[工學]傳感器與檢測技術(shù)第2章6大位移感應(yīng)同步器、激光(參考版)
2024-10-19 18:24本頁面
【正文】 。 28 第三節(jié) 大位移傳感器 四 、 激光式位移傳感器 （ 1） 單頻激光干涉?zhèn)鞲衅? 29 第三節(jié) 大位移傳感器 四 、 激光式位移傳感器 （ 1） 單頻激光干涉?zhèn)鞲衅? ?單頻激光干涉測長傳感器的精度高 ， 分辨力高 ， 測量 1m長度時 ， 其精度可達 107量級 ，測 10m可達 1?m精度 ， 但對環(huán)境條件要求高 。 ?激光干涉測長技術(shù) ， 目前已廣泛地應(yīng)用于精密長度測量 ， 如磁尺 、 感應(yīng)同步器 、 光柵的檢定；精密機床位移檢測與校正；集成電路制作中的精密定位等 。 24 第三節(jié) 大位移傳感器 例題 感應(yīng)同步器 定尺上的感應(yīng)電動勢為： 其中 W＝ 若 E=10sin(100t+?)， 求此時測得的位移 l 2s i n ? ?????????iE U k l tW25 第三節(jié) 大位移傳感器 四 、 激光式位移傳感器 ?由 激光器 、 光學元件 、 光電轉(zhuǎn)換元件 構(gòu)成的激光測量系統(tǒng) ?將被測 位移量 轉(zhuǎn)換成 電信號 。 目前幾米到幾十米的大型機床工作臺位移的直線測量 ， 大多采用感應(yīng)同步器來實現(xiàn) 。 可以根據(jù)測量長度的需要 ， 將若干根定尺拼接 。 但需裝設(shè)防護罩 ， 防止鐵屑進入其氣隙 。 定尺和滑尺 ， 定子和轉(zhuǎn)子互不接觸 ， 沒有摩擦 、 磨損 ， 所以使用壽命很長 。 平面繞組的阻抗很小 ， 受外界干擾電場的影響很小 。 21 第三節(jié) 大位移傳感器 三 、 感應(yīng)同步器 ?② 抗干擾能力強 。 其測量精度首先取決于印制電路繞組的加工精度 ， 溫度變化對其測量精度影響不大 。 ?在數(shù)控機床與大型測量儀器中常用它測量位移 。 18 第三節(jié) 大位移傳感器 三 、 感應(yīng)同步器
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