【正文】 中心高，邊緣低。直拉硅單晶中，氧的濃度在6 1017/cm3 ——2 1018/cm3 的范圍內(nèi)。采用磁場技術(shù)，可以降低氧含量。 ? 碳一部分來自于石墨熱場，但大部分來自于原料。在單晶中的分布是頭低尾高。濃度數(shù)量級 1016/cm3 。 ? ? 位錯對半導(dǎo)體材料的電學(xué)性質(zhì)，如載流子濃度、遷移率、特別是對壽命的影響很大，因此，對器件的成品率影響很大?，F(xiàn)在，一般都要求無錯位單晶硅。檢測錯位的方法主要有：腐蝕坑法，雜質(zhì)沉淀法和 X光法。把腐蝕好的樣品放在全相顯微鏡下，可進(jìn)行觀察， 〈 111〉 晶面上的位錯腐蝕坑呈現(xiàn)三角形， 〈 100〉晶面上的位錯腐蝕坑呈現(xiàn)四方形。在每平方厘米面積上的腐蝕坑個數(shù)表示為位錯密度。 ? 在拉制的無位錯晶體的尾部，由于熱應(yīng)力的作用也會產(chǎn)生大量位錯。在檢測時，把有位錯的部位要作為廢品而切除掉。 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 3輔助材料 ? ? 高純氬氣在直拉單晶中作為保護(hù)氣體。如果氬氣純度不高，含有水、氧及其他雜質(zhì)，勢必要影響單晶硅的成晶率和質(zhì)量，甚至于根本無法拉制出單晶來。 單晶硅的生產(chǎn)對高純氬氣的要求是： 純度＞ %，即所有雜質(zhì)的總含量＜ 10ppm； 其中氧含量＜ ，目前已經(jīng)提高到＜ ； 水份＜ （對應(yīng)的露點(diǎn)約為 70℃ ），通常測定露點(diǎn)，露點(diǎn)越低，水含量越低。 ? ? 直拉單晶爐運(yùn)行時，需要冷卻水來冷卻爐壁。自來水或普通蒸餾水中都含有一些雜質(zhì)離子，如：鈉（ Na+）、鉀（ K+）、鎂（ Mg+2）、鈣（ Ca+2）等陽離子及氯（ Cl）、硫酸根（ SO42），碳酸根（ CO32）、硅酸根（ SiO32）等陰離子。這些雜質(zhì)，如鈣鎂離子會在冷卻水管內(nèi)結(jié)垢造成水路堵塞，酸根會腐蝕管道。因此冷卻水需要進(jìn)行純化處理。 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 ? 單晶爐的冷卻水的純度要求是： ? Cl離子含量 ≤10mg/L ； ? PH值在 69之間； ? 總硬度 ≤125mg/L。 ? 需要說明的是電阻率也是考量水純度的重要指標(biāo)之一，電阻率越大，水的純度越高。純水的理論極限電阻率與溫度有關(guān)，如下表。 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 ? 拉制單晶硅所使用的加熱器和保溫系統(tǒng)是用高純石墨制做的。單晶硅的生產(chǎn)對高純石墨的要求是：純度高、強(qiáng)度大、結(jié)構(gòu)致密均勻，無裂紋、無空洞。 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 ? 。 目前沒有查到電弧坩堝的國家標(biāo)準(zhǔn)文件。 石英玻璃的形變點(diǎn)為1075℃ ，退火點(diǎn) 1180℃ ，軟化點(diǎn) 1730℃ 。 的“析晶”現(xiàn)象。 ? 坩堝的“析晶”現(xiàn)象：拉晶使用過的坩堝，有時會在外壁或內(nèi)壁上出現(xiàn)與坩堝質(zhì)地不同，類似石灰質(zhì)的一層殼。這就是“析晶”現(xiàn)象。 ? “析晶”輕微時，堝壁上出現(xiàn)白斑，看不出明顯的分層；嚴(yán)重時，“析晶”層很厚，而且在內(nèi)壁的“析晶”層與坩堝的夾層之間會滲入硅。 ? “析晶”的原因是坩堝受到了堿金屬（鈉、鉀、鋰等）的沾污。 ? 沾污有以下幾種可能： ① 坩堝清洗時受到了堿金屬沾污。 ② 多晶原料中堿金屬含量高。 ③ 坩堝外壁的“析晶”，則多半是因?yàn)槭型胫械膲A金屬含量高。 ④ 其他原因引起的堿金屬沾污。 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 ? 說明：本培訓(xùn)材料主要引用： ? 單晶生產(chǎn)基礎(chǔ)理論知識（ ） ——梁永生 ? 直拉工藝培訓(xùn)教材（一） ——李定武 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 謝謝大家 培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長培訓(xùn)教育 學(xué)習(xí)成長 ? 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 , March 29, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 21:18:5221:18:5221:183/29/2023 9:18:52 PM ? 1以我獨(dú)沈久，愧君相見頻。 :18:5221:18Mar2329Mar23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 21:18:5221:18:5221:18Wednesday, March 29, 2023 ? 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 :18:5221:18:52March 29, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 2023年 3月 29日星期三 下午 9時 18分 52秒 21:18: ? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 3月 下午 9時 18分 :18March 29, 2023 ? 1行動出成果，工作出財富。 2023年 3月 29日星期三 9時 18分 52秒 21:18:5229 March 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 下午 9時 18分 52秒 下午 9時 18分 21:18: ? 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 , March 29, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 21:18:5221:18:5221:183/29/2023 9:18:52 PM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 :18:5221:18Mar2329Mar23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 21:18:5221:18:5221:18Wednesday, March 29, 2023 ? 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 :18:5221:18:52March 29, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 29日星期三 下午 9時 18分 52秒 21:18: ? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 2023年 3月 下午 9時 18分 :18March 29, 2023 ? 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 2023年 3月 29日星期三 9時 18分 52秒 21:18:5229 March 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 下午 9時 18分 52秒 下午 9時 18分 21:18: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 , March 29, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 21:18:5221:18:5221:183/29/2023 9:18:52 PM ? 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :18:5221:18Mar2329Mar23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 21:18:5221:18:5221:18Wednesday, March 29, 2023 ? 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 :18:5221:18:52March 29, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 3月 29日星期三 下午 9時 18分 52秒 21:18: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 3月 下午 9時 18分 :18March 29, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 3月 29日星期三 9時 18分 52秒 21:18:5229 March 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 下午 9時 18分 52秒 下午 9時 18分 21:18: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感 謝 您 的 下 載 觀 看 專家告訴