【正文】 繪制 Via圖層要遵守 、 、 和 ，有關(guān)規(guī)定見表 。 2022/5/25 圖 放置輸入端口 圖 放置輸入端口名 A 2022/5/25 ? ⑨ 放臵節(jié)點(diǎn)名：?jiǎn)螕魣D標(biāo)，再選取 Metal2圖層，用鼠標(biāo)左鍵拖曳出一個(gè)與 portA單元的 Metal2圖層重疊的寬為 4格、高為 4格的區(qū)域后，彈出Edit Object(s) 對(duì)話框，在 Port name欄內(nèi)鍵入A，在 Text Alignment選項(xiàng)中選擇文字在框的左邊，再單擊 “ 確定 ” 按鈕，如圖 。如圖。注意，此Metal2圖層與 Via和 Metal1圖層重疊。選取 Via圖層，繪制橫向和縱向各為 2格的方形，如圖 Metal2示。選取 Metal1圖層，繪制橫向?yàn)?10格、縱向?yàn)?4格的方形，如圖 。 ? ②繪制 Ploy圖層： Ploy圖層與 Ploy Contact圖層間需要遵守環(huán)繞規(guī)則。 ? （ 13）加入輸入端口：由于反相器有一個(gè)輸入端口，且輸入信號(hào)從柵極（ Ploy）輸入，根據(jù) MOSIS/Orbit 2U SCNAMEMS設(shè)計(jì)規(guī)范，輸入輸出信號(hào)由 Metal2輸入，故一個(gè)反相器輸入端口需要繪制 Metal2圖層、Via圖層、 Metal1圖層、 Ploy Contact圖層與 Ploy圖層，才能將信號(hào)從 Metal2層傳至 Ploy層。在 Port name欄內(nèi)鍵入 Vdd，在Text Alignment選項(xiàng)中選擇文字相對(duì)于框的位臵的右邊。 2022/5/25 圖 連接漏極 2022/5/25 ? （ 10）繪制電源線：由于反相器電路需要有 Vdd電源與 GND，電源繪制在 Metal1上，在 pmos的上方和nmos的下方各繪制一個(gè)寬為 39個(gè)柵格、高為 5個(gè)的電源線，繪制后進(jìn)行電氣檢查，共有 6個(gè)錯(cuò)誤，如圖。 2022/5/25 圖 NMOS接觸點(diǎn)截面 2022/5/25 ? （ 7）引用 Basecontactp和 Basecontactn單元：執(zhí)行 Cell/Instance命令，打開 Select Cell to Instance對(duì)話框，分別選擇 Basecontactp和Basecontactn單元，將其復(fù)制到 Ex2中，并進(jìn)行電氣檢查，如圖 。而 N型擴(kuò)散區(qū)必須在 N Well圖層繪制出 Active圖層和 N Select圖層，再加上 Active Contact圖層與 Metal1圖層，使金屬線與擴(kuò)散區(qū)接觸。查看錯(cuò)誤記錄文件 ，可以知道 2個(gè)錯(cuò)誤都違反了設(shè)計(jì)規(guī)則 。 2022/5/25 圖 設(shè)計(jì)導(dǎo)覽 2022/5/25 反相器的畫法 ? （ 1）啟動(dòng) LEdit程序，將文件另存為 EX2，將文件，設(shè)定坐標(biāo)和柵格。圖 NMOS版圖 ? （ 22）繪制 NMOS單元：根據(jù)繪制 PMOS單元的過程，依次繪制 Active圖層、 N Select圖層、 Ploy圖層、Active Contact圖層與 Metal1圖層，完成后的 NMOS單元如圖 。 2022/5/25 圖 設(shè)計(jì)規(guī)則檢查結(jié)果 2022/5/25 圖 截面觀察 2022/5/25 ? （ 19）保存：將 Cell0的名稱重新命名，執(zhí)行Cell/Reame命令，打開 Rename Cell Cell0對(duì)話框，將 cell名稱改成 pmos，這樣就建立了一個(gè) pmos組件。需遵循最小寬度（ Minimum Width）規(guī)則，從 Setup Design Rules對(duì)話框可以看出，規(guī)則 了 Metal1的最小寬度為 3個(gè) Lambda如圖 示。