【正文】 吹淋室、通道式空氣吹淋室風(fēng)淋室、空氣淋浴室強(qiáng)制吹除工作人員及其衣服上附著塵粒的設(shè)備20氣閘室為保持潔凈區(qū)的空氣潔凈度和正壓控制而設(shè)備的緩沖室21潔凈工作服尼龍服、無(wú)塵服為了把工作人員的皮膚和衣服產(chǎn)生的塵粒限于最小程度所使用的灰塵量少的潔凈服裝22過(guò)濾器額定風(fēng)量指在一定濾速下，使其效率和阻力為最合理時(shí)的過(guò)濾器風(fēng)量23隧道式潔凈室在潔凈室內(nèi)采用層流罩組成隧道式的垂直層流型的局部潔凈工作區(qū)，以布置有較高空氣潔凈度要求的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)流水線(xiàn)24外圍建筑指安裝裝配式潔凈室所在的新建或改建建筑物25氣流組織指對(duì)氣流流向和均勻度按一定要求進(jìn)行組織26濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法將測(cè)定用薄膜過(guò)濾器捕集到的塵粒用顯微鏡放大后，觀(guān)察塵粒大小和數(shù)量的方法27純　　水去離子水、深度脫鹽水指溫度25℃時(shí)，歐姆厘米的水28高純水指溫度25℃時(shí)，電阻率大于10歐姆厘米，活微生物小于9個(gè)/毫升的純水29純水終端凈化裝置純水后處理設(shè)備在用水點(diǎn)附近，對(duì)水質(zhì)作進(jìn)一步凈化處理的裝置30高純氣體%，含水量小于5ppm的氣體31氣體終端凈化裝置在用氣點(diǎn)附近，對(duì)氣體作進(jìn)一步純化處理的裝置32高效氣體過(guò)濾器氣體經(jīng)過(guò)濾后，附錄二 潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試　　一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試：　　（一）、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試　　空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒(méi)有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試?！　§o態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。　?。ǘ?、動(dòng)態(tài)測(cè)試　　潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。　　二、潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行?！　∪⒖諔B(tài)、靜態(tài)測(cè)試　?。ㄒ唬y(cè)試前的準(zhǔn)備　　應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。　　采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試?！　∈紫葴y(cè)定高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風(fēng)管內(nèi)），000粒/升。如若不夠，可引入煙霧。然后開(kāi)始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2～3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動(dòng)，對(duì)高效空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面、封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。升（%）即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏?！　。ǘ?、測(cè)試內(nèi)容　　總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等；　　潔凈室壓力值；　　層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向；　　潔凈工作區(qū)的潔凈度；　　室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試；　　潔凈室內(nèi)噪聲。　?。ㄈ崈艄ぷ鲄^(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法　　，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對(duì)于粒徑大于或等于５微米的塵粒計(jì)數(shù)，也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法?！　」馍⑸淞Ｗ佑?jì)數(shù)法：　　光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量　　　　100級(jí)：每次采樣量大于或等于1升?！　　　?，000級(jí)～10，000級(jí)：?！　　　?00，000級(jí)：。　　對(duì)于100級(jí)潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試；如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器?！　〔蓸幼⒁馐马?xiàng)　?。?）、采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。　?。?）、采樣管的長(zhǎng)度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度，當(dāng)無(wú)規(guī)定時(shí)?！　。?）、采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。　?。?）、采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。　　測(cè)點(diǎn)布置　?。?）、檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無(wú)特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米?！　。?）、層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，～。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。　?。?）、亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)（附圖2）；每增加20～50，增加3～5個(gè)測(cè)點(diǎn)。　　 　　數(shù)據(jù)整理　?。?）、每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值?！　。?）