had2258c型多功能數(shù)字式四探針測試儀-資料下載頁
2025-08-05 00:42本頁面
【正文】 .646.651.656.661.616.621.626.631.637.642.647.652.657.661.616.622.627.632.637.642.647.652.657.662.617.622.627.633.638.643.648.653.658.662.617.623.628.633.638.643.648.653.658.663.618.623.628.634.639.644.649.654.658.663.618.624.629.634.639.644.649.654.658.664.619.624.629.635.640.645.650.655.659.664查表舉例：, 在第一列索引中查“”這行，向右查到第“6”列， 注意，表中查得為厚度修正值，以后還要乘以C0=(S=)（S=）將乘積作為修正系數(shù)F輸入儀表！ 以下查表后，修正系數(shù)計(jì)算同理，即 F=C0* 厚度修正系數(shù) * 位置修正系數(shù) * 形狀修正系數(shù)WS附錄1B 樣品厚度修正系數(shù)G（ ）WS樣品厚度較厚： ≥～ 見下表，W：樣品厚度（mm）；S：探針間距（mm）W/S dS附錄2 樣品形狀和測量位置的修正系數(shù)D（ ）（1）圓形薄片 表7直徑d（mm）探 針 位 置距圓心位置距邊緣位置0 mm1/4 d5 mm4 mm3 mm2 mm2023252730323538404245505557606365707580901002mm3mm4mm5mm0d/4邊緣圓心直徑（d）圓形薄片樣品厚度小于500μm圓形薄片測量位置示意圖（2）矩形薄片 表 8正方形矩 形d/sa/d=1a/d=2a/d=3a/d≥4100S1S3S2add：短邊長度a：長邊長度s：探針間距 矩形薄片形狀示意圖例 在探針平均間距為1mm時(shí)，測量矩形薄片樣品如下圖示4mm2mmd/s=2,a/d=2dS因此D( )= HADC型四探針測試臺(tái) 操作使用說明書一 、功能與結(jié)構(gòu)特征概述 配HAD2553F01探頭測硅片 基本功能：HADC型四探針測試臺(tái)，是用來裝夾四探針探頭，連接四探針測試儀器，放置樣品，進(jìn)行手動(dòng)方式測試的機(jī)具。是四探針法測試電阻率/方塊電阻（方阻）儀器的配套測量裝置（以下簡稱測試臺(tái)）?；窘M成：主要有載物臺(tái)(180mmX180mm凈載物面積)、雙軌垂直導(dǎo)向單元、測試壓力調(diào)節(jié)單元、探頭快速升降扳手(頂部戴紅套部分)、探頭連接板等單元。配套與兼容：本測試臺(tái)可選配本公司所有型號(hào)的四探針測試探頭，包括鎢針?biāo)奶结樚筋^（測試硬質(zhì)樣品用），鍍金合金探頭（測試柔性薄膜或涂層方阻專用）；本測試臺(tái)兼容本公司所有四探針測試儀器。本測試臺(tái)加配本公司探頭，可兼容國內(nèi)同行絕大多數(shù)四探針電阻率/方阻測試儀器。二、可測半導(dǎo)體材料尺寸 （探頭手持方式不限）直徑或邊長:HADC測試臺(tái)直接測試方式 Φ15～180mm，或180mm180mm。長(或高)度： 測試臺(tái)直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.三 、使用方法 放置樣品：將測試臺(tái)上部操作扳手向上向后、向上升起測試臺(tái)探頭，將樣品放在探頭下方測試臺(tái)板上，然后將測試臺(tái)上部操作扳手向前向下，壓下探頭。?。涸谔筋^壓下的狀態(tài)下，可根據(jù)樣品厚度及壓力要求，調(diào)節(jié)測試臺(tái)導(dǎo)軌支架中部螺桿上的螺母（先松開鎖緊螺帽），觀察探頭探針壓下程度，調(diào)節(jié)測試壓力?。◤椈蓧嚎s量0～20mm,對(duì)應(yīng)探頭壓力0～），調(diào)好后，鎖緊鎖緊螺帽。對(duì)于HAD2253F01鎢針探頭，探頭探針探針縮進(jìn)量0～4mm,對(duì)應(yīng)探頭壓力0～，對(duì)于HAD2558BF01薄膜方阻探頭，探頭探針探針縮進(jìn)量0～4mm,對(duì)應(yīng)探頭壓力0～400克！ 調(diào)好后，松開手，壓力會(huì)自動(dòng)保持。 測好后，抬起探頭，移動(dòng)樣片或移開！
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