微執(zhí)行器ppt課件-資料下載頁
2025-01-14 16:56本頁面
【正文】 ??????得到泵的效率 結(jié)論： 是決定性因素 /nd??推導(dǎo)排量、效率 擴(kuò)散管 /噴管的理論分析 設(shè)計(jì)依據(jù)： 傳統(tǒng)（宏觀）流體力學(xué)大量實(shí)驗(yàn)得到的經(jīng)驗(yàn)參數(shù) 偏差來源： ?宏觀與微觀 ?定常流動與高速紊流 ?幾何形狀（ MEMS加工出一般為方形截面） 宏觀應(yīng)用 ： ?應(yīng)用于渦輪機(jī)、壓縮機(jī)及噴射管，多在高速流動狀態(tài)下 ?影響壓力損失的因素有：幾何形狀、尺寸、流動狀態(tài)、流速等 擴(kuò)散管 /噴管的理論分析 擴(kuò)散管 ?大擴(kuò)散角損失大、小擴(kuò)散角損失小的流體力學(xué)原因 ? 4176。 效應(yīng) ? 能量損失最小的擴(kuò)散角約為 5176。 12176。 ? 粘性較大最佳擴(kuò)散角度應(yīng)大于粘性較小的流體 噴管 ?流動穩(wěn)定，損失很小 實(shí)際形狀的設(shè)計(jì) ?需要 3個區(qū)的原因 ?突變損失系數(shù)等于 1的能量解釋 ?壓力損失系數(shù)要求自己會算 第四部分 典型微執(zhí)行器 —— 梳狀微諧振器 應(yīng)用 ： ?微位移執(zhí)行器 ?微諧振器（微傳感器、微機(jī)電濾波器） 優(yōu)點(diǎn) ： ?整體為全硅結(jié)構(gòu)； ?非接觸式激勵和檢測，具有高靈敏度。 ?兩種布局 結(jié)構(gòu)與制作工藝 驅(qū)動力的計(jì)算 22 0011( ) ( )22dinbCF V t V txd? ?????諧振頻率計(jì)算 在驅(qū)動電壓的作用下，將沿 x方向產(chǎn)生像織布梭一樣的往復(fù)振動。當(dāng)驅(qū)動電壓的頻率與活動梳結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的固有頻率一致時(shí)，活動梳系統(tǒng)便發(fā)生諧振動。 13 2bi0 34( 1 )eqe q e qEbk Lmm????????????????? ?????????不考慮阻尼情況最低固有頻率 ?實(shí)際差異取決于系統(tǒng)的阻尼，亦即機(jī)械品質(zhì)因數(shù) Q值。微諧振梳須在真空環(huán)境下工作，保證很高的 Q值，可高達(dá)數(shù)萬。 本章重點(diǎn)難點(diǎn) ?重點(diǎn)： 幾種典型智能材料的現(xiàn)象與性能；各種微觀驅(qū)動效應(yīng)；典型執(zhí)行器結(jié)構(gòu)的制作工藝；各種馬達(dá)、驅(qū)動器、泵、閥的工作原理和結(jié)構(gòu) ?難點(diǎn)： 結(jié)合制作工藝?yán)斫馕?zhí)行器的結(jié)構(gòu)限制；智能材料的物理機(jī)理；梳狀結(jié)構(gòu)固有諧振頻率的分析 ?作業(yè)： 教材第 321頁第 115題 本章學(xué)習(xí)要求 掌握電致伸縮、磁致伸縮、形狀記憶合金、凝膠、電流變體等幾種典型智能材料的概念、現(xiàn)象與初步工作原理。掌握執(zhí)行器的幾種基本驅(qū)動效應(yīng)（電、磁、光、熱等）。 掌握基于靜電效應(yīng)的變電容（步進(jìn)、同步）、諧波、懸浮馬達(dá)的工作原理、結(jié)構(gòu)和性能水平；掌握電磁式微馬達(dá)的原理、結(jié)構(gòu)和性能水平；了解減速器中所采用的工藝方法。掌握微泵、微閥、微流量控制系統(tǒng)的工作原理和結(jié)構(gòu)、應(yīng)用背景，特別是微泵的不同結(jié)構(gòu)種類與不同致動方法。掌握梳狀結(jié)構(gòu)的工藝方法、其諧振頻率的分析方法。了解其它適當(dāng)?shù)奈?zhí)行器應(yīng)用例證。
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