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2025-01-07 17:20 本頁面
【正文】 復雜功能 (如算術功能)可直接結合邏輯框表示。 ? 語句表 (或 STL)是 STEP 7 編程語言的文本表示，與機器代碼相似。 STEP 7編程軟件概述 注： 其它編程語言則作為選件包提供。 STEP 7編程軟件概述 STEP 7定義 ： STEP 7 是一種用于對 SIMATIC 可編程邏輯控制器進行組態(tài)和編程的標準軟件包。 西門子 S7系列 PLC體積小、速度快、標準化，具有網(wǎng)絡通信能力，功能更強，可靠性更高。當系統(tǒng)壓力增大時，會使流量需求減小。是指關閉件 (閥瓣或蝶板 )為圓盤，圍繞閥軸旋轉來達到開啟與關閉的一種閥，在管道上主要起切斷和節(jié)流用 。 下圖為刻蝕槽添加桶畫面 RENA劑量瓶 堿槽添加桶 HF槽添加桶 ? HON3的添加桶下方與其他三個添加桶不同 ,只有一個 RV880/45,這個限流閥是生產(chǎn)過程中微量補液用的 ,而在第一次配槽時 HNO3是不經(jīng)過劑量瓶 ,由流量計控制直接進儲液箱的 ,KOH,HF都是從劑量瓶往槽內(nèi)添加 .所以配槽時由于 HNO3的管路不同 ,劑量瓶也和其他三個劑量瓶不同 . RENA劑量瓶 第二部分 單晶清洗機設備概況 制絨機 制絨機整體外形圖 制絨機 制絨機的配液、加熱系統(tǒng) 制絨機電控柜 擴散前酸洗機 中聯(lián)酸洗機 擴散前酸洗機 捷佳創(chuàng)酸洗機 去 PSG酸洗機 捷佳創(chuàng)去 PSG酸洗機 電氣控制柜 電柜內(nèi)部 電柜外部 甩干機 甩干機整體外形圖 甩干機 甩干機觸摸屏 第三部分 RENA管路圖 管路圖部件標示 閥門 球閥： 球閥它具有旋轉 90度的動作，旋塞體為球體，有圓形通孔或通道通過其軸線。MODE AUTO自動運行時單個槽的自動手動切換 FILLING DI給槽內(nèi)加純水 FILLING CHEMIE加化學藥品（初始配槽） RINSING用純水清洗 DRAINING整個槽排液 START CIRCULATION開始循環(huán)（只有加滿純水或化學藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時間計算，會自動停止，是整個槽達到 READY的基本條件之一） START ETCHING在手動模式下單個槽運行工藝 STOP結束操作 初始配槽時 HF和水的體積 6） RENISE3界面介紹 RENISE3功能 MODE MANamp。MODE AUTO自動運行時單個槽的自動手動切換 PT FILLING DI儲液槽加純水 PT FILLING CHEMIE儲液槽加化學藥品 SYSTERM RINSING整個系統(tǒng) (包括外槽內(nèi)槽儲液槽 )用純水清洗 SYSTERM DRAINING整個系統(tǒng)排液 BATH CHANGE刻蝕槽儲液槽排空 ,再重新配液 START MAIN FUNCTION在手動模式下單個槽運行工藝 RINSE BATH START開始用純水不斷清洗 (只有在槽內(nèi)加滿純水后次按鍵才有作用 ) RINSE BATH STOP純水清洗結束 FILL BATH給刻蝕槽加化學藥品 (如果儲液槽內(nèi)是純水則加的是純水 ) DRAIN BATH刻蝕槽排液 RENA刻蝕槽功能 第一次配槽的設定體積 實際加入的體積 未加入的體積 (點擊上圖的 REST REMAIN 以清零） 流量 2） RENISE1界面 RENISE1功能 MODE MANamp。 堿洗（ KOH）的目的及機理 22 KOH溶液，主要去除多孔硅和中和硅表面殘余的酸。 2. 去除在擴形成的磷硅玻璃，較少光的反射，降低 接觸電阻。 解釋機理： 當光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面，光會反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，從而增加吸收率。 InOxSide 目 的 ： a） 去除硅片表面的磷硅玻璃； b） 去掉硅片背面及周邊 pn結。 清洗設備培訓 目
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