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創(chuàng)新型“改良深低溫硅烷法”生產(chǎn)技術(shù)開發(fā)多晶硅高新產(chǎn)品項(xiàng)目可行性研究報(bào)告-資料下載頁(yè)

2025-04-28 03:39本頁(yè)面
  

【正文】 平區(qū)熔單向凝固成硅錠,去除第二次區(qū)熔硅錠中金屬雜質(zhì)聚集的部分和外表部分,經(jīng)粗粉碎與清洗后,在電子束融解爐中去除磷和碳雜質(zhì),直接生成太陽(yáng)能級(jí)多晶硅。此工藝國(guó)內(nèi)僅有一家企業(yè)采用。本項(xiàng)目,巢湖XX太陽(yáng)能源有限公司采用的是創(chuàng)新型“改良深低溫硅烷法”,屬國(guó)內(nèi)首例,在國(guó)內(nèi)屬新工藝、新技術(shù)。其工藝原理是在美國(guó)杜邦法的基礎(chǔ)上做了很大的改進(jìn)。其特點(diǎn)是能耗少,(相比西門子法減少80%),產(chǎn)量純度高(80%產(chǎn)品可達(dá)8 N級(jí),可直接拉制出IT級(jí)用的11 N的單晶硅),無(wú)需氯堿(設(shè)廠地點(diǎn)不受限制),材料消耗少,生產(chǎn)連續(xù),自動(dòng)化程度高,工人少,生產(chǎn)原料成本低。(1)改良西門子法與改良深低溫硅烷法比較當(dāng)前國(guó)內(nèi)外80 % 的企業(yè)是采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅,故主要以改良西門子法與改良深低溫硅烷法做比較:西門子法的工藝流程及生產(chǎn)過(guò)程較為復(fù)雜,目前國(guó)內(nèi)僅有的二家生產(chǎn)廠,多晶硅生產(chǎn)在還原工序中,每產(chǎn)出一噸多晶硅,會(huì)產(chǎn)生10噸尾氣,還原爐排出的尾氣中有大量未反應(yīng)完全三氯氫硅(SiHCl3)、四氯化硅SiCl4及含大量氯氣的HCl。不僅給環(huán)境帶來(lái)嚴(yán)重的公害污染,而且生產(chǎn)效能低,原料成品率之比為11 :1,既投入十一噸純?cè)蠚怏w,只能產(chǎn)出一噸的多晶硅材料。除此,西門子法的缺點(diǎn)還有:①能耗大,無(wú)論是前后工藝的氯化提純和后道的高溫爐還原工藝,總合每噸多晶硅耗電應(yīng)在20萬(wàn)度以上。②原材料浪費(fèi)大,目前每產(chǎn)出一噸多晶硅需耗SiHCl3 11噸,必將產(chǎn)生大量的尾氣、廢氣處理,回收的技術(shù)裝備成本很高。若尾氣處理綜合利用率提高,SiHCl3的耗量可能下降。③設(shè)備投資規(guī)模大,100噸多晶硅生產(chǎn)線需投資1億元以上。④產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性有問(wèn)題,一般多晶硅純度要求在6N以上,而西門子法多晶硅不適合作電子IC級(jí)芯片產(chǎn)品,多晶硅純度在5N以下。兩種生產(chǎn)方法比較 :改良西門子法改良深低溫硅烷法投資預(yù)算年產(chǎn)1000噸需10億元以上產(chǎn)品質(zhì)量在5N以下,純度低純度68N,8N大于80%用電消耗高,20萬(wàn)度/噸低,僅占1/4,50度/公斤原材料物耗10萬(wàn)元/噸25萬(wàn)元/噸多晶硅純度高生產(chǎn)能效比低,產(chǎn)出率低于30%高,多晶硅產(chǎn)出率高于90%生產(chǎn)能力中等,2000噸/年高,大于2000噸/年環(huán)保評(píng)估公害污染,廢氣排放量大,回收率低良好,無(wú)公害污染,無(wú)廢氣排放,無(wú)顆粒物排出(2)本項(xiàng)目采用的工藝特點(diǎn):改良深低溫硅烷法,屬國(guó)內(nèi)首例, 