光電傳感器的原理及應(yīng)用(參考版)
2025-06-19 02:39本頁面
【正文】 。三．微機械加工技術(shù)半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴散、沉積、平面電子工藝，各向?qū)愿g及蒸鍍，濺射薄膜等，這些都已引進到傳感器制造本文從電感式傳感器的原理及應(yīng)用出發(fā)，對傳感器的發(fā)展和應(yīng)用進行了研究。如今傳感器新技術(shù)的發(fā)展，主要有以下幾個方面：一．發(fā)現(xiàn)并利用新現(xiàn)象利用物理現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、生物效應(yīng)作為傳感器原理，所以研究發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象與新效應(yīng)是傳感器技術(shù)發(fā)展的重要工作，是研究開發(fā)新型傳感器的基礎(chǔ)。它通過編制軟件實現(xiàn)儀表的高精度、智能化、多功能化，經(jīng)過反復(fù)的實驗與使用，已證明其精度高、操作方便、性能穩(wěn)定。例如，檢查工件的厚度、內(nèi)徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動等，被廣泛應(yīng)用于精密機械制造業(yè)、晶體管和集成電路制造業(yè)以及國防、科研、計量部門的精密長度測量。這種傳感器的量程大，靈敏度低，結(jié)構(gòu)簡單，便于制作。其工作原理基于線圈磁力線泄漏路徑上磁阻的變化。原理圖如下所示：它的靈
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