成 再按照剛性、柔性材料分 對比：摩擦、行程、響應、 “ 智能性 ” 、尺度、結構復雜性 壓電效應與逆壓電效應，與電致伸縮原理區(qū)別 典型材料 —— PZT陶瓷（鋯鈦酸鉛 PbZrO3PbTiO3 ），彈性模量為 63000MPa，應變?yōu)? 典型產品 —— 微執(zhí)行器，微閥泵、超聲微馬達、微聲器件等 特點 —— 精確、響應快、推力大 （最大應力 63MPz） 壓電材料 ? 工作原理： 磁場作用下，長度、應力、彈性模量與聲傳播速度均會發(fā)生變化 ?參數： 磁致伸縮系數 λs ? 典型材料： 合金鎳、鎳 — 鈷、鐵 — 鈷、鎳鐵氧體， λs可達 104~103 ? 作為微執(zhí)行器的特點 ?可承受應變比壓電陶瓷（因其磁疇呈直線） ?高的機電耦合系數 ?寬的工作溫區(qū) ?高的精度 ?較大的輸出力 磁致伸縮材料 ? 工作原理 ：液體 +長聚合物分子組成的網狀結構。當凝膠與溶解物化合時，體積膨脹變大，而當溶解物再次被釋放出來時，凝膠的體積收縮變小。 典型用途 ? 宏觀力學元器件 —— 離合器（具有無級可調、容易控制、響應速度高的特點）、減震器（可在約 1ms內實現由低粘度到高粘度的變化，從而可獨立而迅速地實現減震）、液壓閥等。 ? 作為微執(zhí)行器的特點
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