【正文】 阿貝原理要求，測量軸要接近于刀尖，以便消除按杠桿原理放大誤差的可能性。導(dǎo)軌是超精密加工機(jī)床上保證實(shí)現(xiàn)精密微量進(jìn)給的重要要素之一，雖有多種形式可供選擇，但采用得最為廣泛的是液體靜壓導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌。 增量式液壓傳動。缺點(diǎn)是保證油溫和油壓穩(wěn)定的系統(tǒng)較復(fù)雜。 壓電和磁致伸縮傳動。僅適合在小型機(jī)床上用。 摩擦傳動。特點(diǎn)是剛度大，可實(shí)現(xiàn)的增量位移為 100nm （）。為此，可供選擇的進(jìn)給傳動方式有以下幾種： 用此結(jié)構(gòu)的主軸精度（徑向和軸向跳動）可達(dá) 。 177。 C 和177。 選用熱脹系數(shù)α和導(dǎo)熱系數(shù)λ值低的材料作機(jī)床的重要零部件材料。為了實(shí)現(xiàn)這些基本原則和要求，超精密加工機(jī)床設(shè)計(jì)時(shí)，經(jīng)常采取的一些原則措施有： 前者的實(shí)質(zhì)是使電解加工過程中所產(chǎn)生并留下的氧化膜由磨料從被加工表面上去掉以獲得鏡面；後者則是借助離子發(fā)生器射出的離子束對表面進(jìn)行研、拋。 3 )電物理加工法 測量時(shí)，激光干涉儀沿 X 和 Y 坐標(biāo)移動，或沿 X ， Y 中之一的方向移動和工作臺（5）轉(zhuǎn)動，鏡面誤差的測量結(jié)果被記錄在模擬量或數(shù)字量的記憶裝置中，然後進(jìn)行處理。 在超精密加工技術(shù)方 , 英國克蘭菲爾德技術(shù)學(xué)院所屬的克蘭菲爾德精密工程研究所 ( 簡稱CUPE) 享有較高的聲譽(yù) , 它是世界上的精密工程研究中心之一、英國超精密加工技術(shù)獨(dú)特 . 如 CUPE 生產(chǎn) Nanocentre( 納米加工中心 ) 超精密 chexueMotou 也能進(jìn)行超精密磨削、 加工工件的形狀精度可達(dá) μ m , 表面粗糙度 Ra10nm 圓柱形鏡面通常用磨削方法加工，磨削速度選 V=25～35m /s ，粗磨時(shí) t=～ ，精磨時(shí) t=3～10μm ；當(dāng)用油石研、拋時(shí)， V=10～50m /min ，材料的去除速度為 ～1μm/min 。Turning ）或“微英寸技術(shù)”（ 1 微英寸＝ μ m ），并發(fā)展了相應(yīng)的空氣軸承主軸的超精密機(jī)床。 在高速和超高速磨削技術(shù)、人們開發(fā)了高速、超高速磨削、深切減免碾磨削、深入的快速磨削 (HEDG) 、多片砂輪和多砂輪磨削 , 以及其他許多高速高效率磨削 , 高速高效率磨削技術(shù)在近 20 年來取得了巨大的發(fā)展和應(yīng)用 . 德國 Guehring ， Automation 公司成立于 1983 年 制造出了當(dāng)時(shí)世界第一臺最具威力的 60kw 強(qiáng)力 CBN 砂輪磨床， Vs 達(dá)到 140 ～ 160m/s ， 德國阿享工業(yè)大學(xué)、 Bremen 大學(xué)的高技能的研究取得了舉世公認(rèn)的成就 , 并積極在鋁合金、鈦合金、鎳合金 等難加工材料方面進(jìn)行高效深磨的研究， 德國 Bosch 公司 應(yīng)用 CBN 砂輪高速磨削加工齒輪齒形，采用電鍍CBN砂輪超高速磨削代替原須經(jīng)滾齒及剃齒加工的工藝，加工16MnCr5材料的齒輪齒形，Vs ＝155m /s ，其 Q 達(dá)到 811mm 3 / ，德國 Kapp 公司應(yīng)用高速深磨加工泵類零件深槽，工件材料為 100Cr6 軸承鋼，采用電鍍 CBN 砂輪， Vs 達(dá)到 300m /s ，其 Q` ＝ 140mm 3/ ，磨削加工中，可將淬火后的葉片泵轉(zhuǎn)子10個(gè)一次裝夾，一次磨出轉(zhuǎn)子槽，磨削時(shí)工件進(jìn)給速度為 /min ，平均每個(gè)轉(zhuǎn)子加工工時(shí)只需 10 秒鐘，槽寬精度可保證在 2 μ m ，一個(gè)砂輪可加工 1300個(gè)工件。 在超高速加工技術(shù)、超硬材料是實(shí)現(xiàn)超高速加工工具是前提和先決條件 , 超高速研磨機(jī)技術(shù)是現(xiàn)代方式高速加工技術(shù)、高速數(shù)控機(jī)床、加工中心是實(shí)現(xiàn)超高速加工的關(guān)鍵設(shè)備 . 目前 , 刀具材料碳素鋼和合金工具鋼、高速鋼、硬質(zhì)合金鋼、陶瓷材料、 發(fā)展到人造金剛石及聚晶金剛石（PCD）、立方氮化硼及聚晶立方氮化硼（CBN）。 超精密加工當(dāng)前是指被加工零件的尺寸精度高于 ，表面粗糙度 Ra 小于 μm ，以及所用機(jī)床定位精度的分辨率和重復(fù)性高于 的加工技術(shù)，亦稱之為亞微米級加工技術(shù)，且正在向納米級加工技術(shù)發(fā)展。 超高速加工技術(shù)主要包括：超高速切削與磨削機(jī)理研究，超高速主軸單元制造技術(shù)，超高速進(jìn)給單元制造技術(shù)，超高速加工用刀具與磨具制造技術(shù)，超高速加工在線自動檢測與控制技術(shù)等。各種切削工藝的切速范圍為：車削700 ～ 7000m/min ，銑削 300～ 6000m/min ，鉆削200～1100m/min ，磨削250m /s以上等等。同時(shí)也包含加工尺寸在微米級的微細(xì)加工。 