光學(xué)系統(tǒng)與探測(cè)器ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-05-04 18:59本頁(yè)面
【正文】 補(bǔ)金屬氧化物 (PMOS管和 NMOS管 )共同構(gòu)成的互補(bǔ)型 MOS集成電路制造工藝 ? CMOS傳感器也可細(xì)分為被動(dòng)式像素傳感器 (Passive Pixel Sensor CMOS)與主動(dòng)式像素傳感器 (Active Pixel Sensor CMOS) ? 性能 ? 1）光電轉(zhuǎn)換特性 ? 線性工作區(qū)與飽和工作區(qū) ? SE飽和曝光量，VSAT飽和輸出電壓 ? VDAK暗輸出電壓 ? 2）光譜響應(yīng) ? 以硅為襯底的器件，光譜響應(yīng)范圍：400~1100nm ? 紅外器件的光敏材料有 InSb、 PbSnTe、HgCdTe，光譜范圍延伸至： 3~5μm和8~14μm ? 3）動(dòng)態(tài)范圍 ? 飽和曝光量輸出信號(hào)與等效噪聲信號(hào)之比 ? 等效噪聲信號(hào)是指 CCD正常工作時(shí)，無(wú)光信號(hào)時(shí)總噪聲下能分辨的最小信號(hào) ? 通常在 103~104nA/cm2 ? 4）暗電流 ? 在無(wú)光照，又無(wú)電注入時(shí)輸出電流 ? 影響因素很多，跟環(huán)境溫度密切相關(guān)，在室溫下約為 5~10nA/cm2 ? 5）分辨力 ? 對(duì)物像中明暗細(xì)節(jié)的分辨能力，采用調(diào)制傳遞函數(shù)MTF來(lái)評(píng)價(jià) ? MTF=MOUT/MIN(輸出調(diào)制度與輸入調(diào)制度之比 ) ? 當(dāng)輸入一個(gè)確定頻率的正弦光波的物像在 CCD上時(shí)，CCD的輸出也將是一個(gè)隨時(shí)間變化的正弦波，設(shè)波峰為 A，波谷 B，則調(diào)制度M為 ? M=[(AB)/2]/[(A+B)/2]= =(AB)/(A+B) ? CCD空間分辨力 ? 例 7000像元線陣 CCD的分辨力可達(dá) 7μm ? 4096 4096面陣器件的整機(jī)分辨力在 1000電視線上
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