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2024-11-03 20:56本頁(yè)面
【正文】 忍耐 探索 熱情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD Do Not Copy 二、范德堡 (VDP)結(jié)構(gòu)測(cè)試程序的開發(fā) 但是由于該產(chǎn)品 P阱 VDP測(cè)試圖形所在的 PCM測(cè)試條上沒有連接外延層的引出壓點(diǎn)，所以不能采取上面的辦法來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題。 NEpi P I GND 我嘗試加一個(gè)負(fù)向的電流來(lái)測(cè)試，但是得到的結(jié)果和前面一致。 Company Confidential 18 誠(chéng)信 忍耐 探索 熱情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD Do Not Copy 二、范德堡 (VDP)結(jié)構(gòu)測(cè)試程序的開發(fā) 后來(lái)我請(qǐng)教 SIPEX的工程師 Jim Vokac，問(wèn)他們公司測(cè)量時(shí)怎么保證 PN結(jié)反偏，他建議我將加電流改為加負(fù)向電壓，這樣同樣可以達(dá)到加電流的效果，然后再測(cè)量。 NEpi P V GND 1 2 3 4 V I GND V3 V4 Company Confidential 19 誠(chéng)信 忍耐 探索 熱情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD Do Not Copy 二、范德堡 (VDP)結(jié)構(gòu)測(cè)試程序的開發(fā) 得到了理想的結(jié)果： V4 PWL_VDP+00 I(A) Rs(Ohm/S) Company Confidential 20 誠(chéng)信 忍耐 探索 熱情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD Do Not Copy 二、范德堡 (VDP)結(jié)構(gòu)測(cè)試程序的開發(fā) 總結(jié) （ 1）基區(qū)范德堡也是 P型的，但是沒有出現(xiàn) P阱這樣的情況，原因是基區(qū)濃度要比 P阱大得多，漏進(jìn)外延層的電流比例非常小，可以忽略不計(jì)。當(dāng)然從測(cè)試上仍然要采取手段避免誤差的產(chǎn)生。 （ 2）范德堡結(jié)構(gòu)從測(cè)試原理上看非常簡(jiǎn)單，但是如果因?yàn)楹?jiǎn)單而 P型 N型不加區(qū)分、一概而論的話，就非常容易誤入歧途。 Company Confidential 21 誠(chéng)信 忍耐 探索 熱情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD Do Not Copy 謝謝大家！
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