精密工作臺(tái)概述ppt課件(參考版)
2025-05-07 06:07本頁(yè)面
【正文】 。 /s； ⑥ 最大加速度值： 18000176。 /s177。 /s～ 18000176。 三、精密工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)型式 ? 平面單層式結(jié)構(gòu) 機(jī)械式 氣浮式① 氣浮式② ? 雙層結(jié)構(gòu) ? 大行程納米級(jí)精密工作臺(tái)的實(shí)現(xiàn) ? 回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的實(shí)現(xiàn) 四、精密工作臺(tái)的設(shè)計(jì) ? 精密回轉(zhuǎn)工作臺(tái) 技術(shù)要求 ① 有效負(fù)載：不小于 4Kg； ② 臺(tái)面尺寸：不小于 248。 控制系統(tǒng)主要由主控制系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)指令給定系統(tǒng)和位置伺服控制系統(tǒng)等組成。此外，還有兩種新型導(dǎo)軌：柔性鉸鏈和懸浮導(dǎo)軌。 ? 4. 直線導(dǎo)向技術(shù) 導(dǎo)軌在工作臺(tái)中起著承載和導(dǎo)向的作用，決定著工作臺(tái)的導(dǎo)向精度、運(yùn)動(dòng)軌跡，直接
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