與傳統(tǒng)工藝相比有很多的突破,特別是在高純度硅烷深低溫提純領(lǐng)域,首創(chuàng)出離子態(tài)超臨界純化技術(shù) , Ion State Supercritical Purified Technology (ISSP) ,使 “改良深低溫硅烷法” 相比改良西門子法,大規(guī)模生產(chǎn)具有更安全、環(huán)保性好的特點(diǎn),使產(chǎn)出能耗比大大減小 ,降低氯氣排放99%以上,多晶硅產(chǎn)出率更高,達(dá)到 1:。另主要有以下優(yōu)點(diǎn):①原料采用硅合金粉,運(yùn)輸方便安全,(西門子法原料采用SIHCL3運(yùn)輸不安全,這種廠生產(chǎn)地點(diǎn)要靠近能供應(yīng)該原料SIHCL3的氫堿廠周圍200公里范圍內(nèi))。該工藝廠地不受地域限制。②該法產(chǎn)品多晶硅純度高,70%以上的8N產(chǎn)品,可直接供給生產(chǎn)單晶硅廠使用,是國(guó)內(nèi)外兩個(gè)市場(chǎng)都屬急需產(chǎn)品,在相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)不愁沒(méi)有銷路,目前國(guó)外客戶愿意包銷,可簽訂協(xié)議。③籌建速度快,由于生產(chǎn)線規(guī)模小,投資后半年內(nèi)即可進(jìn)入生產(chǎn),拿出產(chǎn)品,及早進(jìn)入市場(chǎng)。(西門子法一般都在一年半以上才能試車,2年后才能正常生產(chǎn))。④投資較低,可以一次規(guī)劃多套生產(chǎn)線,根據(jù)資金的情況分批實(shí)施。(二)生產(chǎn)工藝流程生產(chǎn)流程如下:H2回收高溫分解高溫分解高溫分解高溫分解產(chǎn)品(多晶硅)產(chǎn)品(多晶硅)產(chǎn)品(多晶硅)產(chǎn)品(多晶硅)高溫預(yù)分離低溫純化器分離回流釜硅烷反應(yīng)塔合 成原料一原料二母液回收塔再生關(guān)鍵技術(shù):,中間用氣動(dòng)無(wú)泄漏閥門VCR連接(由計(jì)算機(jī)控制閥門流量)。、出料都有隔離室,經(jīng)抽高真空再進(jìn)料或出料,全部自動(dòng)操作,防止內(nèi)部氣體外泄污染環(huán)境?!娴?20℃下操作,能耗相對(duì)小(相對(duì)西門子法減少了2/3),對(duì)壓力、流量、溫度和雜質(zhì)成份測(cè)量,全程監(jiān)控,自動(dòng)處理,生產(chǎn)過(guò)程絕對(duì)安全可靠,設(shè)備安全系統(tǒng)有三重安全切換措施。,特殊緊急情況下啟動(dòng)排放閥,把超壓的液體排放到鹽水池中降解,確保設(shè)備和環(huán)境安全。由于改良低溫硅烷法沒(méi)有Cl參與反應(yīng),所以改良低溫硅烷法在生產(chǎn)多晶硅的尾氣中,無(wú)任何顆粒物,無(wú)任何污染,真正實(shí)現(xiàn)零排放環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),而這一點(diǎn)在國(guó)際上只有歐洲REC一家生產(chǎn)多晶硅材料公司做到了這樣的零排放標(biāo)準(zhǔn)。凡采用改良西門子法的工廠,生產(chǎn)過(guò)程中都需要氯氣Cl2的參與,其尾氣中排放,不可避免地會(huì)含有氯氣Cl污染。本項(xiàng)目主要設(shè)備選用美國(guó)進(jìn)口成套設(shè)備為主,國(guó)產(chǎn)設(shè)備為輔。(一)進(jìn)口設(shè)備(1)生產(chǎn)設(shè)備中的硅烷反應(yīng)塔、純化塔、二次分離器。(2)在線測(cè)量?jī)x器、傳感器、控制閥門等執(zhí)行元器件。