【正文】
toelectronic devices (LEDs, photo transformers, opto couplers) All other microcircuits not included in class 1 or class 2 Resistor chips Piezo electric crystals Hybrids using Class 3 parts DAMAGE YOU CAN PROBABLY DETECT AS A SPARK WITH YOUR OWN BODY 身體可能產生 火花而查覺損害 製程技術提升相對提高了元件的敏感度 Technology Trends 1995 1998 2022 2022 2022 Feature size(mm) Voltage (V) 2 Source: Terry Welsher, Bell Labs, Lucent Technologies, 12/2/97 如何 控制 ESD In Immunity 設計上加強元件的免疫力 and Reduce Generation 消除或減少靜電的產生 and Neutralize 安全的釋放與中和靜電 Products 保護元件 Design In Immunity 設計上加強元件的免疫力 ?使用較不敏感的元件或裝置 ?提供適當?shù)妮斎氡Wo ?隨製程技術的提升,更微小與複雜 的幾何空間是無法避免的 Eliminate and Reduce Generation 消除或減少靜電的產生 ?減少靜電產生的製程與材料 ?保持不同製程與材料在相同的電位 ?提供接地途徑 Dissipate and Neutralize 安全的釋放與中和靜電 ?使用導電或防靜電材,提供靜電的宣洩途徑並正確接地 ?對絕緣性材料,以中和靜電方式 Protect Products 保護元件 ?提供零件與設備接地,防止靜電釋放至元件 ?使用防靜電的包裝材料,防止運送過程中的靜電事件 如何做好 ESD控制 1. 設立 ESD小組與聯(lián)絡人 2. 確定損失程度 3. 評估設備,製程與需求 4. 確認 ESD敏感元件 5. 建立評審制度 6. 獲取高階管理的支持 7. ESD控制步驟與規(guī)範 8. 人員訓練 9. 審視,監(jiān)督,分析,報告,回饋,改善 ?三廠興建全廠靜電防護措施規(guī)劃 ?全廠靜電基本常識之教育訓練 ?成立跨部門之 ESD靜電防護小組 ?提出各項靜電措施之維護管理制度 ?導入靜電消除之有效方法以達客戶 之要求 微星靜電防護措施成果