【正文】 222222221 RLRMRReq ?????eqeqLjRLLRMLjRLRMRIUZ?????????????????????22222222122222222111??222222221 LLRMLLeq ?????線圈等效品質(zhì)因數(shù) 222212222212011)()(LMRRLMLLQZReZImQ??????????????特性參數(shù)影響因素： Q： L2, R2, L1, R1, ω, M Req、 Leq、 Q是 M2的函數(shù) 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器基本原理 二、電渦流式傳感器輸出特性 三 、 電渦流式傳感器基本類型 四 、 電渦流式傳感器測(cè)量電路 167。 電渦流式傳感器 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 三、電渦流式傳感器的基本類型 電渦流式傳感器可分為 高頻反射式 和 低頻透射式 兩類 。 167。 電渦流式傳感器 高頻信號(hào)激勵(lì)傳感器線圈產(chǎn)生高頻交變磁場(chǎng) ， 當(dāng)被測(cè)導(dǎo)體靠近線圈時(shí) ，產(chǎn)生電渦流 ， 而電渦流又產(chǎn)生一交變磁場(chǎng)阻礙外磁場(chǎng)的變化 。 高頻反射式 從能量角度分析 ， 被測(cè)導(dǎo)體內(nèi)存在著電渦流損耗 ， 使傳感器的 Q值和等效阻抗 Z降低 。 當(dāng)被測(cè)體與傳感器間距離改變時(shí) ， 傳感器的 Q和 Z、 電感L均發(fā)生變化 ， 位移量轉(zhuǎn)換成電量 。 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 三、電渦流式傳感器基本類型 167。 電渦流式傳感器 發(fā)射線圈和接收線圈置于被測(cè)金屬板上下方 。 當(dāng)?shù)皖l電壓加到線圈 1的兩端后 ， 產(chǎn)生磁場(chǎng)線的一部分透過金屬板 ， 使線圈 2產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì) 。 但渦流消耗部分磁場(chǎng)能量 ， 使感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)減少 ， 當(dāng)金屬板越厚時(shí) ， 損耗的能量越大 ， 輸出電動(dòng)勢(shì)越小 。 低頻透射式 電動(dòng)勢(shì)的大小與金屬板的厚度及材料的性質(zhì)有關(guān) 。 電動(dòng)勢(shì)隨材料厚度的增加按負(fù)指數(shù)規(guī)律減少 。 若金屬板材料的性質(zhì)一定 ， 即可測(cè)厚度 。 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器基本原理 二、電渦流式傳感器輸出特性 三 、 電渦流式傳感器基本類型 四 、 電渦流式傳感器測(cè)量電路 167。 電渦流式傳感器 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 三、電渦流式傳感器測(cè)量電路 調(diào)頻式電路 電渦流傳感器的測(cè)量電路主要有調(diào)頻式 、 調(diào)幅式電路和交流電橋等 。 )()( 0 xUfxLx ???傳感器線圈接入振蕩回路 ， 當(dāng)傳感器與被測(cè)導(dǎo)體距離改變時(shí) ， 在渦流影響下 ， 傳感器的電感變化 ， 導(dǎo)致振蕩頻率的變化 。 167。 電渦流式傳感器 頻率變化是距離的函數(shù) ， 頻率可由數(shù)字頻率計(jì)直接測(cè)量 ， 或通過頻率 ~電壓變換 ， 用電壓表測(cè)量對(duì)應(yīng)的電壓 。 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 三、電渦流式傳感器測(cè)量電路 調(diào)幅式電路 )( ZfiU oo ?傳感器線圈 L、 電容器 C和石英晶體組成石英晶體振蕩電路 。 當(dāng)金屬導(dǎo)體遠(yuǎn)離傳感器線圈時(shí) ， 諧振回路諧振頻率 fo， 回路呈現(xiàn)的阻抗最大 ， 諧振回路上的輸出電壓也最大；當(dāng)金屬導(dǎo)體靠近時(shí) ， 線圈的等效電感 L發(fā)生變化 ， 導(dǎo)致回路失諧 ， 輸出電壓降低 ， L的數(shù)值隨距離的變化而變化 。因此 ， 輸出電壓也隨而變化 。 167。 電渦流式傳感器 石英晶體振蕩器起恒流源的作用 ， 給諧振回路提供一個(gè)頻率 f0穩(wěn)定的激勵(lì)電流 io，LC回路的阻抗為 Z時(shí)輸出電壓 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器基本原理 二、電渦流式傳感器輸出特性 三 、 電渦流式傳感器基本類型 四 、 電渦流式傳感器測(cè)量電路 167。 電渦流式傳感器 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 第 4章 電感式傳感器 167。 