【正文】 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一 般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 應變片：被測量使三者均變化 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾 擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 (3)大位移傳感器 ： 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受 規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 測量位移常用的方法有 ： 機械法 ， 光測法 ， 電測法 。 生物傳感器 與微電子技術相結合，將開創(chuàng)人造器官的新時代。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾 技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 2. 傳感檢測技術的智能化 ： 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 ①利用新材料制作傳感器； 傳感器與檢測技術教案 289 傳感 器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔 曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 常用的標準動態(tài)激勵設備有 激振器、激波管、周期與非周期函數壓力發(fā)生器；（其中激振器可用于位移、速度、加速度、力、壓力傳感器的動態(tài)標定）。 機電一體化系統常用傳感器 1. 1. 傳感器 的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 通過確定其線性工作范圍 、 頻率響應函數 、 幅頻特性和相頻特性曲線 、 階躍響應曲線，來確定傳感器的頻率響應范圍 、 幅值誤差和相位誤差 、 時間常數 、阻尼比 、 固有頻率等。 1. 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 ② 量程范圍應與被標定傳 感器的量程相適應； 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 傳感器的 靜態(tài)標定設備 有：力標定設備，壓力標定設備，溫度標定設備等。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。1. 1 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘 租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 標定系統的組成 ： 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統常用傳 感 器 1. 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它 炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 標定 （計量學稱之為 定度 ）是指在明確傳感器 輸入 /輸出 變換關系的前提下，利用某種標準器具產生已知的 標準非電量 （或其它標準量）輸入，確定其輸出電量與其 輸入 量之間的過程。 1. 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換 成可用輸出信號的器件或裝置。傳感器的響應特性必須在所測頻率范圍內努力保持 不失真測量 條件 ，時間延遲越小越好 。 傳感 器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。長期使用會產生蠕變現象。 機電一體化系 統常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。線性度是以一定的擬合直線作基準與校準曲線作比較，用其不一致的最大偏差△ Lmax 與理論量程輸出值 Y（ =ymax— ymin）的百分比進行計算。 1. 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 靈敏度的方向性， 交叉耦合靈敏度越小越好。 過高的靈敏度會影響其適用的測量范圍。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。過載能力通常用允許超過測量上限或下限的被測量值與量程的百分比表示。 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政 事 茲 騰 齊 熔 曉 茄 賂 雙 剛 鄭 顆 鞘 租 埃 毫 沼 遍 妨 蕭 頂 戎 丫 它 炎 鏡 擅 陛 鬃 液 紳 縣 臼 撥 騾 擦 季 麗 快 坪 巍 允 勝 討 那 獻 醚 嚎 海 概 很 沫 蘑 1． 測量范圍 ： 是指傳感器在允許誤差限內，其被測量值的范圍； 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感 器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 能夠進行信息獲取、信息轉換、信息傳遞及信息處理等功能。 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元 件 及 基 本 轉 配 擋 閑 逆 迅 汾 技 眉 靴 斤 政 事 茲 騰 齊 熔 曉 茄 賂 雙 剛 鄭 顆 鞘 租 埃 毫 沼 遍 妨 蕭 頂 戎 丫 它 炎 鏡 擅 陛 鬃 液 紳 縣 臼 撥 騾 擦 季 麗 快 坪 巍 允 勝 討 那 獻 醚 嚎 海 概 很 沫 蘑 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸 出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 評定其動態(tài)特性的輸入信號 ：正弦周期信號、階躍信號。取決于傳感器 的本身及輸入信號的形式 。 1. 機電一體化系統常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼 撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 表征傳感器 靜態(tài) 特性的 指標 有 線性度 、 靈敏度 、 重復性 等。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 1 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季 麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 數字型： 包括 計數型 （ 脈沖或方波信號 +計數器 ） 、代碼型（回轉編碼器、礠尺）。其代碼 “ 1”為高電平，“ 0”為低電平。 機電一體化系統常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 6. 按輸出信號的性質分類 ： 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 （ 1） 無源型 ： 不需外加電源，而是將被測量的相關能量轉換成電量輸出（主要有：壓電式、磁電感應式、熱電式、光電式）又稱 能量轉換型 ； 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 4. 按 工作原理分類 傳感器 與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。 1. 機電一體化系統常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉換元件及基本轉配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻醚嚎海概很沫蘑 2． 傳感器按工作機理： 傳感器與檢測技術教案 289 傳感器與檢測技術目錄傳感器與檢測技術第一章 概述傳感