從規(guī)則 可以看出， Active Contact圖層邊界與 field active圖層邊界必須至少有 Lambda。打開 Setup Design Rules對(duì)話框，如圖，規(guī)則 Active Contact圖層的要求，這是標(biāo)準(zhǔn)寬度（ Exact Width）規(guī)則，寬度限定在 2個(gè) Lambda的大小。在實(shí)際工藝中，先制作 Ploy柵極，再擴(kuò)散源區(qū)和漏區(qū)，因此在繪制版圖時(shí)，可根據(jù)實(shí)際情況自行決定繪圖順序，不需要依照工藝的順序來繪制。將 Y1改為，將 Y2改為 ，圖 設(shè)計(jì)規(guī)則檢查結(jié)果 ? 單擊確定，即可將 Ploy上下各延伸 1個(gè) Lambda。從 （ Extension）規(guī)則可以看出， Ploy必須延伸出 Active區(qū)域最小 2個(gè) Lambda的距離。在 MOSIS/ORBIT ，規(guī)則 Ploy的最小寬度為 2個(gè) Lambda，如圖 。 pdiff與 N Well也要服從環(huán)繞規(guī)則，設(shè)計(jì)規(guī)則 Source/Drain Active to Well Edge規(guī)定在 N Well范圍內(nèi)， pdiff的邊界與 N Well的邊界至少要有 5個(gè) Lambda的距離，如圖 。在MSOIS/ORBIT ，規(guī)則界至少要有 2個(gè) Lambda的距離，這是包圍（ Surround）規(guī)則，如圖 。 2022/5/25 圖 設(shè)計(jì)規(guī)則 2022/5/25 Not Selected Active層不能存在， Not Selected Active層的定義可以選擇 Setup/Layers命令觀察其定義，如圖 。 2022/5/25 圖 Active截面圖 2022/5/25 ? （ 11）設(shè)計(jì)規(guī)則檢查：選擇 Tools/DRC命令，打開 Design Rule Check對(duì)話框，選中 Write errors to files復(fù)選框?qū)㈠e(cuò)誤項(xiàng)目記錄到，若單擊 “ 確定 ”按鈕，則進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，結(jié)果如圖 示。圖 Active設(shè)計(jì)規(guī)則 ? （ 9）繪制 Active圖層：首先要了解設(shè)計(jì)規(guī)則對(duì)有源區(qū)的要求。選擇 Tools/CrossSection子命令（或單擊按鈕），打開 Generate CrossSection對(duì)話框，如圖 。本例使用由軟件提供的 MOSIS/ORBIT 設(shè)計(jì)規(guī)則。 2022/5/25 圖 柵格的設(shè)定 2022/5/25 ? （ 6）圖層的設(shè)臵：在 Layers面板的下拉列表中選取圖層。選擇執(zhí)行Setup/Design子命令，彈出 Setup Design對(duì)話框，在 Technology標(biāo)簽頁中可設(shè)臵工藝的名稱、單位等，本例以 Lambda為單位，而Lambda與內(nèi)部單位（ Internal Unit）的關(guān)系可在 Technology setup選項(xiàng)中進(jìn)行設(shè)臵，如圖 ，設(shè)定 1個(gè) Lambda為 1000個(gè)Internal Unit，即設(shè)定 1個(gè) Lambda等于 1個(gè) Micron。 圖 LEdit 的標(biāo)題欄 2022/5/25 ? （ 3）替換設(shè)臵信息：用于將已有的設(shè)計(jì)文件的設(shè)定（如格點(diǎn)、圖層等） 應(yīng)用于當(dāng)前的文件中。 2022/5/25 2022/5/25 2. 