【正文】 度或曝光不足的現(xiàn)象，其產(chǎn)生的原因是在曝光時， 光波在不同厚度的光阻會有不同的干涉效應(yīng)產(chǎn)生，在入射光與反射光之處產(chǎn)生建設(shè)性干涉與破壞性干涉之故 。駐波效應(yīng)使得光阻曝光強度不均勻 ，使得光阻線寬經(jīng)顯影之後變成鋸齒狀，不利後續(xù)製程 。Standing Waves on Resist Profiles64 MFGPHOTO OVELAY 補值1 23 4 565 MFG按 F4PHOTO OVELAY 補值Feedback回stepperStepper依 overlay feedback的值 (+/)一個量作為下一批貨 run貨的參數(shù)Overlay量測的平均值6 7Stepper的補值 QX的量測值66 MFGOverlay Data(A1~A8)A1,A2 error es from baseline shift of alignment sensors and reticle. NormalChips are Rotated NormalChips are RotatedX A3,A4 error is a bination result of stage driving system, stage control system and stage positioning system.67 MFGOverlay Data(A1~A8)Y NormalChips are RotatedX’XY’qA5 error es from unstable prealignment it may e from the sublayer rotation also.q xbaq y A6 error is a bination result of stage driving system, stage control system and stage positioning system.Some wafer issue can also influence it.68 MFGOverlay Data(A1~A8)XY NormalChips are RotatedX’Y’q Reticle fabrication error also can influence the result. A8 alignment error make reticle in improper position.Chips are magnified NormalYXSpana A7 error e from image magnification control error Some other factor may also influence this item:– Temperature– Pressure– Reticle fabrication error69 MFGPHOTO Margin Check216。 焦距與 曝光能量 :當(dāng)光阻厚度確定後，焦距與 曝光是可影響 光阻截面的重要因數(shù)，因為 不同的 光阻厚度所對應(yīng)最佳焦距中心點是不同的，因此可用電子顯微鏡線寬量測及光阻截面來判斷標(biāo)準(zhǔn)的景深範(fàn)圍 。216。 FocusExposure Matrix:把線寬做為 Y軸，焦距值為 X軸，針對不同的 曝 光能量作圖連接後所得到的圖，在圖中可發(fā)現(xiàn)，不同的 曝光能量 ，其最佳焦距都落在附近的區(qū)域，同時所對應(yīng)的線寬與光罩上圖形線間有一個差值，這個差值稱為製程差值。216。 最佳焦距 ：指的是在可接受焦距範(fàn)圍的中心點。216。 最適 曝光量 ：在最佳焦距時，能使晶片上的光阻圖形線寬，與光罩上的圖形線寬相等的特定能量。216。 能量與光阻 ：能量提高時，對於線 (Line)的圖形而言，在圖形邊的 曝 光強度會提高，而使顯影後的線寬會變小，同時 曝 光區(qū)的 Space的線寬會變大，但 Line/Space設(shè)計圖形而言， Pitch的線寬是不會隨著 曝 光能量的高低而變的。 Focus +Exp. Dose70 MFGPHOTO Margin check216。Photo Process Margin Check : 利用前述焦距與 曝光不同條件所製作之 wafer，藉由 電子顯微鏡 線寬量測及光阻截面來判斷標(biāo)準(zhǔn)的景深範(fàn)圍。再依此決定最佳之焦 距及最適之曝光量。71 MFG216。 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 一月 21一月 21Thursday, January 28, 2023216。 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 13:54:5713:54:5713:541/28/2023 1:54:57 PM216。 1以我獨沈久，愧君相見頻。 一月 2113:54:5713:54Jan2128Jan21216。 1故人江海別，幾度隔山川。 13:54:5713:54:5713:54Thursday, January 28, 2023216。 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 一月 21一月 2113:54:5713:54:57January 28, 2023216。 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 28 一月 20231:54:57 下午 13:54:57一月 21216。 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 一月 211:54 下午 一月 2113:54January 28, 2023216。 1行動出成果，工作出財富。 2023/1/28 13:54:5713:54:5728 January 2023216。 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 1:54:57 下午 1:54 下午 13:54:57一月 21216。 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 一月 21一月 21Thursday, January 28, 2023216。 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 13:54:5713:54:5713:541/28/2023 1:54:57 PM216。 1成功就是日復(fù)一日那一點點小小努力的積累。 一月 2113:54:5713:54Jan2128Jan21216。 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 13:54:5713:54:5713:54Thursday, January 28, 2023216。 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 一月 21一月 2113:54:5713:54:57January 28, 2023216。 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 28 一月 20231:54:57 下午 13:54:57一月 21216。 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 一月 211:54 下午 一月 2113:54January 28, 2023216。 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 2023/1/28 13:54:5713:54:5728 January 2023216。 1空山新雨后，天氣晚來秋。 1:54:57 下午 1:54 下午 13:54:57一月 21216。 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 一月 21一月 21Thursday, January 28, 2023216。 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 13:54:5713:54:5713:541/28/2023 1:54:57 PM216。 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 一月 2113:54:5713:54Jan2128Jan21216。 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 13:54:5713:54:5713:54Thursday, January 28, 2023216。 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強。 一月 21一月 2113:54:5713:54:57January 28, 2023216。 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 28 一月 20231:54:57 下午 13:54:57一月 21216。 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 一月 211:54 下午 一月 2113:54January 28, 2023216。 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023/1/28 13:54:5713:54:5728 January 2023216。 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 1:54:57 下午 1:54 下午 13:54:57一月 21MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看專 家告 訴