【正文】 因此，我們應(yīng)該加大對(duì)傳感器技術(shù)研究、開(kāi)發(fā)的投入，使我國(guó)傳感器技術(shù)與外國(guó)差距縮短，促進(jìn)我國(guó)儀器儀表工業(yè)和自化化技術(shù)的發(fā)展。 傳感器的發(fā)展日新月異，特別是 80 年代人類(lèi)由高度工業(yè)化進(jìn)入信息時(shí)代以來(lái)，傳感器技術(shù)向更新、更高的技術(shù)發(fā)展。美國(guó)宇航局在開(kāi)發(fā)宇宙飛船時(shí)稱(chēng)這種傳感器為靈巧傳感器（ Smart Sensor），在宇宙飛船上這種傳感器 是非常重要的。美國(guó) HONY WELL公司 ST3000型智能傳感器，芯片尺寸才有 3 4 2mm3，采用半導(dǎo)體工藝，在同一芯片上制成 CPU、 EPROM、靜壓、壓差、溫度等三種敏感元件。 智能化傳感器是一種帶微處理器的傳感器，是微型計(jì)算機(jī)和傳感器相結(jié)合的成果，它兼有檢測(cè)、判斷和信息處理功能，與傳統(tǒng)傳感器相比有很多特點(diǎn)： 具有判斷和信息處理功能，能對(duì)測(cè)量值進(jìn)行修正、誤差補(bǔ)償，因而提高測(cè)量精度； 可實(shí)現(xiàn)多傳感器多參數(shù)測(cè) 量； 有自診斷和自校準(zhǔn)功能，提高可靠性； 測(cè)量數(shù)據(jù)可存取，使用方便； 有數(shù)據(jù)通信接口，能與微型計(jì)算機(jī)直接通信。 中國(guó)航空總公司北京測(cè)控技術(shù)研究所，研制的 CYJ 系列濺謝膜壓力傳感器是采用離子濺射工藝加工成金屬應(yīng)變計(jì)，它克服了非金屬式應(yīng)變計(jì)易受溫度影響的不足，具有高穩(wěn)定性，適用于各種場(chǎng)合，被測(cè)介質(zhì)范圍寬，還克服了傳統(tǒng)粘貼式帶來(lái)的精度低、遲滯大、蠕變等缺點(diǎn)，具有精度高、可靠性高、體積小的特點(diǎn)，廣泛用于航空、石油、化工、醫(yī)療等領(lǐng) 域。在工業(yè)控制、航空航天領(lǐng)域、生物醫(yī)學(xué)等方面有重要的作用，如飛機(jī)上利用可減輕飛機(jī)重量，減少能源。其測(cè)量最高精度可達(dá) %FS。核心部分由感壓硅膜片和硅膜片上面制作的兩個(gè)諧振梁結(jié)成，兩個(gè)諧振梁的頻差對(duì)應(yīng)不同的壓力，用頻率差的方法測(cè)壓力，可消除環(huán)境溫度等因素帶來(lái)的誤差。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器，如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器，利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器，利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。將集成光路器件代替原有 光學(xué)元件和無(wú)源光器件，使光纖傳感器有高的帶寬、低的信號(hào)處理電壓，可靠性高，成本低。如 Idec Izumi 公司和 Suns 公司。光纖傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比有許多特點(diǎn)：靈敏度高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積 小、耐腐蝕、電絕緣性好、光路可彎曲、便于實(shí)現(xiàn)遙測(cè)等。 光導(dǎo)纖維的應(yīng)用是傳感材料的重大突破，其最早用于光通信技術(shù)。測(cè)量范圍可從 0 到 60mpa。采用先進(jìn)的陶瓷技術(shù)，厚膜電子技術(shù)，其技術(shù)性能穩(wěn)定，年漂移 量小于 %,溫漂小于177。利用這個(gè)原理制成等離子聚合法聚苯乙烯薄膜溫度傳感器，其有以下特點(diǎn)：測(cè)濕范圍寬；溫度范圍寬，可達(dá) 400℃～ +1500℃；響應(yīng)速度快，小于 1S；尺寸小，可用于小空間測(cè)濕；溫度系數(shù)小。高分子電介常數(shù)小，水分子能提高聚合物的介電常數(shù)。例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器；光導(dǎo)纖維能制成壓力、流量、溫度、 位移等多種傳感器；用陶瓷制成壓力傳感器。美國(guó)加州大學(xué)巳研制出這類(lèi)傳感器。用這種抗體制成的免疫傳感器可對(duì)某生物體內(nèi)是否有這種抗原作檢查?？捎糜诖懦上窦夹g(shù)，有廣泛推廣價(jià)值。 日本夏普公司利用超導(dǎo)技術(shù)研制成功高溫超導(dǎo)磁性傳感器，是傳感器技術(shù)的重大 突破，其靈敏度高，僅次于超導(dǎo)量子干涉器件。世界許多發(fā)達(dá)國(guó)家都在加快對(duì)傳感器新技術(shù)的研究與開(kāi)發(fā)，并且都已取得極大的突破?，F(xiàn)代的計(jì)算機(jī)技術(shù)和通信技術(shù)由于超大規(guī)模集成電路 的飛速發(fā)展，而已經(jīng)充分發(fā)達(dá)后，不僅對(duì)傳感器的精度、可靠性、響應(yīng)速度、獲取的信息量要求越來(lái)越高，還要求其成本低廉且使用方便。自動(dòng)化程度越高，系統(tǒng)對(duì)傳感器要求越高。輸出信號(hào)有不同形式，如電壓、電流、頻率、脈沖等，能滿足信息傳輸、處理、記錄、顯示、控制要求，是自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)中不可缺少的元件。 Has the data munication interface, can and the microputer direct munication. The sensor, the signal adjustment electric circuit, the monolithic integrated circuit integration forms ultra largescale integrated on a chip the senior intelligence sensor. American HONY WELL Corporation ST3000 intelligence sensor, the chip size only then has 342mm3, uses the semiconductor craft, makes CPU, EPROM, the static pressure, the differential pressure, the temperature on the identical chip and so on three kind of sensitive units. The intellectualized sensor research and the development, US is at the leading position. American Space Agency when development spaceship called this kind of sensor for the clever sensor (Smart Sensor), on the spaceship this kind of sensor is extremely important. Our country in this aspect research and development also very backward mainly is because our country semiconductor integrated circuit technological level is limited. The sensor’s development is changing day after day since especially the 8039。 Has from the diagnosis and from the calibration function, enhances the reliability。s frequency difference correspondence different pressure, measures the pressure with the frequency difference method, may eliminate the error which factor and so on ambient temperature brings. When ambient temperature change, two resonant Liang frequencies and the amplitude variation are same