、：層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值?！　。ㄋ模?、。　　四、動(dòng)態(tài)測(cè)試　　在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試?！「戒浫崈魪S(chǎng)房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例 生產(chǎn)類(lèi)別舉　　　　例甲微型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間精密陀螺儀裝配的清洗間磁帶涂布烘干工段化工廠(chǎng)的丁酮、丙酮、環(huán)乙酮等易燃溶劑的物理提純工作間（光致抗蝕劑的配制工作間）半導(dǎo)體材料廠(chǎng)使用氫氣的拉晶間、硅烷熱分解室集成電路工廠(chǎng)的化學(xué)清洗間（使用閃點(diǎn)小于28℃的易燃液體者）外延間、化學(xué)氣相沉積間和化學(xué)試劑貯存間乙膠片廠(chǎng)的洗印車(chē)間丙計(jì)算機(jī)房記錄數(shù)據(jù)的磁盤(pán)貯存間顯像管廠(chǎng)裝配工段燒槍間磁帶裝配工段集成電路工廠(chǎng)的氧化、擴(kuò)散間、光刻間　　注：①潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例，是根據(jù)國(guó)家現(xiàn)行《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》火災(zāi)危險(xiǎn)性的特征進(jìn)行分類(lèi)舉例的。　　　　②本舉例僅列舉了部分行業(yè)，其它行業(yè)的潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)，可參照上述舉例確定?！　　　、墼谏a(chǎn)過(guò)程中，如使用或產(chǎn)生易燃物質(zhì)的量較少時(shí)，可根據(jù)國(guó)家現(xiàn)行的《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》有關(guān)規(guī)定確定其火災(zāi)危險(xiǎn)性類(lèi)別。　附錄四 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求　　一、風(fēng)管、靜壓箱和附件的施工，應(yīng)符合下列要求：　?。ㄒ唬⑹┕がF(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保持清潔。風(fēng)管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)節(jié)器、技術(shù)夾層、機(jī)房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應(yīng)邊施工邊進(jìn)行；　?。ǘ?、風(fēng)管、靜壓箱和附件等制作后，應(yīng)存放在清潔、干燥的地點(diǎn)，并應(yīng)采取防止積塵的措施；　?。ㄈ⒉捎脧?fù)合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風(fēng)管，在加工、安裝、施工過(guò)程中造成的破損應(yīng)補(bǔ)涂涂料；　　（四）、清掃、擦拭應(yīng)選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料?！　《?、高效和亞高效空氣過(guò)濾器的安裝，應(yīng)符合下列要求：　?。ㄒ唬⒈仨氃谕两ㄊ┕?、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效空氣過(guò)濾器安裝完畢全系統(tǒng)進(jìn)行檢查、擦拭、吹洗運(yùn)轉(zhuǎn)12小時(shí)后方能進(jìn)行；　?。ǘ⒏咝Э諝膺^(guò)濾器必須在安裝時(shí)方可從保護(hù)袋中取出，同時(shí)應(yīng)進(jìn)行透光目視檢查，凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝；　　（三）、過(guò)濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施；　?。ㄋ模?、過(guò)濾器安裝就位后，必須進(jìn)行檢漏和堵漏。　　三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調(diào)節(jié)閥等凈化設(shè)備和部件的安裝，應(yīng)嚴(yán)格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進(jìn)行。附錄五 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求　　一、潔凈室的空氣，宜按附表5規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)?！　崈羰业目諝獗O(jiān)測(cè)頻數(shù)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　附表5 100100010000100000溫度每班二次濕度每班二次正壓值每周一次每月一次潔凈度每周一次每三個(gè)月一次每六個(gè)月一次　　二、在下列任何一種情況下，應(yīng)更換高效空氣過(guò)濾器：　　（一）、氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過(guò)濾器后，氣流速度仍不能增大；　?。ǘ?、高效空氣過(guò)濾器的阻力達(dá)到初阻力的兩倍；　?。ㄈ?、高效空氣過(guò)濾器出現(xiàn)無(wú)法修補(bǔ)的滲漏?！　∪?、當(dāng)潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)采用高效真空吸塵器進(jìn)行清掃時(shí)，必須定期檢查吸塵器排氣口的含塵濃度。附錄六 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風(fēng)管壁厚　　風(fēng)管壁厚　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　附表6 風(fēng)管形狀冷軋鍍鋅鋼板制風(fēng)管鋁板制風(fēng)管不銹鋼板制風(fēng)管塑料板制風(fēng)管外徑或最大邊長(zhǎng)（毫米）壁厚（毫米）外徑或最大邊長(zhǎng)（毫米）壁厚（毫米）外徑或最大邊長(zhǎng)（毫米）壁厚（毫米）外徑或最大邊長(zhǎng)（毫米）壁厚（毫米）圓形風(fēng)管100～200100～320100～500100～320220～500360～630560～1120360～630560～1120700～20001250～2000700～10001250～2000～1120～2000矩形風(fēng)管100～200100～320100～500120～320220～500360～630560～1120400～500560～1120700～20001250～2000630～8001250～2000～1000～12501600～2000