型傳感器綜述ppt課件(參考版)
2025-05-01 22:58本頁面
【正文】 三、新加工工藝 1011學(xué)年第二學(xué)期 新型傳感器 （蒸發(fā)、濺射、化學(xué)氣相沉積（CVD）、） 三、新加工工藝 1011學(xué)年第二學(xué)期 新型傳感器 （蒸發(fā)、濺射、化學(xué)氣相淀積（CVD）、分子束外延（ MBE）） 化學(xué)氣相淀積（ CVD） :使用加熱、等離子體和紫外線等各種能源，使氣態(tài)物質(zhì)經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)物質(zhì)淀積在襯底上的方法。在電軸和機(jī)械軸方向具有壓電效應(yīng)，而在光軸方向具有雙折射效應(yīng)。作為敏感材料主要可以用在壓電、熱釋電、光電材料等?！?模 ”的總數(shù)用歸一化頻率 表示， 在 之間。沿徑向的平面波在纖芯與包層的界面處全反射，每一往復(fù)傳輸?shù)南辔蛔兓? 的整數(shù)倍時，就可以對徑向形成駐波，稱為“?！?。 2/v rN A???特殊光導(dǎo)纖維，典型的有保偏光導(dǎo)纖維。 2212= s i n CN A n n? ? 二、光導(dǎo)纖維及其傳光原理 光纖傳感器 二、光導(dǎo)纖維及其傳光原理 歸一化頻率： 能夠傳輸較大 v值的光纖（即能夠傳輸較多的模）叫多模光纖；僅能傳輸 v值小于 。 光纖傳感器 數(shù)值孔徑： 表示向光纖入射信號光波難易程度的參數(shù)。 半導(dǎo)體 敏感材料 1011學(xué)年第二學(xué)期 新型傳感器 材料類型 典型材料 可測物理量 備注 單晶 Si、 Ge 力、光、磁 多晶 Si 光、壓、熱 可制成薄 膜 非晶態(tài) aSi： H 熱、應(yīng)變、光 制作成薄 膜 異質(zhì)結(jié)外延 Si 加速度、壓力、酶 在藍(lán)寶石上定向外延的單晶膜 化合物 GaAs、 InSd、 ZnS、CdS、 TeCdHg、PbS 力、磁、光、紫外、紅外、超聲 光導(dǎo)纖維 1011學(xué)年第二學(xué)期 新型傳感器 光纖作為遠(yuǎn)距離傳輸光波信號的媒質(zhì)，最早用于光通信技術(shù)。 按結(jié)晶狀態(tài)可分為單晶、多晶、非晶和微晶等， 按電子結(jié)構(gòu)和化學(xué)鍵可分為金屬、陶瓷和聚合物等； 按物理性質(zhì)可分為超導(dǎo)體、導(dǎo)體、半導(dǎo)體、介電體、壓電體、鐵磁體、鐵彈體、磁彈體等； 二、 新型敏感材料 1011學(xué)年第二學(xué)期 新型傳感器 按形態(tài)分有摻雜、微粉、薄膜、塊狀、纖維等； 按功能可分為力敏、壓敏、光敏、色敏、聲敏、磁敏、氣敏、濕敏等。 0ff? 0ff? 多普勒效應(yīng) 1011學(xué)年第二學(xué)期 新型傳感器 ? 如光波，設(shè)光波與傳感器之間相對運(yùn)動的方向在同一直線上，光波源的頻率為 f0， 當(dāng)兩者以速度 v相對于光源運(yùn)動，在光速為 c的情況下，傳感器所接受到的光波信號頻率為 f，則 式中， 表示傳
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