【正文】 有效地總結(jié)和借鑒其他企業(yè)的經(jīng)驗(yàn)。 　　　　即使企業(yè)對(duì)可能導(dǎo)致不能有效實(shí)施SPC的原因有所認(rèn)識(shí)，仍然會(huì)在實(shí)施過(guò)程中碰到一些實(shí)際問(wèn)題，這些問(wèn)題也是實(shí)施不成功的因素。美國(guó)一位著名醫(yī)生在羅斯?？偨y(tǒng)去世幾年后的一次會(huì)議上富有啟發(fā)性地說(shuō)，如果羅斯福的醫(yī)生還有其他病人，羅斯?？赡芑畹浆F(xiàn)在。因?yàn)閮?yōu)秀的醫(yī)生需要通過(guò)大量的病例不斷學(xué)習(xí)和提高。所以，要善于利用外部?jī)?yōu)秀的“醫(yī)生”來(lái)總結(jié)實(shí)際經(jīng)驗(yàn)、充實(shí)提高應(yīng)用技能。 　　　　如何達(dá)到SPC有效實(shí)施 　　　　針對(duì)以上原因，要保證SPC實(shí)施成功，企業(yè)應(yīng)重視如下幾方面的工作： 　　　　 管理層的認(rèn)識(shí)和重視 　　　　不少企業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者認(rèn)為產(chǎn)品質(zhì)量差是由于有關(guān)工作人員素質(zhì)差或不負(fù)責(zé)任造成的。事實(shí)上，如果采用先進(jìn)的質(zhì)量管理技術(shù)和工具，在原有條件不變的情況下，質(zhì)量就可以得到明顯的改進(jìn)。SPC正是這樣一種行之有效的工具。同時(shí)，在實(shí)施SPC的各階段都要得到管理層的支持，如在實(shí)施SPC的初期階段要安排培訓(xùn)，這需要資金與時(shí)間，需要管理層協(xié)調(diào)安排。在實(shí)施過(guò)程中有些過(guò)程需要做較大調(diào)整，有的甚至要更改工藝、更換設(shè)備等，這些都需要管理層的支持與認(rèn)可。因此，有效實(shí)施SPC，管理層的認(rèn)識(shí)和重視是非常重要的。 　　　　 加強(qiáng)培訓(xùn) 　　　　對(duì)相關(guān)人員先期進(jìn)行SPC培訓(xùn)是實(shí)施SPC的重要前提工作，因?yàn)镾PC是基于數(shù)理統(tǒng)計(jì)和概率論的理論基礎(chǔ)上的管理方法，要能在生產(chǎn)過(guò)程中正確運(yùn)用，必須要有一定的理論基礎(chǔ)。培訓(xùn)可以采取選送相關(guān)人員到外部培訓(xùn)單位參加培訓(xùn)，如有條件則應(yīng)盡量邀請(qǐng)培訓(xùn)機(jī)構(gòu)到工廠來(lái)培訓(xùn)，到廠培訓(xùn)一是可以增加受訓(xùn)的人數(shù)，另一方面也可以使培訓(xùn)內(nèi)容更切合工廠的實(shí)際，提升培訓(xùn)效果?！　　　?重視數(shù)據(jù) 　　　　實(shí)施SPC本身就是一種量化管理，數(shù)據(jù)的質(zhì)量是非常重要的，數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度、可信度直接影響到我們是否在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候采取合適的行動(dòng)。影響數(shù)據(jù)質(zhì)量的因素主要有兩個(gè)方面，一方面是測(cè)量系統(tǒng)影響的，另一方面是記錄數(shù)據(jù)、計(jì)算等人為的影響。對(duì)于測(cè)量系統(tǒng)的影響，我們要定期進(jìn)行測(cè)量系統(tǒng)分析，來(lái)確認(rèn)我們的測(cè)量系統(tǒng)是否是可用的，從而來(lái)保證我們的數(shù)據(jù)質(zhì)量，同時(shí)要盡量減少人為失誤。 　　　　 借助專(zhuān)業(yè)的SPC軟件 　　　　在實(shí)施SPC過(guò)程中，由于要運(yùn)用到大量的數(shù)據(jù)，同時(shí)要對(duì)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算，并用多種統(tǒng)計(jì)方法去分析，這中間的工作量是很大的。如未能及時(shí)計(jì)算出來(lái)結(jié)果，作出相應(yīng)的統(tǒng)計(jì)圖，就會(huì)錯(cuò)過(guò)最佳改進(jìn)時(shí)機(jī)。