【正文】 風(fēng)機(jī)過濾單元是自帶高效過濾器凈化設(shè)備，簡稱 FFU（ Fan Filter unit）。由于 FFU是一種結(jié)構(gòu)簡單靈活多樣的凈化設(shè)備。所以它廣泛應(yīng)用于局部環(huán)境送風(fēng)的空氣凈化，也可用于新廠房和對舊廠房的改造工程。近十幾年來，新建的芯 片廠房中廣泛使用 FFU凈化 設(shè)備，它主要用在大面積層 流潔凈廠房的屋頂送風(fēng)。右 圖就是一 高潔凈等級的單向 流潔凈室 ，采用新風(fēng)集中處 理 +FFU凈化空調(diào)系統(tǒng)，它是 由多臺風(fēng)機(jī)過濾單元設(shè)備組 成實現(xiàn)潔凈室回風(fēng)直接循環(huán) 系統(tǒng)。 高潔凈等級的單向流潔凈室 風(fēng)機(jī)過濾器單元（ FFU） 預(yù)過濾器阻尼層 高效過濾器風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)過濾器單元（ FFU） ? 象帶風(fēng)機(jī)的層流罩一樣，風(fēng)機(jī)過濾器單元也是由風(fēng)機(jī)和高效過濾器等部件組成的，只不過它的外形尺寸較層流罩小，且內(nèi)裝的高效過濾器全部為無隔板的形式。 ? FFU的結(jié)構(gòu) ? 如圖 ，風(fēng)機(jī)過濾器單元主要由離心后傾式直驅(qū)風(fēng)機(jī)組、無隔板高效過濾器、外殼、阻尼層等部件組成。外殼材料為不銹鋼板、鍍鋅鋼板或表面噴塑的冷軋鋼板。其特點是結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便、噪聲較大。如選用高性能風(fēng)機(jī)，其噪聲可小于 50dB(A)，但當(dāng)聯(lián)片安裝時，疊加噪聲較大，不適用于噪聲要求很低的場合，如潔凈手術(shù)室等。 FFU大多用于工業(yè)潔凈室。 FFU特點 FFU凈化設(shè)備的不足之處： （ 1）系統(tǒng)總的造價較高； （ 2）噪聲問題往往較大，是值得認(rèn)真考慮的； （ 3）風(fēng)機(jī)壓頭較低，當(dāng)循環(huán)系統(tǒng)阻力大時，需增設(shè)循環(huán)風(fēng)機(jī) 。 （ 1） 適應(yīng)性廣泛，方便靈活。 （ 2）系統(tǒng)可靠性高，運行調(diào)節(jié)方便。 （ 3） FFU 凈化設(shè)備結(jié)構(gòu)的最大優(yōu)點是： ①系統(tǒng)中風(fēng)量循環(huán)短，避免了集中送風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管的阻力損失，有利于風(fēng)機(jī)效率提高。 ②省去了大型風(fēng)管，有效節(jié)省了空間，降低了吊頂層的高度等。 FFU分類 按照風(fēng)機(jī)類型 ? AC（交流系統(tǒng)，細(xì)分為單項、三項，后者較少使用）和 EC（采用 EC風(fēng)機(jī)，直流系統(tǒng)）； ? 按照箱體材質(zhì) ? GI（鍍鋅鋁涂層鋼板） /AL（鋁合金） /SUS430（不銹鋼 ） /SUS304（不銹鋼）； ? 所配過濾器類型 ? 高效 /超高效無隔板過濾器和玻纖濾紙。 ? 潔凈室的人流通道、物流通道的布置有極其嚴(yán)格的要求，也就是說，人和物的進(jìn)出須遵循規(guī)定的程序。在有些潔凈室的人流通道上，需設(shè)置空氣吹淋室，讓人通過空氣吹淋室，用其高速潔凈氣流吹掉潔凈工作服上的塵埃，以防止?jié)崈艄ぷ鞣系膲m埃污染潔凈室。進(jìn)入潔凈室的物品應(yīng)通過物流通道，為防止物品進(jìn)入潔凈室時帶來的污染，物品應(yīng)通過傳遞窗來傳遞。 空氣吹淋室與傳遞窗 1. 空氣吹淋室 空氣吹淋室（ Air Shower）是人身或物料用凈化設(shè)備。通常設(shè)置在潔凈室人員的入 口處，它是利用 高速的潔凈氣流 吹落并帶走附著 在人身服裝或物 料表面上的塵和 菌，減少入室人 員的帶塵帶菌量。 吹淋室結(jié)構(gòu)形式 單人吹淋室 氣閘室是設(shè)置在潔凈室出入口或不同空氣潔凈度等級房間之間，阻隔室外或相鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。 風(fēng)淋室由箱體、門、高效過濾器、送風(fēng)機(jī)、配電箱、噴嘴等幾大部件組成。 小室式吹淋室 :小室式只允許單人吹淋，通過能力有限，但吹淋效果好。 通道式吹淋室 :通過式允許連續(xù)多人吹淋，通過能力大，但吹淋效果差，適用于工作人員較多的場合。 1－預(yù)過濾器 2－風(fēng)機(jī) 3－電加熱器 4－高效過濾器 5－噴嘴 6－吹淋區(qū) 高效過濾器 噴嘴 高效過濾器噴嘴進(jìn)入方向進(jìn)入方向風(fēng)淋室平面示意圖 電氣控制板風(fēng)機(jī)照明燈門粗效過濾器高效過濾器噴嘴空氣吹淋室性能和要求 ? 