(3)精密測(cè)量分析儀器。(4)深低溫制冷設(shè)備系統(tǒng)。(5)機(jī)械手加料,多晶硅料和排渣隔離系統(tǒng)。以上設(shè)備已委托蘇州天益設(shè)備有限公司全權(quán)負(fù)責(zé)進(jìn)口事宜,與美商商務(wù)洽談?wù)谶M(jìn)行中,待成交后,才能提供全部進(jìn)口設(shè)備清單。對(duì)方設(shè)備報(bào)價(jià)折合人民幣為13670萬(wàn)元。(二)國(guó)產(chǎn)配套生產(chǎn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)配套生產(chǎn)設(shè)備單位:萬(wàn)元序號(hào)設(shè)備名稱單位數(shù)量單價(jià)金額1合成塔臺(tái)10505002分離回流塔臺(tái)102153一次分離器臺(tái)102264回收貯液槽套101355氮?dú)赓A罐套143426真空泵系統(tǒng)套101187加料操作臺(tái)等附屬設(shè)施套10121208出料部空氣凈化設(shè)備套10989產(chǎn)品包裝設(shè)備套101010010 下腳料包裝設(shè)備套1015150合計(jì)1665(三)公用工程設(shè)備:柴油發(fā)電機(jī)組一套、變壓器及附件一套。:專家組配置轎車3輛,中層干部聯(lián)系工作配置轎車2輛,面包車2輛,辦公室控制使用。原材料運(yùn)輸5噸卡車4輛,5噸雙排座卡車2輛,1噸鏟車及手動(dòng)鏟車各4輛。合計(jì):轎車5輛 、 面包車2輛、卡車6輛、各類鏟車8輛。 主要為辦公設(shè)備如電腦、打印機(jī)、復(fù)印機(jī)、電話、傳真、辦公家具等;、安全設(shè)備:主要有消防栓、滅火器、滅火彈等。詳細(xì)見下表單位:萬(wàn)元序號(hào)設(shè)備名稱單位數(shù)量單價(jià)金額一輔助設(shè)備    1變壓器及附件套180802發(fā)電機(jī)組臺(tái)160603管網(wǎng)材料套  784鍋爐112125儲(chǔ)氣罐31236 小計(jì)   266      二運(yùn)輸裝卸設(shè)備    1卡車輛611662轎車輛5493面包車輛2102041噸鏟車輛43125手動(dòng)鏟車輛428 小計(jì)   155     三辦公及安全設(shè)備    1復(fù)印機(jī)臺(tái)2242電腦臺(tái)50303電話部4014傳真機(jī)臺(tái)35辦公用具   56消防器材套20480小計(jì)   合計(jì)第八章 公用工程及輔助設(shè)施一. 總平面設(shè)計(jì)(一)設(shè)計(jì)依據(jù)及原則 設(shè)計(jì)依據(jù)的國(guó)家有關(guān)設(shè)計(jì)規(guī)范:1.《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(GBJ1687)(2001年版);2.《工業(yè)企業(yè)采光設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB500332001);3.《門式鋼架輕型房屋鋼結(jié)構(gòu)技術(shù)規(guī)程》(CECS102,2002);4.《建筑結(jié)構(gòu)荷載規(guī)范》(GB500092001);5.《建筑抗震設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB500112001);6.《鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB500172003);7.