在實(shí)施SPC活動(dòng)中，如果能借助專(zhuān)業(yè)的SPC軟件，這些問(wèn)題就迎刃而解了。　　　　 實(shí)施PDCA循環(huán)，達(dá)到持續(xù)改進(jìn) 　　　　戴明博士最早提出了PDCA循環(huán)的概念，PDCA循環(huán)是能使任何一項(xiàng)活動(dòng)有效進(jìn)行的一種邏輯的工作程序：Plan（計(jì)劃）、Do（執(zhí)行）、Check（檢查）、Action（行動(dòng)），特別是在質(zhì)量管理中得到了廣泛的應(yīng)用。實(shí)施SPC也要運(yùn)用PDCA循環(huán)，借助SPC工具，不斷地分析質(zhì)量問(wèn)題中各種影響因素，分析影響質(zhì)量問(wèn)題的主要原因，針對(duì)主要原因，采取解決的措施，并進(jìn)行針對(duì)性預(yù)防在下一循環(huán)中改進(jìn)，從而達(dá)到持續(xù)改進(jìn)的目的。 　　　　SPC作為質(zhì)量改進(jìn)的重要工具，不僅適用于工業(yè)過(guò)程，也適用于服務(wù)等一切過(guò)程性的領(lǐng)域。無(wú)論在什么領(lǐng)域使用，都要做好實(shí)施SPC的前期培訓(xùn)工作，重視實(shí)施過(guò)程的數(shù)據(jù)質(zhì)量，必要時(shí)借助專(zhuān)業(yè)的SPC軟件，循環(huán)改進(jìn)，從而使企業(yè)的質(zhì)量水平得到持續(xù)改進(jìn)，在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中贏得更多客戶(hù)。SPC的實(shí)施討論（一 ） SPC的應(yīng)用實(shí)施，在珠江三角洲的很多規(guī)模比較大的外資企業(yè)都大部分都運(yùn)得較為廣泛，尤其是在制造業(yè)企業(yè)中尤為如此，本人曾在一大型的外資服務(wù)過(guò)較長(zhǎng)的一段時(shí)間，對(duì)SPC的實(shí)施有一些的認(rèn)識(shí)，愿在此和大家分享其中的一些經(jīng)驗(yàn)?！　　　?SPC的運(yùn)用其實(shí)表現(xiàn)在各個(gè)方面，涵蓋在不同的控制系統(tǒng)中，不只是控制圖一項(xiàng)，如IT和測(cè)試部門(mén)設(shè)計(jì)的用來(lái)監(jiān)控測(cè)量設(shè)備的系統(tǒng)，比較在不同設(shè)備中的平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差等，實(shí)際都是在運(yùn)用SPC，另外如DOE等也是運(yùn)用SPC?！　　　　　?SPC的運(yùn)用，雖然不只局限于控制圖，但是控制圖應(yīng)是最為重要的一項(xiàng)內(nèi)容，其在工序的監(jiān)控和改善方面非常有用，但是一定要依賴(lài)于各方面的合作才能成功，否則只能流于形式，不能發(fā)揮其效用，如有異常報(bào)警，但沒(méi)采取行動(dòng)，控制線的更改不及時(shí)等。實(shí)施SPC的兩個(gè)階段 實(shí)施SPC分為兩個(gè)階段，一是分析階段，二是監(jiān)控階段。在這兩個(gè)階段所使用的控制圖分別被稱(chēng)為分析用控制圖和控制用控制圖。 分析階段的主要目的在于：　　一、使過(guò)程處于統(tǒng)計(jì)穩(wěn)態(tài)，　　二、使過(guò)程能力足夠?！　》治鲭A段首先要進(jìn)行的工作是生產(chǎn)準(zhǔn)備，即把生產(chǎn)過(guò)程所需的原料、勞動(dòng)力、設(shè)備、測(cè)量系統(tǒng)等按照標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行準(zhǔn)備。生產(chǎn)準(zhǔn)備完成后就可以進(jìn)行，注意一定要確保生產(chǎn)是在影響生產(chǎn)的各要素?zé)o異常的情況下進(jìn)行；然后就可以用生產(chǎn)過(guò)程收集的數(shù)據(jù)計(jì)算控制界限，作成分析用控制圖、直方圖、或進(jìn)行過(guò)程能力分析，檢驗(yàn)生產(chǎn)過(guò)程是否處于統(tǒng)計(jì)穩(wěn)態(tài)、以及過(guò)程能力是否足夠。如果任何一個(gè)不能滿足，則必須尋找原因，進(jìn)行改進(jìn)，并重新準(zhǔn)備生產(chǎn)及分析。直到達(dá)到了分析階段的兩個(gè)目的，則分析階段可以宣告結(jié)束，進(jìn)入SPC監(jiān)控階段。 　　