角度和錐度的測(cè)量ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-05-03 06:49本頁(yè)面
【正文】 （四）干涉法 １．干涉法測(cè)量小角度的原理： 如圖 326所示。 當(dāng) α 很小時(shí) ， 圖 326 光的等厚干涉 因 角度 α 可通過高度 h與邊長(zhǎng) l來確定。用光波干涉法測(cè)量時(shí)， h可用光波波長(zhǎng)為單位來測(cè)量。若在長(zhǎng)度 l上有 n條等距干涉條紋，則： 圖 327 干涉法測(cè)量小角度原理 測(cè)量時(shí)，先將被測(cè)的小角度試件研合在平晶上，并將平晶置于干涉儀工作臺(tái)上。如圖 327c、 d所示，圖中 Ⅰ 、 Ⅱ 為被測(cè)角度的兩個(gè)工作面， Ⅲ為參考平面的象。 ２．儀器測(cè)量原理： 測(cè)量光路如圖 327a。 參考平面的象 Ⅲ 與平面 Ⅰ 、 Ⅱ 之間的夾角分別為 α α 2，若從儀器目鏡中讀出 h h l 1和 l 2，則： ahlahl11122222???? 對(duì)圖 c所示情況，被測(cè)試件的角度為 α1+α2 ； 對(duì)圖 d所示情況，被測(cè)試件的角度為 α1 α2 。 ３．參考平面象 Ⅲ 的位置判斷： 測(cè)量時(shí)可用手輕按鏡筒，使參考鏡有微小角度變化。對(duì)于圖 c將使角 α1 、 α2 一個(gè)增大，一個(gè)減少，因而干涉條紋一組變密，一組變疏，兩組條紋向相反方向移動(dòng)。對(duì)于圖 d將使角 α1 、 α2 同時(shí)增大或減少，兩組干涉條紋同時(shí)變密或變疏，兩組條紋同向移動(dòng)。 ４．測(cè)量精度： 當(dāng)被測(cè)角度不大于 2′ 時(shí)，其測(cè)量誤差不超過 ″ 。 （五）雙頻激光測(cè)角 雙頻激光測(cè)量角度的光路如圖 328。傾斜角 θ 與位移量 Δ 有 如下關(guān)系： ? ?? ? ? ??? ?2 20 f dt Nt ? ? ?f f f? ?1 2圖 328 雙頻激光測(cè)角 θ ＝ arcsin(Δ/ R) 式中：
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