【文章內(nèi)容簡介】 ，也將溫度測量技術(shù)提高到新的水平。國內(nèi)數(shù)字溫度儀測量溫濕度采用的主要方法有:“溫—阻”法,即采用電阻型的溫度傳感器,利用其阻值隨溫度的變化測量空氣的溫度。受傳感器靈敏度的限制,這類溫濕度儀的精度不是很高,一般條件下還可以滿足需要,但是在環(huán)境實驗設(shè)備等對精度要求較高的場合就難以滿足要求了。隨著信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及工業(yè)化的進(jìn)步,溫度不僅僅表現(xiàn)在以上幾個方面直接或間接影響著人類基本生活條件, 還表現(xiàn)在對工生物制品、醫(yī)藥衛(wèi)生、科學(xué)研究、國防建設(shè)等方面的影響。針對以上情況，研制可靠且實用的溫度控制器顯得非常重要。常用溫度傳感器的非線性輸出及一致性較差，使溫度的測量方法和手段相對較復(fù)雜，且給電路的調(diào)試帶來很大的困難。傳統(tǒng)的溫度測量多采用模擬小信號傳感器，不僅信號調(diào)理電路復(fù)雜，且溫度值的標(biāo)定過程也極其復(fù)雜，并需要使用昂貴的標(biāo)定儀器設(shè)備。因此對于溫濕度控制器的設(shè)計有著很大的現(xiàn)實生產(chǎn)意義。隨著光學(xué)技術(shù)在傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用，出現(xiàn)了開關(guān)式溫度測量器、輻射式溫度測量器等溫度測量器，使得溫度測量精度和范圍都有較大的提高，其中應(yīng)用激光技術(shù)測溫打破了傳統(tǒng)的近距測溫，可以針對遠(yuǎn)程溫度測量[45]。隨著電子技術(shù)和自動化的發(fā)展，研究開發(fā)出數(shù)字式集成溫度傳感器。這種傳感器是將溫度和數(shù)字電路集成在一起，內(nèi)部包含了溫度傳感器、A/D轉(zhuǎn)換器、信號處理器、接口電路等，有的還有單片機(jī)的中央處理器、隨即存取存儲器和只讀存儲器集成在一起，成功的實現(xiàn)了溫度傳感器的數(shù)字化結(jié)構(gòu)。數(shù)字式溫度傳感器的采集精度高、測試的可靠性高、又很強(qiáng)的抗干擾能力，這些都是模擬式溫度傳感器不能達(dá)到的，由于引入了數(shù)字式的溫度反饋，有效地改善了比較器的失調(diào)和零點漂移對溫度精度的影響。目前，數(shù)字溫度傳感器已經(jīng)結(jié)合了總線技術(shù)、等接口和主機(jī)進(jìn)行通信，這種數(shù)字化、集成化的傳感器是將溫度傳感器的一個新的發(fā)展方向。溫度傳感器的工作原理熱敏電阻溫度測量傳感器所采用的材料為鉑金，該傳感器應(yīng)用了激光調(diào)阻和濺射成膜等技術(shù)制作形成的。選用鉑電阻的原因是因為其電阻值可以隨著溫度的變化而近似線性的變化，且具有良好的溫度重現(xiàn)性和良好的測試穩(wěn)定性。本文設(shè)計所使用的是鉑膜溫度傳感器，該傳感器零度時的阻值為1000Ω，℃，在測量中薄膜鉑電阻具有體積小，響應(yīng)快，壽命長，測溫范圍寬，在氧化介質(zhì)中性能穩(wěn)定，線性度及精確度高等優(yōu)點，很適合在便攜式測量儀中使用。由于熱電阻隨溫度變化而引起電阻的變化值較小，如鉑電阻 Pt1000 在零溫度時的阻值R0=1000，因此，在傳感器與測量儀器之間的引線過長會引起較大的測量誤差，在實際應(yīng)用時，通常是熱電阻與儀器或放大器采用兩線或四線制的接線方式。兩線制的引線電阻：鉑電阻不超過 R0的 %，銅電阻不超過 R0的 %。采用四線制可消除連線過長而引起的誤差。第 二 頁電橋輸出電壓 V0為V0=I /22R(RtRr)/(2R+Rt+Rr)當(dāng) RRt、Rr時，V0=I /(RtRr)其中Rr為溫漂很小的鉑電阻 Rt為可變電阻 R 為固定電阻I 為恒流源提供的電流 V0為輸出電壓。傳感器的動態(tài)特性根據(jù)本文的設(shè)計，圖11為所測得在0℃～ 100℃溫度范圍內(nèi)鉑電阻的阻值和溫度的關(guān)系曲線。并且該圖為傳感器的動態(tài)特性。圖11鉑電阻與溫度關(guān)系曲線由圖11可以看出，隨著溫度升高鉑電阻的的組織也隨之升高，曲線呈近似線性變化。傳感器的靜態(tài)特性溫度傳感器探頭采用的材料為鉑金，應(yīng)用激光調(diào)阻和濺射成膜等工藝技術(shù)制成。鉑電阻的阻值能夠隨著溫度的變化而近似線性變化，具有良好的溫度重現(xiàn)性和測試穩(wěn)定性。本文采用的是溫度傳感器探頭如圖12所示。第 三 頁圖12溫度傳感器探頭圖常用的鉑膜溫度傳感器圖13 溫度傳感器探頭圖第 四 頁鉑膜溫度傳感器技術(shù)指標(biāo)鉑膜溫度傳感器的技術(shù)指標(biāo)見下表 在溫度出現(xiàn)階躍變化時，鉑電阻的輸出變化至量程變化50%所需要的時間成為熱響應(yīng)時間。