真空泵的分類及工作原理-wenkub.com
2024-11-22 21:10 本頁(yè)面
【正文】 各級(jí)轉(zhuǎn)子與隔板之間的間隙易于調(diào)整。 干式真空泵 爪形轉(zhuǎn)子干式真空泵（又簡(jiǎn)稱爪式泵）在泵殼內(nèi)具有兩個(gè)共軛嚙合的爪形轉(zhuǎn)子。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥 5關(guān)閉。時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。 ? 氣體輸送泵包括： 液環(huán)真空泵 往復(fù)式真空泵 油封機(jī)械泵 羅茨真空泵 干式真空泵等。 ? 氣體捕集泵包括： 低溫泵 離子濺射泵 分子篩吸附泵 鈦升華泵 電離升華泵 鋯鋁合金吸氣泵等。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一
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