監(jiān)控階段的主要工作是使用控制用控制圖進(jìn)行監(jiān)控。此時(shí)控制圖的控制界限已經(jīng)根據(jù)分析階段的結(jié)果而確定，生產(chǎn)過(guò)程的數(shù)據(jù)及時(shí)繪制到控制上，并密切觀察控制圖，控制圖中點(diǎn)的波動(dòng)情況可以顯示出過(guò)程受控或失控，如果發(fā)現(xiàn)失控，必須尋找原因并盡快消除其影響。監(jiān)控可以充分體現(xiàn)出SPC預(yù)防控制的作用。 在工廠的實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)于每個(gè)控制項(xiàng)目，都必須經(jīng)過(guò)以上兩個(gè)階段，并且在必要時(shí)會(huì)重復(fù)進(jìn)行這樣從分析到監(jiān)控的過(guò)程。SPC在半導(dǎo)體晶圓制造廠的應(yīng)用（上）梁德豐，錢(qián)省三，梁靜 （上海理工大學(xué)工業(yè)工程研究所/微電子發(fā)展中心，上海 200093） 摘要：由于半導(dǎo)體制造工藝過(guò)程的復(fù)雜性，一般很難建立其制造模型，不能對(duì)工藝過(guò)程狀態(tài)有效地監(jiān)控，所以迫切需要先進(jìn)的半導(dǎo)體過(guò)程控制技術(shù)來(lái)嚴(yán)格監(jiān)控工藝過(guò)程狀態(tài)，而SPC就是其中最重要的一種技術(shù)。本文針對(duì)SPC做了簡(jiǎn)要概述，著重論述了根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)其在半導(dǎo)體晶圓廠的實(shí)際應(yīng)用。關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體；SPC；過(guò)程控制；控制圖中圖分類(lèi)號(hào)：TN301 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼： A 文章編號(hào)：1003353X(2004)030058031 前言 近年來(lái)，半導(dǎo)體制造技術(shù)經(jīng)歷了快速的改變,技術(shù)的提升也相對(duì)地增加了工藝過(guò)程的復(fù)雜性,而大多數(shù)半導(dǎo)體制造過(guò)程包含許多非線性且復(fù)雜的化學(xué)與物理反應(yīng)，難以建立其制造模型,加上檢測(cè)技術(shù)的缺乏,造成無(wú)法及時(shí)得知工藝過(guò)程狀態(tài)而難以對(duì)其進(jìn)行有效監(jiān)控。因此,當(dāng)半導(dǎo)體制造進(jìn)入8英寸、12英寸晶圓生產(chǎn)的主流,面臨更小線寬、工藝日趨復(fù)雜的挑戰(zhàn)時(shí),嚴(yán)格的工藝過(guò)程監(jiān)控已成為基本且重要的要求。國(guó)內(nèi)外各相關(guān)研究單位與半導(dǎo)體廠都在努力尋求如何減少制造成本、降低廢片、改善總體設(shè)備效能(Overall Equipment Effectiveness,OEE)、提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)品效能的方法。先進(jìn)的半導(dǎo)體過(guò)程控制技術(shù)（Advanced Process Control，APC）研究的目的就是有效的監(jiān)控工藝過(guò)程與機(jī)臺(tái)，以提高良率和總體設(shè)備效能。而統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制(Statistical Process Control，SPC)是目前國(guó)內(nèi)外發(fā)展APC最常用的一種技術(shù)，本文將主要論述SPC在半導(dǎo)體晶圓制造廠的應(yīng)用。2 SPC技術(shù)概述早期的半導(dǎo)體制造企業(yè)為保證產(chǎn)品質(zhì)量，基本上以工藝檢測(cè)和產(chǎn)品檢驗(yàn)為主要手段進(jìn)行產(chǎn)品的質(zhì)量監(jiān)控，很明顯這是一種事后檢測(cè)的方法，隨著各類(lèi)使用半導(dǎo)體元器件的電子產(chǎn)品的質(zhì)量需求的提高，對(duì)半導(dǎo)體元器件產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性的提高成了該行業(yè)質(zhì)量管理人員需要研究的重要課題，從80年代中期開(kāi)始，以摩托羅拉為首的美國(guó)一些大型微電子企業(yè)的研究人員發(fā)現(xiàn)，如果使工藝過(guò)程始終處于統(tǒng)計(jì)受控狀態(tài)，將會(huì)更有效地提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性，SPC技術(shù)正是適合了這樣一種需求。