常溫絕緣電阻的試驗電壓可取直流 10～100V 任意值，環(huán)境溫度在15～35℃范圍內(nèi)，相對濕度應(yīng)不大于 80%，常溫絕緣電阻值應(yīng)大于 100M。通過鉑電阻的測量電流最大不應(yīng)超過 1mA。一般是指在長溫下，保護(hù)管所能承受的不至于破裂的靜態(tài)外壓，承壓數(shù)值的大小同保護(hù)管的材料，直徑，壁厚，焊接強(qiáng)度等密切相關(guān)。溫度傳感器是指檢測外界溫度的傳感器，它將所測環(huán)境中的溫度信號轉(zhuǎn)換為便于處理，顯示，記錄的電（頻率）信號等，在很多領(lǐng)域都有普遍的應(yīng)用。溫度傳感器從使用角度大致可分為接觸式和非接觸式兩大類。前者是讓溫度傳感器直接與待測物體接觸，來檢測被測物體溫度的變化，而后者是使溫度傳感器與待測物體離開一定的距離。檢測從待測物體放射出的紅外線，從而達(dá)到測溫的目的。在接觸式和非接觸式兩大類溫度傳感器中，相比之下運用較多的是接觸式傳感器，非接觸式傳感器一般在比較特殊的場合才使用。它是利用轉(zhuǎn)換元件電磁參數(shù)隨溫度變化的特性，對溫度和與溫度有關(guān)的參量進(jìn)行檢測的裝置，其中將溫度變化轉(zhuǎn)換為電阻變化的稱熱電阻傳感器，金屬熱電阻式傳感器簡稱熱電阻，半導(dǎo)體熱電阻式傳感器簡稱熱敏電阻，將溫度變化轉(zhuǎn)換為電動勢變化的稱為熱電偶傳感器。溫度檢測采用的最基本的是熱電偶式和熱敏電阻式。熱電偶式應(yīng)用廣泛，價格便宜而且耐用，種類多，能夠覆蓋非常寬的溫度范圍，最高溫度可達(dá)到2000℃。所以本文設(shè)計選擇熱敏電阻，該傳感器主要隨溫度的變化阻值發(fā)生變化，主要測量范圍為200℃～ 500℃溫度范圍內(nèi)測量。其溫度系數(shù)大而且穩(wěn)定，反應(yīng)速度快，工藝價格低，測溫環(huán)境穩(wěn)定。第 五 頁傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)在傳感器中間沉積了過渡層氧化鎳,同時為了提高鉑薄膜的焊接連接特性,在鎳薄膜上面又沉積了銅薄膜作為導(dǎo)線層,最后在最外層沉積了三氧化二鋁薄膜作為保護(hù)膜,起到絕緣保護(hù)的作用,其膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計如圖所示：由于三氧化二鋁的絕緣特性和高硬度、高穩(wěn)定性等特點,可以避免傳感器層和銅導(dǎo)線層的氧化,同時也可以保證傳感器的耐腐蝕和耐沖擊,從而保證傳感器長期穩(wěn)定地工作。設(shè)計小結(jié)利用鉑薄膜的溫度電阻特性以及磁控濺射鍍膜技術(shù)設(shè)計并制備了薄膜熱阻型溫度傳感器,得到的薄膜傳感器在200到600攝氏度之間有極高的線性度和穩(wěn)定性,并且通過對不同工藝參數(shù)的分析得到了最佳的制備鉑薄膜的工藝參數(shù): Pa,靶基距60 mm,電源功率120 W。通過對退火溫度的對比分析得到了鉑薄膜最佳的退火溫度為400℃,退火時間為2 h,這些都為制備更為穩(wěn)定精度更高的鉑薄膜溫度傳感器奠定了良好的基礎(chǔ)。第 六 頁第四篇：傳感器的應(yīng)用和設(shè)計傳感器的設(shè)計與應(yīng)用王皓 信息114 32311416 摘要：隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子技術(shù)特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，促進(jìn)了傳感與檢測技術(shù)的迅速發(fā)展，其應(yīng)用領(lǐng)域也在迅速擴(kuò)大，從人們?nèi)粘Ｉ畹囊率匙⌒械礁鞣N復(fù)雜的工程系統(tǒng)隨處都可以看到傳感與檢測技術(shù)的實際應(yīng)用壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)，下面就簡單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用關(guān)鍵詞:傳感器。設(shè)計。應(yīng)用The design and application of thetransducerWanghao Information 114 32311416 Abstract：With the development of science and technology, the development of electronic technology, microelectronics technology in particular, promoted the rapid development of the sensor and detection technology, its application fields are also expanding rapidly, from the daily life of People39。