【正文】
of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan ? 測(cè)量范圍: 300*300*300 mm ? 3 軸體積干涉儀測(cè)量位移 ? 測(cè)量不確定度 : 30nm ? 定位重復(fù)性 : 5 nm 韓國(guó) BUPE超高精度 CMM Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 瑞士 METASCMM ?測(cè)量范圍: 90*90*38mm ?平面激光干涉儀系統(tǒng)測(cè)量平臺(tái)三維定位位置 ?重復(fù)性: 5nm ?精度: 30nm ?探頭直徑: mm至 1 mm Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 用于 STM/AFM的 測(cè)量機(jī)臺(tái) 美國(guó) MIT與北卡大學(xué)合作的Subatomic 測(cè)量機(jī) 美國(guó) NIST的分子測(cè)量機(jī) Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 臺(tái)灣大學(xué) NanoCMM Autofocus probe PZT XY stage Nanomotion Xamp。Nano Measurement Lab. School