低溫真空泵原理與結(jié)構(gòu)-wenkub.com
2025-06-23 03:34 本頁面
【正文】 由于通常需要同時把氫保持在活性炭上，低溫泵的流量設(shè)定應(yīng)以低溫板溫度不大于20K為標準(這時的流量為最大流量)。冷凝氬產(chǎn)生的熱負荷大多數(shù)由制冷機二級承擔。由于輻射熱是溫度的4次方的函數(shù)。在低溫領(lǐng)域中，它被稱為絕熱真空。上述制冷機冷量分別為5W/12K和12W/60K。隨著施加的熱負荷增加，每一級上的溫度增大。在這三個因素中，往往是吸附最先達到飽和，因為與冷凝相比，吸附的量要小于冷凝的量。升，mbar該泵專門用于濺射臺，其低溫板較大。在這些霜層形成時，泵的抽速很少降低，制冷溫度變化也很少，隨著霜層增加到一定程度，抽速和溫度都會有明顯變化。這一范圍內(nèi)氣體是自由分子流區(qū)，這意味著它們通常從一個壁面運動到另一壁面而相互之間不發(fā)生碰撞。事實上，水就達到了這一點，幾乎所有碰到泵表面的水分子都粘在了百葉窗表面而不返彈回去。由于多數(shù)真空系統(tǒng)工作在室溫，我們設(shè)想理想速度基于室溫。但冷凝層厚度增加時壓力不變。低溫泵抽氣機理之二：低溫吸附單用低溫冷凝是不夠的，Ne、HHe等氣體在20K的平衡蒸汽壓力太高了，不能被低溫冷凝在光的表面上，因而，用活性炭來吸附這些氣體。在273K的結(jié)冰溫度上蒸汽壓為4Torr。不能被這一溫度冷凍的氣體被位于冷板內(nèi)部的活性炭吸附。低溫泵的冷源可以是低溫液體(液氮或液氦)，也可以是低溫制冷機。這里介紹制冷機型低溫泵，這種低溫泵的制冷機在兩個溫度級上產(chǎn)生制冷，分別冷卻兩個低溫表面，被抽的氣體就被冷卻在低
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