窗口的縮放 LEdit提供 4種縮放的功能，可以借著放大縮小的功能來改變視圖?？梢杂闷揭疲?Panning）當(dāng)前窗口的方法來顯示版圖中不同區(qū)域的視圖，也可以用縮放（ Zooming）使在窗口中顯示版圖的較大或較小區(qū)域的視圖。 ? （ 4）更改方向 LEdit提供三種更改方向的命令：旋轉(zhuǎn) (Draw/Rotate)、水平映像(Draw/Flip/Horizontal)、與垂直映像(Draw/Flip/Vertical)。這些移動(dòng)可以是一個(gè)對(duì)象，也可以是一群對(duì)象的移動(dòng)。 ? 首先，先選中要掏空的對(duì)象，然后執(zhí)行 Draw/Nibble子命令或單擊按鈕，再選擇繪圖工具按鈕繪制要掏空的圖形。如果這些己選擇的對(duì)象沒有交集，合并的命令就失效。 與 90176。 2022/5/25 ? （ 5）切割 ? LEdit允許對(duì)選擇的對(duì)象切成分開的對(duì)象，切割的方向包括水平與垂直兩種，其命令為 Draw/Slice/Horizontal與 Draw/Slice/Vertical。選定所要更改的邊界對(duì)象后，按下鼠標(biāo)的 MOVEEDIT鍵，拖曳到所要更改的地方，不過這樣的只能往同一個(gè)方向更改。一次只能編輯一個(gè)對(duì)象，如有兩個(gè)以上的對(duì)象被選中，只執(zhí)行移動(dòng)操作。線寬須用文本編輯改變。 2022/5/25 ? 1. 圖形編輯 ? 在圖形編輯中，可以改變對(duì)象的大小和形狀；進(jìn)行擴(kuò)展編輯；在多邊形和連線中添加頂點(diǎn)；以及對(duì)對(duì)象進(jìn)行切割、合并和掏空等操作。 ? 4. 去選 ? 要從選擇的對(duì)象組中移除某些對(duì)象，使用 Alt加上棄選功能鍵 (Alt+鼠標(biāo)右健 )，若是選擇不到對(duì)象 (選擇點(diǎn)的附近沒有對(duì)象存在 )，就會(huì)自動(dòng)將所有的對(duì)象棄選，要選擇或是棄選所有的對(duì)象，可以通過 Edit/Select All(Ctrl+A)或是 Edit/Deselect All(Alt+A)命令實(shí)現(xiàn)。 2022/5/25 ? 2. 隱選 ? 在沒有對(duì)象被選擇的情況下，可以按下MOVEEDIT鍵（鼠標(biāo)中鍵）對(duì)光標(biāo)附近的對(duì)象進(jìn)行移動(dòng)、編輯、復(fù)制操作。如果按下選擇按鈕，用鼠標(biāo)左鍵也能完成這一功能。 2022/5/25 ? 1．顯選 ? 包含下面幾個(gè)技巧：按、拉、增加及循環(huán)。指在一組選中的對(duì)象中添加一個(gè)對(duì)象。 ? 涉及選擇與去選的操作有以下幾種： ? （ 1）顯選：指在進(jìn)行后繼操作前對(duì)于對(duì)象所作的選擇或去選操作。圖形編輯是用鼠標(biāo)來完成，文本編輯是通過對(duì)話框來實(shí)現(xiàn)的。 ? 標(biāo)尺的設(shè)臵在執(zhí)行 Setup/Design子命令后的繪圖參數(shù)頁中進(jìn)行。 ? 繪制標(biāo)尺時(shí)，先在繪圖工具條上選擇標(biāo)尺繪制按鈕。對(duì)于長(zhǎng)方形端口先單擊鼠標(biāo)左鍵并按住左鍵拖動(dòng)鼠標(biāo)到下一點(diǎn)后放開，也會(huì)彈出圖 話框。在圖層設(shè)臵對(duì)話框的General標(biāo)簽頁中設(shè)定。 角的多邊形繪制工具時(shí)，除了 90176。在繪制的過程中，狀態(tài)窗口同樣會(huì)顯示多邊形所占區(qū)域的長(zhǎng)寬與面積。當(dāng)單擊 DRAW鍵（左鍵）后，鼠標(biāo)的左鍵變?yōu)?，中鍵變?yōu)?BACKUP鍵，右鍵變?yōu)?END鍵。在繪圖的過程中，在狀態(tài)窗口會(huì)顯示出所繪制的方形的長(zhǎng)寬與其面積，在繪圖工作區(qū)窗口中顯示所用的圖層與繪制的長(zhǎng)方形。