《建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB500072002);8.《混凝土結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB500102002)。 設(shè)計(jì)原則:,在滿足生產(chǎn)的條件下,節(jié)約土地。,綜合運(yùn)輸、安全、消防、環(huán)保等,按生產(chǎn)工藝進(jìn)行功能分區(qū),力求符合流程,流暢操作,方便管理。,盡量避免人貨流交叉。,順應(yīng)工藝,安全和環(huán)境優(yōu)美。、勞動(dòng)安全設(shè)施建設(shè)與總體建設(shè)工程保持“三同時(shí)”。(二) 總平面設(shè)計(jì)項(xiàng)目占地200畝,廠房、庫(kù)房及其他配套生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)設(shè)施51470平方米,完善供電、供水、交通運(yùn)輸?shù)扰涮自O(shè)施。廠房為輕鋼結(jié)構(gòu),三跨,單跨30m,長(zhǎng)445m,配電房布置在廠房的東南角。建筑物之間的間距滿足防火要求和地質(zhì)要求。根據(jù)需要設(shè)置兩個(gè)大門,原輔助材料、動(dòng)力進(jìn)廠與產(chǎn)品出廠分別由此兩個(gè)門進(jìn)出。廠區(qū)主干道沿廠區(qū)兩大門進(jìn)入,直達(dá)車間,并與原料庫(kù)、成品庫(kù)相連。辦公大樓、宿舍樓、餐廳、浴室合理布局,做到辦公區(qū)及生活區(qū)與生產(chǎn)區(qū)嚴(yán)格分離,中間用綠化帶分隔。詳見廠區(qū)平面布置圖。(三)豎向布置考慮到建設(shè)場(chǎng)地比較平整,整個(gè)場(chǎng)地按一個(gè)平面布置,以現(xiàn)有場(chǎng)地標(biāo)高+。根據(jù)本地區(qū)歷史水文資料:,來(lái)確保場(chǎng)地標(biāo)高在50年一遇洪水位以上。本項(xiàng)目地勢(shì)較高,地表水徑流總體向南,向巢湖水域集中,廠區(qū)內(nèi)依地勢(shì)建排水管網(wǎng)??偲矫鎴D的主要指標(biāo)詳見表81:項(xiàng)目總平面圖主要指標(biāo)序號(hào)指標(biāo)名稱單位數(shù)量備注1占地面積畝2002構(gòu)筑物面積m2514703建筑系數(shù)%32.284道路長(zhǎng)度m13405容積率0.716綠化面積m2280007圍墻長(zhǎng)度m1500(四)廠內(nèi)外運(yùn)輸 主要原材料采用公路運(yùn)輸,直接運(yùn)到廠內(nèi),產(chǎn)品則主要由公路出廠,部分產(chǎn)品根據(jù)實(shí)際需要也可由汽車運(yùn)至碼頭或火車站,再由貨船或火車運(yùn)至銷售市場(chǎng)。廠內(nèi)各種物料的短途倒運(yùn)根據(jù)需要分別由鏟車運(yùn)輸。(五)綠化綠化在防止污染、調(diào)溫調(diào)濕、改善小氣候、凈化空氣、減弱噪聲等方面起著特殊的作用,在本項(xiàng)目的設(shè)計(jì)中將加強(qiáng)廠區(qū)和周圍的綠化。在道路兩側(cè)以及廠區(qū)周邊植樹以喬木為主,廠區(qū)內(nèi)零星、空閑場(chǎng)地以灌木花卉和草坪種植為主,以達(dá)到凈化空氣,防止噪音及粉塵對(duì)周圍環(huán)境的影響,同時(shí)也能調(diào)節(jié)廠區(qū)的溫度,以營(yíng)造一個(gè)優(yōu)美的花園式工廠。二. 