led芯片制造的工藝流程教材-wenkub.com
2025-03-11 17:58 本頁面
【正文】 2023年 4月 1日星期六 7時(shí) 2分 22秒 07:02:221 April 2023 ? 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 , April 1, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 。 :02:2207:02Apr231Apr23 ? 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無限完美。 2023年 4月 1日星期六 7時(shí) 2分 22秒 07:02:221 April 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 :02:2207:02:22April 1, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見青山。 , April 1, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 五、 LED芯片電極 P極和 N極的制作 pn結(jié)電極 ? L型電極：芯片上要兩個(gè)電極 ? V型電極：相對(duì) L型電極，芯片上只要一個(gè)電極，導(dǎo)熱性能好，光輸出功率高，大電流 LED工作的 IP特性好 五、 LED芯片電極 P極和 N極的制作 藍(lán)寶石襯底與碳化硅襯底的 LED芯片不同的電極 五、 LED芯片電極 P極和 N極的制作 激光切割外延片成芯片 六、 LED外延片的切割成芯片 六、 LED外延片的切割成芯片 芯片分選機(jī) 六、 LED外延片的切割成芯片 小 結(jié) ? MOCVD外延片的制作：包括襯底的選擇、 MOCVD鍍膜技術(shù)簡(jiǎn)介、成品外延片的檢測(cè)。 ? 結(jié)論： LED芯片的 pn結(jié)電極直接影響 LED器件的質(zhì)量。 四、 LED對(duì)外延片的技術(shù)要求 外延片檢測(cè) ? 表面平整度 ? 厚度的均勻性 ? 徑向電阻分布 四、 LED對(duì)外延片的技術(shù)要求 外延片檢測(cè) 外延片（晶圓） 抽取九個(gè)點(diǎn)做參數(shù)測(cè)試 四、 LED對(duì)外延片的技術(shù)要求 SSP3112W LED外延片光色電參數(shù)測(cè)試儀 ? 杭州星譜光電科技有限公司 四、 LED對(duì)外延片的技術(shù)要求 SSP3112W LED外延片光色電參數(shù)測(cè)試儀 四、 LED對(duì)外延片的技術(shù)要求 五、 LED芯片電極 P極和 N極制作 ? ，看到 LED結(jié)構(gòu)有內(nèi)部電極和外部電極。但改變組分的同時(shí)使得直接躍遷半導(dǎo)體材料變?yōu)殚g接躍遷，影響發(fā)光效率。 ? 有些專家經(jīng)常用一個(gè)國(guó)家或地區(qū)擁有 MOCVD外延爐的數(shù)量來衡量這個(gè)國(guó)家或地區(qū)的光電行業(yè)的發(fā)展規(guī)模。最新的 MOCVD技術(shù)。 三、 LED外延片的制作 MOCVD參數(shù)實(shí)例 ? 設(shè)備參數(shù)和配置： 外延片 3 2 英寸 /爐 ? 反應(yīng)腔溫度控制： 1200℃ ? 壓力控制： 0～ 800Torr（ 1 Torr≈ ） ? 激光干涉在位生長(zhǎng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) ? 反應(yīng)氣體：氨氣，硅烷（純度：6N=% ） ? 載氣：氫氣，氮?dú)?；（純度?6N） ? MOCVD源：三甲基鎵 (TMGa)，三甲基銦(TMIn), 三甲基鋁 (TMAl)，二茂基鎂 (Cp2Mg) 三、 LED外延片的制作 國(guó)產(chǎn) MOCVD設(shè)備 ? 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 ? 上游產(chǎn)業(yè) 一、 LED芯片制造設(shè)備 國(guó)產(chǎn) MOCVD設(shè)備指標(biāo) ? 產(chǎn)品描述： GaNMOCVD設(shè)備是集精密機(jī)械、電子、物理、光學(xué)、計(jì)算機(jī)多學(xué)科為一體，是一種自動(dòng)化程度高、價(jià)格昂貴、技術(shù)集成度高的尖端電子專用設(shè)備，用于 GaN系半導(dǎo)體材料的外延生長(zhǎng)和藍(lán)色、綠色或紫色 LED芯片的制造，是國(guó)家半導(dǎo)體照明（白光 LED）工程實(shí)施中最為關(guān)鍵的芯片制造設(shè)備，也是光電子行業(yè)最有發(fā)展前景的專用設(shè)備。 三、 LED外延片的制作 MOCVD參數(shù)實(shí)例 南京大學(xué)省光電信息功能材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室使用 三、 LED外延片的制作 MOCVD參數(shù)實(shí)例 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 本系統(tǒng)為英國(guó) Thomas Swan公司制造，具有世界先進(jìn)水平的商用金屬有機(jī)源氣相外延(MOCVD)材料生長(zhǎng)系統(tǒng)，可用于制備以 GaN為代表的第三代半導(dǎo)體材料。 三、 LED外延片的制作 MOCVD反
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