微電子的過去-現(xiàn)在和未來(參考版)
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【正文】 采用新的芯片制造技術(shù) .采用新的材料 . 2. 1. 1 英寸晶圓過渡到 12 英寸晶圓 8 現(xiàn)在業(yè)內(nèi)采用的晶圓直徑一般為 200mm ( 8 英寸) ,目前的趨勢(shì)是提升到 300mm ( 12 英寸) .晶圓直徑由 8 英寸過渡到 12 英寸 ,大約可以增加 240 ( 的單位產(chǎn)能 , 降低 30 ( 的制造成本以及約 40 ( 的能源與水資源的 消耗 .300mm 之后將是 450mm ( 18 英寸) , 目前已處于研究階段 , 估計(jì)到 2009 年進(jìn)入生產(chǎn)階段 。 銅互連技術(shù)取代鋁互聯(lián)技術(shù) 。 μ 1979 年 ,第一塊成功用于個(gè)人電腦的 CPU 8088 內(nèi)含 2. 9 萬個(gè)晶體管 ,線寬 2 m 。 從前沿技術(shù)方面介紹了微電子技術(shù)的發(fā)展方向 。建議您優(yōu)先選擇TXT，或下載源文件到本機(jī)查看。如果健康消失了，其他的存折都會(huì)過期。，這世間，相愛的原因有很多，但分開的理由只有一個(gè)愛的還不夠。人生有四個(gè)存折：健康 情感 事業(yè)和金錢。 本文由woaixi27貢獻(xiàn) pdf文檔可能在WAP端瀏覽體驗(yàn)不佳。 第 15 卷第 2 期 武漢工程職業(yè)技術(shù)學(xué)院 Vol . 15. No. 2 2003 年 6 月 Journal of Wuhan Engineering Institute June. 2003 微電子的過去 , 現(xiàn)在和未來 嚴(yán)兆輝 ( 華中科技大學(xué)電子系 武漢 :430074) 摘 要 本文從微電子技術(shù)產(chǎn)生的背景 , 過程 , 取得的巨大成果及目前發(fā)展的不利因素介紹了微電子 技術(shù)的歷史和現(xiàn)狀 。 介紹了中國(guó)在微電子技術(shù)上取得的成 果和尚且存在的許多問題 ,并闡明了中國(guó)必須大力發(fā)展微電子技術(shù) . 關(guān)鍵詞 微電子技術(shù) 歷史 現(xiàn)狀 發(fā)展方向 中國(guó)微電子產(chǎn)業(yè) 中圖分類號(hào) :TN4 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼 :A 文章編號(hào) :1671 3524 ( 2003) 02 0030 05 1 微電子技術(shù)的歷史及現(xiàn)狀 1. 1 微電子技術(shù)的發(fā)展史 微電子技術(shù)是隨著集成電路 ,尤其是超大規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術(shù) .它包括系統(tǒng)電路 設(shè)計(jì) , 器件物理 , 工藝技術(shù) , 材料制備 , 自動(dòng)測(cè)試以及封裝 , 組裝等一系列專門的技術(shù) , 是微電子學(xué)中的各項(xiàng) 工藝技術(shù)的總和 .微電子技術(shù)是在電子電路和系統(tǒng)的超小型化和微型化過程中逐漸形成和發(fā)展起來的 ,其 核心是集成電路 ,即通過一定的加工工藝 ,將晶體管 , 二極管等有源器件和電阻 , 電容等無源器件 ,按照一定 的電路互聯(lián) ,采用微細(xì)加工工藝 ,集成在一塊半導(dǎo)體單晶片 ( 如硅和砷化鎵 ) 上 , 并封裝在一個(gè)外殼內(nèi) , 執(zhí)行 特定電路或系統(tǒng)功能 .與傳統(tǒng)電子技術(shù)相比 ,其主要特征是器件和電路的微小型化 .它把電路系統(tǒng)設(shè)計(jì)和 制造工藝精密結(jié)合起來 ,適合進(jìn)行大規(guī)模的批量生產(chǎn) ,因而成本低 ,可靠性高 . 微電子技術(shù)是十九世紀(jì)末 ,二十世紀(jì)初開始發(fā)展起來的新興技術(shù) ,它在二十世紀(jì)迅速發(fā)展 ,成為近代科 技的一門重要學(xué)科 .1904 年 ,英國(guó)科學(xué)家弗萊明 (John Fleming) 在像燈泡一樣的玻璃管中加進(jìn)第二個(gè)電極 , 從而發(fā)明了第一個(gè)電子管 二極管 ,它可以給電子整流 .過了不久 ,美國(guó)的德福雷斯特 (Lee de Forest ) 在 燈絲和極板之間加入了柵極 ,從而發(fā)明了三極管 ,并于 1906 年申請(qǐng)了專利 .比起二極管 ,三極管有更高的敏 感度 ,而且集檢波 , 放大和振蕩三種功能于一體 .電子管不僅廣泛應(yīng)用于電話放大器和通訊領(lǐng)域 ,也廣泛應(yīng) 用于家庭娛樂領(lǐng)域 ,如廣播 , 收音機(jī) , 電視機(jī) , 甚至在飛機(jī) , 雷達(dá) , 火箭等高新領(lǐng)域都廣泛的使用了電子管 . 電子管的發(fā)明 ,使得電子技術(shù)高速發(fā)展起來 .然而 , 電子管體積大 , 笨重 , 能耗大 , 壽命短的缺點(diǎn) , 使得人們 迫切需要一種新的電子元件來替代電子管 .同時(shí) ,飛速發(fā)展的理論也為創(chuàng)新鋪平了道路 .二十世紀(jì)二十年 代 ,理論物理學(xué)家們建立了量子物理 ,1928 年普朗克應(yīng)用量子力學(xué) ,提出了能帶理論的基本思想 ,1931 年英 國(guó)物理學(xué)家威爾遜在能帶理論的基礎(chǔ)上 ,提出半導(dǎo)體的物理模型 ,1939 年肖特基 , 莫特和達(dá)維多夫 , 建立了 擴(kuò)散理論 .這些理論上的突破 ,為半導(dǎo)體的問世提供了理論基礎(chǔ) .1947 年 12 月 23 日 ,貝爾實(shí)驗(yàn)室的巴丁和 布拉頓制成了世界上第一個(gè)晶體管 .此后不久 , 貝爾實(shí)驗(yàn)室的肖克利又于 1948 年 11 月提出一種更好的結(jié) 型晶體管的設(shè)想 .到了 1954 年 ,實(shí)用的晶體管開發(fā)成功 , 并由貝爾實(shí)驗(yàn)室率先應(yīng)用在電子開關(guān)系統(tǒng)中 .與 以前的電子管相比 ,晶體管體積小 , 能耗低 , 壽命長(zhǎng) , 更可靠 ,因此 ,隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步 ,晶體管在眾多領(lǐng) 域逐步取代了電子管 .更重要的是 , 體積微小的晶體管使集成電路的出現(xiàn)有了可能 .1952 年 , 英國(guó)雷達(dá)研 究所
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