SPC即統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制是基于統(tǒng)計(jì)理論的技術(shù)和方法，通過(guò)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的工藝參數(shù)質(zhì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析和描圖，實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝過(guò)程穩(wěn)定性的實(shí)時(shí)監(jiān)控和預(yù)測(cè)，從而達(dá)到發(fā)現(xiàn)異常、及時(shí)改進(jìn)、減少波動(dòng)、保證工藝過(guò)程穩(wěn)定、產(chǎn)品總體質(zhì)量穩(wěn)定可靠之目的。對(duì)異常波動(dòng)的及時(shí)預(yù)警是SPC的最大特點(diǎn)，預(yù)警原理為：應(yīng)用SPC對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析能夠區(qū)分生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品質(zhì)量的正常波動(dòng)和異常波動(dòng)，從而對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的異常趨勢(shì)及時(shí)提出預(yù)警。即：SPC能夠在異常因素剛一露出苗頭，尚未造成不合格產(chǎn)品之前就能及時(shí)發(fā)現(xiàn)，指導(dǎo)管理人員采取措施消除異常，從而極大的減少了不合格產(chǎn)品的產(chǎn)生，保證了生產(chǎn)的順暢進(jìn)行，最終提高生產(chǎn)效率。采用SPC技術(shù)可以：（1）保證工藝過(guò)程的統(tǒng)計(jì)受控狀態(tài)。當(dāng)檢測(cè)出工藝中異常原因引起波動(dòng)時(shí)，立即發(fā)出警報(bào)，以便及時(shí)查找原因，采取相關(guān)糾正措施，使工藝一直處于統(tǒng)計(jì)受控狀態(tài)；（2）定量評(píng)定生產(chǎn)線、單道工序或單個(gè)工藝參數(shù)是否處于受控狀態(tài)，因此特別適用于生產(chǎn)線的認(rèn)證；（3）減少對(duì)常規(guī)檢驗(yàn)的依賴(lài)性，定時(shí)的觀察以及系統(tǒng)的測(cè)量方法替代了大量的檢測(cè)和驗(yàn)證工作；（4）成為表征產(chǎn)品內(nèi)在質(zhì)量的重要依據(jù)之一。在半導(dǎo)體行業(yè)界，有很多客戶(hù)要求半導(dǎo)體制造企業(yè)在提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)還要提供一份SPC數(shù)據(jù)，以證明產(chǎn)品是在受控工藝條件下生產(chǎn)的，而不是僅靠篩選檢測(cè)得到的，表明產(chǎn)品具有較高的內(nèi)在質(zhì)量和可靠性。3 半導(dǎo)體晶圓制造廠的SPC實(shí)際應(yīng)用 半導(dǎo)體生產(chǎn)的特點(diǎn)半導(dǎo)體制造是一個(gè)極其復(fù)雜的過(guò)程，從氧化擴(kuò)散，光刻，刻蝕，洗滌，淀積等大約有不少于三四百個(gè)工序；特別是現(xiàn)在各類(lèi)專(zhuān)用集成電路的需求猛增，大多數(shù)半導(dǎo)體企業(yè)又從面向庫(kù)存的生產(chǎn)方式轉(zhuǎn)向了面向訂單的生產(chǎn)方式，使晶圓車(chē)間的生產(chǎn)模式也由以前大批量的單一品種的生產(chǎn)轉(zhuǎn)為批量的多品種的生產(chǎn)模式，極大的增加了生產(chǎn)過(guò)程的復(fù)雜性。