工程概況(一)土建工程廠房按工藝需要設(shè)計(jì),三跨,單跨30m,長(zhǎng)445m,總建筑面積40000 m2,輕鋼結(jié)構(gòu),獨(dú)立于辦公服務(wù)區(qū)外,廠房?jī)?nèi)豎向布置10條生產(chǎn)線,車間凈空10m,車間中心桁架下允許用電葫蘆起吊35噸設(shè)備,便于設(shè)備安裝及維修。,供生產(chǎn)應(yīng)急使用。長(zhǎng)100m,寬20m,總建筑面積2000m2,輕鋼結(jié)構(gòu)。要求屋面平頂、墻面、地面整潔不起塵。3. 成品庫(kù)在原料庫(kù)旁邊建成品庫(kù),長(zhǎng)60m,寬20m,總建筑面積1200㎡,輕鋼結(jié)構(gòu)。要求屋面平頂、墻面、地面整潔不起塵。①辦公樓為六層西式建筑,底層為接待廳、大會(huì)議室。二樓為主生產(chǎn)監(jiān)控中心、廠區(qū)監(jiān)控室,小會(huì)議室,生產(chǎn)技術(shù)部。三樓為公司領(lǐng)導(dǎo)辦公室、小會(huì)議室。四樓至六樓為研發(fā)中心化驗(yàn)室,辦公樓總建筑面積6720㎡,混凝框架結(jié)構(gòu)。②食堂及浴室辦公樓北側(cè)分別建餐廳和浴室,餐廳,長(zhǎng)20 m,寬10m,建筑面積200 m2。建男女浴室,建筑面積150 m2,輕鋼結(jié)構(gòu)。③集體宿舍及單元樓集體宿舍,磚混結(jié)構(gòu),單層面積480平方米,共六層,總建筑面積2880 m2。集體宿舍一層設(shè)門衛(wèi)室,14間宿舍;二層五層,各設(shè)15間宿舍;六層設(shè)3間宿舍,其余為平頂,方便晾曬衣物。每間宿舍面積20 m2,共計(jì)77間。單元樓,磚混結(jié)構(gòu),共六層,總建筑面積960 m2。每層兩套單元房,共12套,單套面積80 m2。長(zhǎng)20 m,寬10m,建筑面積200 m2,磚混結(jié)構(gòu)。長(zhǎng)20m,寬10m建筑面積200 m2 ,磚混結(jié)構(gòu)。 設(shè)置10KV變電設(shè)備和低壓變配電設(shè)備,為磚混結(jié)構(gòu),要求達(dá)到防火標(biāo)準(zhǔn)。并接防雷設(shè)施。長(zhǎng)30m,寬10m,建筑面積300 m2 。在靠近路側(cè)建設(shè)長(zhǎng)10m、寬5m的門衛(wèi)房?jī)勺?jì)建筑面積100 m2。建筑物一覽表單位:萬(wàn)元序 號(hào)項(xiàng) 目單 位單 價(jià)數(shù) 量金 額一土地征用畝2002800二勘察設(shè)計(jì)費(fèi)  140  三辦公樓平方米3360336四廠房平方米400002000五原料庫(kù)平方米2000100六成品庫(kù)平方米120060七變配電房、鍋爐房平方米32016八宿舍樓平方米3840384九餐廳及浴室平方米35017.5十車庫(kù)、門衛(wèi)房平方米40020合 計(jì)514705874(二)建筑要求和效果(1)總要求,冬寒夏炎。建筑設(shè)計(jì)考慮了夏季通風(fēng)的要求,維護(hù)結(jié)構(gòu)適當(dāng)敞開。在門窗設(shè)計(jì)、防雨、防水等方面,均考慮了當(dāng)?shù)氐臍庀笄闆r,以適應(yīng)當(dāng)?shù)氐臍庀髼l件。,注意做好廠房的通風(fēng)散熱、高噪音部位的隔音減振、安全防護(hù)等設(shè)計(jì)措施得當(dāng)。,又要突出自身特點(diǎn),盡量利用新結(jié)構(gòu)、新材料,注意造型和色彩,設(shè)計(jì)出富有時(shí)代感的新廠房,在材料、構(gòu)件及配件的選用,以及建筑標(biāo)準(zhǔn)和工程做法上,均考慮了當(dāng)?shù)貤l件,便于制作、施工。(2)建筑結(jié)構(gòu)要求
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