【正文】
The survey data may deposit and withdraw, easy to operate。 the system helps the silicon resonance type pressure transmitter. The core partially presses two resonant Liang by the feeling which above the silicon diaphragm and the silicon diaphragm manufactures to form, two resonant Liang39。 The size is small, may use in the small space measuring wet。 The optical fiber can make the pressure, the current capacity, the temperature, the displacement and so on the many kinds of sensors。 傳感器的發(fā)展日新月異,特別是 80年代人類由高度工業(yè)化進(jìn)入信息時(shí)代以來,傳感器技術(shù)向更新、更高的技術(shù)發(fā)展 。美國(guó) HONY WELL 公司 ST3000型智能傳感器,芯片尺寸才有 3 4 2mm3,采用半導(dǎo)體工藝,在同一芯片上制成 CPU、 EPROM、靜壓、壓差、溫度等三種敏感元件。 中國(guó)航空總公司北京測(cè)控技術(shù)研究所,研制的 CYJ 系列濺謝膜壓力傳感器是采用離子濺射工藝加工成金屬應(yīng)變計(jì),它克服了非金屬式應(yīng)變計(jì)易受溫度影響的不足,具有高穩(wěn)定性,適用于各種場(chǎng)合,被測(cè)介質(zhì)范圍寬,還克服了傳統(tǒng)粘貼式帶來的精度低、遲滯大、蠕變等缺點(diǎn),具有精度高、可靠性高、體積小的特點(diǎn),廣泛用于航空、石油、化工、醫(yī)療等領(lǐng)域。其測(cè)量最高精度可達(dá) %FS。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器,如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器,利用薄膜工藝制造出快速 響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器,利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。如 Idec Izumi公司和 Suns 公司。 光導(dǎo)纖維的應(yīng)用是傳感材料的重大突破,其最早用于光通信技術(shù)。采用先進(jìn)的陶瓷技術(shù) 和 厚膜電子技術(shù),其 技術(shù)性能穩(wěn)定,年漂移量小于 %,溫漂小于177。高分子電介常數(shù)小,水分子能提高聚合物的介電常數(shù)。美國(guó)加州大學(xué)巳研制出這類傳感器??捎糜诖懦上窦夹g(shù),有廣泛推廣價(jià)值。世界許多發(fā)達(dá)國(guó)家都在加快對(duì)傳感器新技術(shù)的研究與開發(fā),并且都已取得極大的突破。自動(dòng)化程度越高,系統(tǒng)對(duì)傳感器要求越高。 附件 1:外文資料翻譯譯文 傳感器新技術(shù)的發(fā)展 傳感器是一種能將物理量、化學(xué)量、生物量等轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的器件。在今天的信息時(shí)代里,信息產(chǎn)業(yè)包括信息采集、傳輸、處理三部分,即傳感技術(shù)、通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)。如今傳感器新技術(shù)的發(fā)展,主要有以下幾個(gè)方面: 利用物理現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、生物效應(yīng)作為傳感器原理,所以研究發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象與新效應(yīng)是傳感器技術(shù)發(fā)展的重要工作,是研究開發(fā)新型傳感器的基礎(chǔ)。 利用抗體和抗原在電極表面上相遇復(fù)合時(shí),會(huì)引起電極電位的變化,利用這一現(xiàn)象可制出免疫傳感器。 傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ),由于材料科學(xué)進(jìn)步,人們可制造出各種新型傳感器。將高分子電介質(zhì)做成電容器,測(cè)定電容容量的變化,即可得出相對(duì)濕度。 %/10K,抗過載強(qiáng) ,可達(dá)量程的數(shù)百倍。在光通信利用中發(fā)現(xiàn)當(dāng)溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等環(huán)境條件變化時(shí),引起光纖傳輸?shù)墓獠◤?qiáng)度、相位、頻率、偏振態(tài)等變化,測(cè)量光波量的變化,就可知道導(dǎo)致這些光波量變化的溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等物理量的大小,利用這些原理可研制出光導(dǎo)纖維傳感器。光纖傳感受器與集成光路技術(shù)相結(jié)合,加速光纖傳感器技術(shù)的發(fā)展。 日本橫河公司利用各向?qū)愿g技術(shù)進(jìn)行高精度三維加工,制成全硅諧振式壓力傳感器。 美國(guó) Silicon Microstructure Inc.(SMI)公司開發(fā)一系列低價(jià)位 ,線性度在 %到 %范圍內(nèi)的硅微壓力傳感器 ,最低滿量程為(1KPa),其以硅為材料制成 ,具有獨(dú)特的三維結(jié)構(gòu) ,輕細(xì)微機(jī)械加工 ,和多次蝕刻制成惠斯登電橋于硅膜片上 ,當(dāng)硅片上方受力時(shí) ,其產(chǎn)生變形 ,電阻產(chǎn)生壓阻效應(yīng)而失去電橋平衡 ,輸出與壓力成比例的電信號(hào) .象這樣的硅微傳感器是當(dāng)今傳感器發(fā)展的前沿技術(shù) ,其基本特點(diǎn)是敏感元件體積為微米量級(jí) ,是傳統(tǒng)傳感器的幾十、幾百分之一。 集成傳感器的優(yōu)勢(shì)是傳統(tǒng)傳感器無法達(dá)到的,它不僅僅是一個(gè)簡(jiǎn)單的傳感器,其將輔助電路中的元件與傳感元件同時(shí)集成在一塊芯片上,使之具有校準(zhǔn)、補(bǔ)償、自診斷和網(wǎng)絡(luò)通信的功能,它可降低成本、增加產(chǎn)量 ,美國(guó) LUCAS、 NOVASENSOR 公司開發(fā)的這種血壓傳感器,每星期能生產(chǎn) 1萬只。 智能化傳感器的研究與開發(fā),美國(guó)處于領(lǐng)先地位。美國(guó)、日本等發(fā)達(dá)國(guó)家的傳感器技術(shù)發(fā)展最快,我國(guó)由于基礎(chǔ)薄弱,傳感器技術(shù)與這些發(fā)達(dá)國(guó)家相比有較大的差距。 Making the pressure transmitter with the ceramics. The high polymer can bee the proportion adsorption and the release hydrogen along with the environment relative humidity size. The high polymer electricity lies between the constant to be small, the hydrogen can enhance the polymer the coefficient of dialectical loss. Making the capacitor the high polymer diele ctric medium, determines the electric capacity cape city the change, then obtains the relative humidity. Making the plasma using this principle to gather the legitimate polystyrene film temperature sensor below, it has the characteristic. Measured the wet scope is wide。 The temperature coefficient is small. The ceramic electric capacity type pressure transmitter is one kind does not have the intermediary fluid the dry type pressure transmitter. Uses the advanced ceramic technology, the heavy film el