s Daily life to all kinds of plicated engineering system everywhere can see sensing and detection technology in the practical application of pressure sensor is a industrial practice is most monly used one kind of sensor, its widely used in various industrial control environment, involved in water conservancy and hydropower, railway transportation, intelligent buildings, production control, aerospace, military industry, petrochemical, oil, electric power, ships, machine tools, pipe, and many other industries, the following is a brief introduction some monly used sensor principle and its application Key words: Sensor。Design。Application一、應(yīng)變片壓力傳感器原理與應(yīng)用力學(xué)傳感器的種類繁多，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類傳感器。在了解壓阻式力傳感器時，我們首先認(rèn)識一下電阻應(yīng)變片這種元件。電阻應(yīng)變片是一種將被測件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號的敏感器件。它是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用最多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上，當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時，電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變，使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變，從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時產(chǎn)生的阻值變化通常較小，一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋，并通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大，再傳輸給處理電路（通常是 A/D轉(zhuǎn)換和CPU）顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu)。它由基體材料、金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔、絕緣保護(hù)片和引出線等部分組成。根據(jù)不同的用途，電阻應(yīng)變片的阻值可以由設(shè)計者設(shè)計，但電阻的取值范圍應(yīng)注意：阻值太小，所需的驅(qū)動電流太大，同時應(yīng)變片的發(fā)熱致使本身的溫度過高，不同的環(huán)境中使用，使應(yīng)變片的阻值變化太大，輸出零點漂移明顯，調(diào)零電路過于復(fù)雜。而電阻太大，阻抗太高，抗外界的電磁干擾能力較差。一般均為幾十歐至幾十千歐左右。金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象，俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示：式中：ρ——金屬導(dǎo)體的電阻率（Ωcm2/m）S——導(dǎo)體的截面積（cm2）L——導(dǎo)體的長度（m）我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例，當(dāng)金屬絲受外力作用時，其長度和截面積都會發(fā)生變化，從上式中可很容易看出，其電阻值即會發(fā)生改變，假如金屬絲受外力作用而伸長時，其長度增加，而截面積減少，電阻值便會增大。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時，長度減小而截面增加，電阻值則會減小。只要測出加在電阻的變化（通常是測量電阻兩端的電壓），即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情況。二、電阻應(yīng)變式傳感器稱重傳感器原理：彈性體（彈性元件，敏感梁）在外力作用下產(chǎn)生彈性