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2025-05-02 12:11 本頁面
【正文】 ? ：檢查氮氣、硅烷、氨氣、冷卻水、設(shè)備主體、真空泵等是否處于正常工作狀態(tài)。 ? ，兩人配合將舟平穩(wěn)放到操作臺上。 ? 注意事項：常見不合格硅片有崩邊、缺角、裂紋、碎片、變色、斑點、穿孔、顏色不均勻等。 ? 注意事項 : 剛出來的石墨舟溫度較高，防止燙傷 . ? ? 首先用鑷子輕壓硅片一側(cè)將硅片從石墨舟的卡槽里翹出，然后用鑷子將硅片翻過察看顏色是否正常，是否有裂紋等，最后將合格的硅片放入泡沫盒。盡量減少傳輸中的顛簸。并且保證每班清理現(xiàn)場及設(shè)備衛(wèi)生，以保證車間的潔凈度。 ? ? 冷卻水壓強為 ,氮氣壓強為 40psi,壓縮空氣壓強 5kg/cm2，硅烷壓強為 20psi,氨氣壓強為 。如有需要，滅火后的設(shè)備可用肥皂及水清洗 . 第二部分：工作流程及操作 一、工序目的 二、工藝描述 三、操作過程 一、工序目的：在硅片表面沉積一層起減反射和鈍化作用的氮化硅膜。若是微漏，又無法止漏，對人員有危險性不大，讓泄漏之火焰自行燒完畢。針對硅烷的火災(zāi)，水可能不是有效率的滅火劑。緊急狀況時穿防火手套及防火衣，泄漏時緊急處理時使用雙層手套 . ? ⑷ 其它保護設(shè)備：安全鞋、緊急沖淋器、緊急洗眼器。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。 ? 4．消防措施： ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處，并隔離直至氣體散盡，切斷火源。如穿戴適當防護裝備。眼睛接觸到微粒的二氧化硅會感到刺激。 ? 2．中毒癥狀 ： ? ⑴吸 入：吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、頭昏、昏睡、刺激上呼吸道。與空氣接觸會自燃，燃燒時會釋放出未結(jié)晶的二氧化硅濃煙。氨氣可以用噴淋水來控制。如有可能 ,切斷氣源。緊急情況下需防火服和手套。當連接、斷開氣路或打開鋼瓶閥時需要防護眼鏡和面罩。如皮膚接觸液體，脫掉被污染的衣服，用大量溫水沖洗幾分鐘，并立即進行藥物處理。接觸液體會造成組織凍傷并伴有堿性灼傷和脫水。上呼吸道易受到傷害并導(dǎo)致氣管炎 (封閉氣路 )。 ? ： ? 眼接觸：暴露在氨氣中會對眼睛造成中度到重
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