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微波放電zzppt課件-文庫吧資料

2025-01-20 16:48本頁面
  

【正文】 Lab 下圖則是一種微波等離子體輔助 CVD反應器,利用此反應器成功地在非常低的基片溫度(約 100度)下沉積出質量很好的氧化硅膜。 USTC ABCD Lab ? 微波等離子體的發(fā)生方法 ? 采用微波放電時,由微波電源發(fā)生的微波通過傳輸線傳輸?shù)絻δ茉?,再以某種方式與放電管耦合,通過電磁場將能量賦予當作負載的放電氣體,無需在放電空間設置電極而功率卻可以局部集中,因此可獲得高密度等離子體。 E型放電和 H型放電 USTC ABCD Lab 感應耦合放電( H型放電) Matching Box RF Power Gas Vacuum chamber USTC ABCD Lab 微波放電( E型放電)簡介 ? 微波放電:微波放電是將微波能量轉換為氣體分子的內能,使之激
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