由于生產(chǎn)過(guò)程的復(fù)雜性帶來(lái)了大量的質(zhì)量數(shù)據(jù)以及對(duì)這些數(shù)據(jù)及時(shí)分析的需要，僅依靠手工控制的方法是根本無(wú)法體現(xiàn)SPC技術(shù)的及時(shí)預(yù)警性。因此在實(shí)際的半導(dǎo)體晶圓制造廠中是利用計(jì)算機(jī)輔助SPC技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制的。 計(jì)算機(jī)輔助SPC系統(tǒng)SPC系統(tǒng)主要通過(guò)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的產(chǎn)品質(zhì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行在線、離線的采集，實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)質(zhì)量有關(guān)的數(shù)據(jù)進(jìn)行及時(shí)、準(zhǔn)確、有效的處理和統(tǒng)計(jì)分析，使質(zhì)量人員能在生產(chǎn)過(guò)程中及時(shí)掌握產(chǎn)品質(zhì)量的動(dòng)態(tài)，及時(shí)反饋控制，最終達(dá)到企業(yè)保證生產(chǎn)質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本的目的。整個(gè)計(jì)算機(jī)輔助SPC系統(tǒng)包括SPC數(shù)據(jù)采集網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)兩個(gè)部分： 數(shù)據(jù)采集網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)以客戶(hù)/服務(wù)器結(jié)構(gòu)(C/S結(jié)構(gòu))為基本模型，包括數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器，數(shù)據(jù)采集/監(jiān)控站點(diǎn)，SPC監(jiān)控分析站點(diǎn),SPC監(jiān)控查詢(xún)站點(diǎn)，SPC異常報(bào)警裝置，基于B/S(Browser/Server)結(jié)構(gòu)的遠(yuǎn)程質(zhì)量查詢(xún)站點(diǎn)（選配）,SPC控制圖異常回饋裝置等幾大組成部分。圖1是國(guó)內(nèi)某半導(dǎo)體公司SPC數(shù)據(jù)采集網(wǎng)絡(luò)模型：從模型可以看出，數(shù)據(jù)采集是以設(shè)備自動(dòng)采集為主和人工鍵盤(pán)輸入為輔兩種可并發(fā)的數(shù)據(jù)采集方式，極大的加強(qiáng)了采集數(shù)據(jù)的及時(shí)性。這些采集到的數(shù)據(jù)將存儲(chǔ)在SPC數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器中并由SPC監(jiān)控和分析點(diǎn)對(duì)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，同時(shí)把結(jié)果反饋到 SPC回饋調(diào)整裝置或報(bào)警裝置來(lái)監(jiān)控生產(chǎn)工藝過(guò)程。 數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)模型SPC分析系統(tǒng)（如圖2）可提供十幾種控制或監(jiān)視圖表，計(jì)量型圖表有均值－級(jí)差圖（X－R圖），均值－標(biāo)準(zhǔn)差圖（X－S圖），單值－移動(dòng)極差圖（X－MR圖），運(yùn)行圖，指數(shù)加權(quán)移動(dòng)均值圖（EWMA圖）等等，計(jì)數(shù)型圖表包括不合格品率圖（P圖），不合格品數(shù)圖（Pn圖），單位缺陷圖（u圖）等，還有排列圖，直方圖等，同時(shí)可提供大量統(tǒng)計(jì)參數(shù)值：總體均值，總體標(biāo)準(zhǔn)差，樣本均值，樣本標(biāo)準(zhǔn)差，Cp，Cpk， Cpl，Cpu，直方圖偏斜指數(shù)（Skewness），陡度指數(shù)（Kurtosis）等。