中科院半導(dǎo)體研究所自主研發(fā)實(shí)驗(yàn)型mocvd用戶手冊(參考版)
2025-08-10 15:41本頁面
【正文】 第 36 頁 共 36 頁。 狀態(tài)欄 狀態(tài)欄位于主界面的底部。如果在故障響應(yīng)動(dòng)作執(zhí)行時(shí)正在自動(dòng)執(zhí)行工藝則立刻停止工藝的自動(dòng)執(zhí)行。其編輯過程與工藝流程的動(dòng)作編輯一樣。如果發(fā)生故障的故障碼為1，則執(zhí)行動(dòng)作1。用戶可以自定義故障告警動(dòng)作列表。u 狀 態(tài)：沒有發(fā)生故障時(shí)，狀態(tài)顯示為“無告警”；發(fā)生故障時(shí)，狀態(tài)為相對應(yīng)告 警開關(guān)量的輸入，并以紅色字體顯示。故障告警列表顯示20個(gè)開關(guān)量輸入的狀態(tài)，當(dāng)發(fā)生故障告警時(shí)會以紅色顯示告警開關(guān)量的輸入。注意：工藝執(zhí)行過程中也可以設(shè)置模擬量和開關(guān)量，注意保持狀態(tài)參數(shù)的一致性。216。若沒有定義步驟：彈出如下對話框 在自動(dòng)執(zhí)行工藝時(shí)候，可進(jìn)行如下操作：216。 選擇多列：可同時(shí)選中多列，但執(zhí)行時(shí)執(zhí)行所選列的首列 。216。如下圖所示: 執(zhí)行工藝流程u 模擬執(zhí)行：勾選后，可以選擇單步執(zhí)行也可以選擇自動(dòng)執(zhí)行，但是不發(fā)送命令，無需連接硬件設(shè)備。 其他（OPEN/CLOSE,RUN/VENT,H2/AsH3,…）:執(zhí)行相應(yīng)的動(dòng)作。 無動(dòng)作：選擇“無動(dòng)作”表示該部件沒有定義操作，即刪除當(dāng)前定義的操作，并同時(shí)修改當(dāng)前單元格和后面連續(xù)“無動(dòng)作“的單元格的背景色與前列同。進(jìn)行刪除部件操作后，計(jì)時(shí)起點(diǎn)下拉框中的項(xiàng)目也會同步改變，即刪除相應(yīng)的部件項(xiàng)目。 刪除部件操作：要?jiǎng)h除單元格的操作，單擊單元格（不要雙擊），在單元格的非編輯狀態(tài)下點(diǎn)擊del鍵即可，刪除成功后單元格會顯示為空白。 修改部件操作：雙擊單元格進(jìn)入模擬量編輯時(shí)，自動(dòng)顯示該部件最近設(shè)置的置，輸入新的值，即完成修改。與此同時(shí)，計(jì)時(shí)起點(diǎn)下拉框中的項(xiàng)目也會同步改變，即增加相應(yīng)的部件項(xiàng)目。u 修改模擬量部件的操作216。216。216。 若當(dāng)前工藝文件已經(jīng)定義有步驟，點(diǎn)擊“插入列（前）”按鈕或“插入列（后）”按鈕可在當(dāng)前選中的單元格所在列的前或者后插入列。新列的默認(rèn)值如下：執(zhí)行次數(shù)＝執(zhí)行1次持續(xù)時(shí)間＝00:00:00計(jì)時(shí)起點(diǎn)＝溫度溫度＝0壓力＝0開關(guān)量＝無動(dòng)作，背景色為白色模擬量＝空。 插入列178。 修改壓力：程序發(fā)送命令設(shè)置目標(biāo)壓力。 修改“溫度”：設(shè)定當(dāng)前步驟的目標(biāo)溫度值。該下拉框顯示的是當(dāng)前步驟的所有有效的操作。 修改“計(jì)時(shí)起點(diǎn)”：該屬性用于設(shè)定步驟計(jì)時(shí)的起始事件，計(jì)時(shí)的時(shí)間長度為前面定義的“持續(xù)時(shí)間”，當(dāng)計(jì)時(shí)超過“持續(xù)時(shí)間”時(shí)，自動(dòng)進(jìn)入下一步執(zhí)行。 修改“持續(xù)時(shí)間”：設(shè)定當(dāng)前步驟的持續(xù)時(shí)間。 224。 224。 224。舉例：定義9個(gè)步驟，若步驟3－5，8定義為循環(huán)執(zhí)行，6為不執(zhí)行，其他步驟為執(zhí)行1次，循環(huán)執(zhí)行次數(shù)定義為3次，則執(zhí)行的順序如下： |循環(huán)3次| 不執(zhí)行|執(zhí)行1次|循環(huán)3次|執(zhí)行1次|1 2 3 4 5 6 7 8 9224。 修改“執(zhí)行次數(shù)”：單擊步驟的“執(zhí)行次數(shù)”單元格，下拉框 可供選擇的項(xiàng)目有：不執(zhí)行，執(zhí)行1次，循環(huán)執(zhí)行。 修改“說明”：該屬性用于對步驟進(jìn)行注釋，可單擊步驟的“說明”單元格直接填寫文本，可以換行。以下修改直接在工藝表格上進(jìn)行?？梢栽谧詣?dòng)執(zhí)行工藝前向溫控表發(fā)送指令以運(yùn)行指定的溫控曲線。216。 修改循環(huán)次數(shù)：，直接輸入循環(huán)次數(shù)即可完成修改。 名稱右邊的文本框中輸入工藝的名稱，工藝流程上面的工藝名稱同步變化，修改結(jié)果同時(shí)保存到工藝文件。216。u 打開編輯模式：如下圖所示。選擇了保存路徑后系統(tǒng)進(jìn)入工藝文件編輯狀態(tài)。 文件不存在：若指定的工藝文件不存在，則給出如下提示信息： 216。工藝流程界面如下圖所示： 打開工藝文件點(diǎn)擊“打開”按鈕打開指定的工藝文件。l 操作(Process Operation)：是工藝流程執(zhí)行的最小元素，一個(gè)操作代表對控制器一次命令的執(zhí)行，如設(shè)置一個(gè)模擬量為指定值或者打開/關(guān)閉某開關(guān)量。一個(gè)步驟的屬性包括：步驟說明、執(zhí)行次數(shù)、持續(xù)時(shí)間、計(jì)時(shí)起點(diǎn)、溫度、壓力。l 步驟(Process Step)：一個(gè)步驟在工藝中表現(xiàn)為一列，有時(shí)也稱步驟為列。不同部件的實(shí)時(shí)圖線，顏色不同，具體見圖線顯示區(qū)域右邊的部件曲線顏色對應(yīng)圖，如下圖所示 工藝流程工藝文件以*.cdb文件格式保存。 左側(cè)為圖線顯示區(qū)域，可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示多條圖線（對應(yīng)著多個(gè)部件），橫軸為時(shí)間軸，時(shí)間格式為HH：mm：ss（采用24小時(shí)制），縱軸代表各個(gè)部件的實(shí)際監(jiān)測值，單位隨部件不同而不同。 調(diào)節(jié)縱向顯示比例 調(diào)節(jié)以壓縮或者拉伸圖線縱向的比例。216。216。216。216。216。216。216。216
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