變磁阻式電感傳感器 167。 差動(dòng)變壓器式電感傳感器 167。 電渦流式傳感器 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 載有交變電流的線圈產(chǎn)生交變磁場(chǎng) Hp， 金屬物平面感應(yīng)出電渦流 ， 產(chǎn)生交變渦流磁場(chǎng) Hs ， 均在檢測(cè)線圈 （ 反向差動(dòng)線圈 ）中產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì) 。 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 無損金屬材料探傷 金屬物交流電流激勵(lì)線圈檢測(cè)線圈pH交變磁通sH① 被測(cè)金屬物上無缺陷 穿過檢測(cè)線圈的兩個(gè)線圈的磁通量相等 ， 感應(yīng)電勢(shì)相互抵消 ， 輸出為零 。 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 無損金屬材料探傷 ② 被測(cè)金屬物上有缺陷 穿過兩個(gè)檢測(cè)線圈的磁通量不相等 ， 檢測(cè)線圈輸出感應(yīng)電勢(shì)不為零 。 金屬物交流電流激勵(lì)線圈檢測(cè)線圈pH交變磁通sH裂紋裂紋信號(hào)干擾信號(hào)幅值甄別電路信號(hào) 裂紋信號(hào)處理后幅值甄別電路信號(hào) 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 量 程： 0 ~ 30mm 分辨率： % 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 測(cè)量位移 —— 液位監(jiān)控系統(tǒng) 測(cè)量位移 —— 汽輪機(jī)主軸的軸向竄動(dòng) 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 薄膜厚度： d=X0X 等效電感： L=L0ΔL 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 測(cè)量轉(zhuǎn)速 測(cè)量薄膜厚度 fm i n )/(60 rNfn ??齒輪齒數(shù) 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 測(cè)量 板材厚度 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 生產(chǎn)工件計(jì)數(shù) 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 接近傳感器 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 一、電渦流式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 接近傳感器 —— 接近開關(guān)專用集成電路 SC205 12 3456791112133C1CL2C1RP2RP）（ VVV CC 30~物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍： 177。 1mm 分 辨 率： 1um 精 度： 3% 二、自感和互感式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 電感測(cè)微儀 探頭 測(cè)量 電橋 交流 放大 相敏 檢波 指示器 振蕩器 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 二、自感和互感式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 電感壓力傳感器 P?A 1 2 3 4 5 6 7 微壓傳感器 1 接頭； 2 膜盒； 3 底座； 4 線路板； 5 差動(dòng)變壓器； 6 銜鐵； 7 罩殼 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 二、自感和互感式傳感器應(yīng)用 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 電感式滾珠直徑分選 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 第 4章 電感式傳感器 167。 變磁阻式電感傳感器 167。 差動(dòng)變壓器式電感傳感器 167。 電渦流式傳感器 167。 電感式傳感器的應(yīng)用 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 第四章 作 業(yè) 第二版教材 8687頁： 練習(xí)題： 42， 44， 49 第三版教材 8485頁： 練習(xí)題： 42， 44， 410 物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 王殿生 制作 EXIT 《 傳感器原理及應(yīng)用 》 第四章結(jié)束 謝謝合作！