數(shù)據(jù)查詢(xún)、總體監(jiān)控、現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控、異常報(bào)告都可通過(guò)控制圖表和各統(tǒng)計(jì)參數(shù)來(lái)表達(dá)，通過(guò)這些可以幫助用戶(hù)從不同的視角去監(jiān)控過(guò)程狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，解決問(wèn)題。 SPC技術(shù)流程SPC技術(shù)主要是應(yīng)用數(shù)理統(tǒng)計(jì)分析手段，解決與質(zhì)量管理相關(guān)的技術(shù)問(wèn)題，基本技術(shù)流程如圖3。在SPC技術(shù)流程應(yīng)注意：（1）關(guān)鍵工藝過(guò)程節(jié)點(diǎn)及關(guān)鍵工藝參數(shù)的確定，即確定氧化，淀積，刻蝕，擴(kuò)散，離子注入，光刻等。（2）工藝參數(shù)數(shù)據(jù)采集，即采集材料參數(shù)，握生產(chǎn)工藝運(yùn)行情況，我們還須往意幾個(gè)問(wèn)題： （1）一般情況下，需要積累多于25組數(shù)據(jù)才能進(jìn)行SPC分析，每組數(shù)據(jù)最好不少于5個(gè)，在日常生產(chǎn)中，應(yīng)保持?jǐn)?shù)據(jù)采集的連續(xù)性，并對(duì)每組數(shù)據(jù)進(jìn)行SPC分析，控制圖反映的過(guò)程可能有好的的異常，也可能有壞的異常，而這些異常都說(shuō)明工藝過(guò)程發(fā)生了變化，均應(yīng)進(jìn)行質(zhì)量分析，采取措施，直到確認(rèn)工藝過(guò)程又處于統(tǒng)計(jì)受控狀態(tài)。（2）輸人計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)必須及時(shí)真實(shí)可靠，不得進(jìn)行人為篩選；（3）在數(shù)據(jù)波動(dòng)比較大時(shí)，注意分析原材料、設(shè)備和環(huán)境等因素，避免盲目改變工藝條件，以免出現(xiàn)浪費(fèi)。本文摘自《半導(dǎo)體技術(shù)》 Xbar R 控制圖應(yīng)用實(shí)例 在一個(gè)企業(yè)內(nèi)，統(tǒng)計(jì)技術(shù)和應(yīng)用類(lèi)型很多，而程序文件只能從總的方面規(guī)定應(yīng)用程序，各有關(guān)部門(mén)和人員在具體實(shí)施時(shí)，還必須遵照作業(yè)指導(dǎo)書(shū)的規(guī)定進(jìn)行操作。一個(gè)企業(yè)應(yīng)用統(tǒng)計(jì)方法的作業(yè)指導(dǎo)書(shū)有很多，現(xiàn)僅以某電子元件廠電阻器刻槽工序應(yīng)用的《x—R控制圖作業(yè)指導(dǎo)書(shū)》為例?！　—R控制圖作業(yè)指導(dǎo)書(shū)（電阻器刻槽工序）　　1目的　　通過(guò)控制圖的應(yīng)用，對(duì)電阻器刻槽工序的主要質(zhì)量特性——電阻值，實(shí)施控制，消除異常因素的作用，保證刻槽工序處于穩(wěn)定受控狀態(tài)?！　?適用范圍　　本作業(yè)指導(dǎo)書(shū)適用于各類(lèi)薄膜型電阻器（金屬膜電阻器、金屬氧化膜電阻器、碳膜電阻器）刻槽工序的電阻值控制?！　?職責(zé)　　3．1車(chē)間技術(shù)組質(zhì)量控制工程師負(fù)責(zé)控制圖的設(shè)計(jì)、控制圖打點(diǎn)結(jié)果的分析及提出應(yīng)采取的糾正和預(yù)防措施?！　　　　　?．2刻槽工序操作者按作業(yè)指導(dǎo)書(shū)要求，抽樣、測(cè)量、計(jì)算統(tǒng)計(jì)量并在控制圖上打點(diǎn)?！　?．3質(zhì)管處質(zhì)量控制工程師負(fù)責(zé)控制圖應(yīng)用的指導(dǎo)、協(xié)助車(chē)間技術(shù)組進(jìn)行分析，監(jiān)督控制圖的實(shí)施及協(xié)調(diào)糾正和預(yù)防措施的落實(shí)。　　4 工作流程　　4．1 預(yù)備數(shù)據(jù)的取得　　當(dāng)確認(rèn)刻槽工序處于穩(wěn)定受控狀態(tài)時(shí)，車(chē)間技術(shù)組質(zhì)量控制工程師在生產(chǎn)過(guò)程中，每隔30分鐘抽取容量為n = 5的樣本，共抽取25個(gè)樣本，分別填入數(shù)據(jù)表（表1—3）（表省略）。　　　　　　4．2 計(jì)