室內(nèi)凈寬為 ，長度按 ； ? 吹淋氣流速度 25~35m/s； ? 吹淋時間 30~60s； ? 吹淋氣流溫度 30~35℃ ，設(shè)自動控制和無風(fēng)斷電保護(hù)裝置； ? 吹淋室的送風(fēng)需經(jīng)過高效過濾器過濾； ? 小室式吹淋室的門要聯(lián)鎖和自動控制并設(shè)手動開關(guān)裝置。 潔凈式傳遞窗 : 傳遞窗是用來在潔凈室有內(nèi)外或潔凈室之間傳遞物件時可起隔氣流貫穿作用的孔口裝置，以防止污染隨物件的傳遞而傳播。 傳遞窗作為 潔凈室 的一種輔助 設(shè)備 ，主要用于潔凈區(qū)與潔凈區(qū)、非潔凈區(qū)之間的小件物品的傳遞，以減少潔凈室的開門次數(shù)，最大限度的降低潔凈區(qū)的污染。傳遞窗廣泛應(yīng)用于微細(xì)科技、生物實驗室、制藥廠、 醫(yī)院 、食品加工業(yè)、 LCD、 電子 廠等等一切需要空氣凈化的場所。 傳遞窗 標(biāo)準(zhǔn)傳遞窗 100級傳遞窗 高效過濾器風(fēng)機(jī)阻尼層回風(fēng)口余壓閥 ? 結(jié)構(gòu)原理 ? 單向開啟的風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置。 余壓閥原理及外形圖 余壓閥的性能 ? 通過余壓閥的風(fēng)量一般在 5~20 m3/min之間。 ? 壓差在 5~40Pa之間； ? 一般安設(shè)在靜壓差不同的潔凈室之間下風(fēng)側(cè)的外墻上，但不能影響下游側(cè)室內(nèi)氣流。 余壓閥的選擇應(yīng)用 ? 余壓閥的結(jié)構(gòu)應(yīng)能正確的動作，可動部件加工精度滿足要求； ? 靜壓差急劇變化時反應(yīng)靈敏； ? 構(gòu)件不易積塵； ? 按設(shè)計的漏風(fēng)量選擇余壓閥的規(guī)格與數(shù)量，排出風(fēng)速不應(yīng)影響下流側(cè)室的氣流的狀態(tài)。 潔凈工作臺是指在操作臺上保持局部空間形成無菌無塵高潔凈度狀態(tài)的局部凈化設(shè)備。右圖為普通型潔凈工作臺結(jié)構(gòu)，通常為 ， 5級（ 100級） 生物安全柜是專門進(jìn)行有生物學(xué)危險性操作用的潔凈設(shè)備，其作用主要是保護(hù)操作人員避免受到生物危害。生物安全柜的隔離對象主要有：一般病原體、癌病毒和重組基因中的活性物質(zhì)等。 潔凈工作臺、生物安全柜 ? 1 結(jié)構(gòu)原理 ? 在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化設(shè)備。 ? 2 分類 ? 非單向流式和單向流式 ? 全循環(huán)式、直流式，前部排風(fēng)式、全面排風(fēng)式 ? 專用工作臺和通用工作臺 ? 整體式和脫開式 自凈器 是一種空氣凈化器組，由風(fēng)機(jī)、粗效、中效和高（亞高）效過濾器及送風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口組成。有些自凈器粗、中效過濾器也可以只用其中的一種。 自凈器的作用 : ① 設(shè)置于亂流潔凈室的四角和其他渦流區(qū)以減少灰塵滯留的機(jī)會。 ② 作為操作點的臨時凈化措施。 ③ 作為循環(huán)機(jī)組。 移動式 吊頂式 2． SMIF微環(huán)境隔離技術(shù)簡介 在微電子生產(chǎn)工藝中，把硅片放在封閉的、溫濕度、風(fēng)速精密控 制和超潔凈的空氣中進(jìn)行加 工的環(huán)境稱為“微環(huán)境” （ minienvironment）。硅 片的傳送和在集成電路工藝 設(shè)備之間的轉(zhuǎn)移均與操作人 員的環(huán)境相隔離。而作為一 種標(biāo)準(zhǔn)方式在隔離條件下將 硅片與工藝設(shè)備相接合，必 須有密封的全自動開閉的統(tǒng) 一接口。被稱作“標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械 接口（ standard mechanical interface—— SMIF） SMIF微環(huán)境 與傳統(tǒng)的潔凈室概念不同的是，采用 SMIF微環(huán)境技術(shù)不是通過將工藝設(shè)備置于要求級別的潔凈環(huán)境中，而是將要求級別的潔凈環(huán)境置于工藝設(shè)備中，從而帶來了許多優(yōu)點： ①能確保關(guān)鍵部位工藝的高潔凈度環(huán)境，從而確保 高成品率 。 ②適應(yīng)產(chǎn)品變換所要求的工藝變更，具有很高的靈活性。 ③能大大降低微環(huán)境外部的潔凈度等級要求，降低了 運行成本 ； 同時也降低了對潔凈室工作人員的凈化要求等。 微環(huán)境、隔離技術(shù)應(yīng)用 演講完畢，謝謝觀看！