For the latter cut 1KN ～ 2KN/μm, when gas membrane thickness for 4μm ～ 8μm, and liquid static pressure guide can guarantee the same displacement precision. Static pressure of the liquid and Qguide may be as high as In the overall layout design, ultraprecision machine tool processing structure shall be divided into parts and bearing measurement. At this time, the precision machine tools can achieve largely depends on the validity of measurement systems. Therefore, generally using laser interference devices such as highprecision, highresolution instruments for measuring devices, and installed in separate supports the measurement framework, and not only the installation of measuring devices, Abeche principles to be observed in a broader understanding, but also to ply with the principles of Abeche. Abeche principles, to be close to the knife point measurement axis, in order to eliminate the possibility of error by lever principles enlarged. From this standpoint, guide and measuring devices should be located at the same level ground, carrying system in the machine tool to cut and avoid the use of airshen not constant element. 中文翻譯 超精密加工與超高速加工技術(shù) unclear sand and the double wall of the metal structure can greatly increase damping, and thus greatly enhance decay vibration effects. The main ponents of the design is a key indicator of rotation accuracy and rigidity, for the priority use of a low noise temperature axis of electrical or electromagnetic torque and through the membrane and the couplings connected with the main axis of a driven, since the main bearings are used with the functional positioning liquid static pressure spherical bearings structures. The main structure in this precision (radial and axial beating) to . When the pressure of work for ～ , bearings average cut for 200N ～ 400N/μm, liquid static pressure bearings and 600N ～ 1000N/μm. But for the sake of not more than μ m line beating, oil pressure fluctuations should not be greater than the value of MPa, fluctuations should not be larger than 176。 176。 Improve the structure of rigidity and geometric precision machine tools。s precision engineering research centres, the British superprecision processing technology unique. If CUPE production Nanocentre (nanometer processing center) for ultrasophisticated Chexue can also carry Motou can conduct ultra precision grinding, precision processing final shape up , the surface roughness Ra Crystal Mirror processing methods usually used grinding, grinding pace of the V=25 ～ 35m /s, Cumo, t= ～ , Jingmo, t=3 ～ 10μm。附錄附錄1：英文原文Ultraprecisio processing,andultrahighspeed processing technologies When the oil stone, left, V=10 ～ 50m /min, material removal rate to ～ 1μm/min. Ultraprecision grinding may reach ～ Ra Yuan degrees and the surface roughness. Spherical mirror research, and he requested a study be maintained in the processing of surface upward law, there are two guaranteed ways : First, through the Site (1) positioning itself since the body to reach。 Reduce the deformation machine tools (including temperature deformation and strength deformation) of the impact of precision machine tools for processing.