繪制的基本步驟是：選擇圖層、激活繪圖工具、進(jìn)行繪制。而命令 Edit/Edit InPlace/View Top Cell End子命令則使當(dāng)前單元的未知回到頂級(jí)單元。進(jìn)入例化體后，就可像打開例化體所援引的單元一樣，對(duì)單元的內(nèi)容進(jìn)行編輯。作為一個(gè)整體例化體可以進(jìn)行移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)操作。 2022/5/25 ? 有兩種情況演員不能被例化： ? （ 1）單元不能例化本身，也不能例化包含有該單元的例化體的其他單元。 ? （ 2）執(zhí)行 Cell/Instance子命令或單擊按鈕，打開單元例化對(duì)話框，如圖 ?！?展平 ” 設(shè)計(jì)是指把設(shè)計(jì)中把等級(jí)構(gòu)造逐級(jí)展開，把所有例化體都還原成只含原始體（繪圖對(duì)象）的圖形結(jié)構(gòu)，從而使版圖的等級(jí)構(gòu)造由多級(jí)變?yōu)閱渭?jí)。單個(gè)例化體相當(dāng)于 1 1矩陣。利用工具欄可以進(jìn)行收縮、展開，創(chuàng)建和刪除單元；利用顯示模式的下拉選框選擇等級(jí)樹的顯示模式；利用快捷菜單可以對(duì)單元編輯。如果某一單元包含例化體，被例化的單元名字將出現(xiàn)在下一級(jí)分支上。執(zhí)行 View/ Design Navigator子命令或單擊按鈕可打開設(shè)計(jì)瀏覽器窗口，如圖 。首先在 “ File” 欄中選擇被復(fù)制的文件名稱，然后在下方的單元列表中選擇要復(fù)制的單元或從“ Cell” 欄中輸入要復(fù)制的單元名稱，再單擊 OK按鈕，出現(xiàn)窗口之后再輸入單元名稱，如果單元來源是在不同的設(shè)計(jì)文件，要事先打開該文件，然后選擇該設(shè)計(jì)文件中的單元。如不指定制造單元，它會(huì)任意選一個(gè)單元作為制造單元，從而造成錯(cuò)誤。在 File下拉列表中選取已打開的文件，在下方的列表中選取單元或在 Cell欄中輸入要制造的單元名稱，然后單擊 OK按鈕即可。 2022/5/25 圖 單元重新命名對(duì)話框 2022/5/25 ? 4. 單元信息的獲取 ? 執(zhí)行 Cell/Info子命令打開單元信息對(duì)話框，在對(duì)話框中，將顯示單元的名稱，可添加或修改作者、機(jī)構(gòu)和信息等內(nèi)容，還可進(jìn)行版本號(hào)的修改、單元鎖定、屬性設(shè)臵。另外，若使打開單元顯示在新的窗口中，則需選中 “ Open In New Window” 選項(xiàng)；否則會(huì)顯示在之前的窗口。 2022/5/25 圖 新建單元對(duì)話框 2022/5/25 ? 2. 打開單元圖 打開已經(jīng)存在的單元，執(zhí)行 Cell/Open子命令彈出打開已有單元對(duì)話框，如圖 。 ? 1. 建立新的單元 執(zhí)行 Cell / New子命令彈出新建單元對(duì)話框，如圖 。 ? 在導(dǎo)入的過程中可能會(huì)出現(xiàn) GDSⅡ /CIF文件中有 TDB設(shè)定文件中沒有定義的層次，這時(shí)可以指定 LEdit自動(dòng)產(chǎn)生新的層次給這些未知的物質(zhì)層次。要將GDSⅡ ／ CIF文件導(dǎo)入到 LEdit，執(zhí)行 File / ImPort Mask Data子命令輸入掩模數(shù)據(jù)對(duì)話框，如圖 ?？梢灾付ù蜷_的文件為只讀文件。 2022/5/25 ? （ 2）選擇新建版圖文件之后，如果沒有選擇任何設(shè)計(jì)文件（即選擇 empty），將產(chǎn)生一個(gè)背景為灰色且只有一個(gè) New Layer圖層的版圖窗口，該窗口未經(jīng)任何參數(shù)設(shè)臵，經(jīng)過設(shè)臵也可達(dá)到滿足要求的窗口。