傳感器結構原理與設計第六章壓電式傳感器(編輯修改稿)
2025-08-28 17:30 本頁面
【文章內容簡介】 0 0 0 0 0 11141411112625141211ddddddddddd ij山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 壓電陶瓷的壓電常數矩陣： ? ????????????00000000000001515333131dddddd ij山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 淄博宇海電子陶瓷有限公司 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 三、壓電元件常用結構形式 ? 依據石英晶體壓電常數矩陣，其變形方式包括以下四種 : 厚度變形（ TE方式） 這種變形方式就是石英晶體的 縱向壓電效應 ，產生的表面電荷密度為 1111 ?dq ?山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 yzx山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 長度變形（ LE方式） 這種變形方式是利用石英晶體的 橫向壓電效應 ，產生的表面電荷密度或表面電荷為 關。量與晶片的幾何尺寸有電軸的表面產生的電荷垂直于晶片施加作用力時，在結論：沿機械軸方向對的面積；為產生電荷面和受力面—、或YXYXYSSSSFdQdq1212121?? ?山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 剪切變形 彎曲變形（ BS方式） 非基本變形方式，是拉、壓、剪切應力共同作用的結果?？筛鶕唧w情況選擇合適的壓電常數。 切晶片）（所示，計算式如下：－如圖方式））厚度剪切變形（（切晶片）（所示，計算式如下：－如圖方式））面剪切變形（（YdqdTSXdqcFS62624141762761????山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 ? 壓電陶瓷的變形方式 對于 BaTiO3壓電陶瓷，除長度變形方式 (用 d31)、厚度變形方式 (用 d33)和面剪切變形方式 (用 d15)以外，還有體積變形方式 (簡稱 VE)可以利用，如圖 6－ 7e所示。這時產生的表面電荷密度按下式計算 3 3 1 1 3 2 2 3 3 3q d d d? ? ?? ? ?山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 ? 雙壓電晶片 實際應用中，如果只用單片壓晶片，要產生足夠的表面電荷需較大作用力。而 測表面粗糙度和微壓差時提供的力較小 ，故常將兩片或兩片以上壓電片組合使用。 （ 1）雙片懸臂元件 （即雙片彎曲式壓電傳感器） 當自由端受力 F時，晶片彎曲，上片受拉，下片受壓，中性面 OO長度不變。 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 圖 67a 懸臂梁 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 每個單片產生的電荷和電壓為 FblgCQUFldQ??3122318383???山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 （ 2）壓電元件的并聯和串聯 壓電材料是有極性的。 UUCC 22 ??????并聯特點：并聯 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 串聯 UUCC ?????? 22/串聯特點：山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 第二節(jié) 等效電路與測量電路 一、等效電路 壓電元件兩電極間的壓電陶瓷或石英為絕緣體，故可構成一個電容器。 ＋＋＋＋ ―――― q q 電極 壓電元件 Ca 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 電容量計算式： 壓電元件受外力作用，兩表面產生等量正、負電荷，其開路電壓為： ??? SC ra0?aCQU ?山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 結論 ：壓電傳感器可等效為一個電荷源 Q和一個電容器 Ca的 并聯電路 ，如圖 6－ 9(a)；也可等效為電壓源 U和一個電容器 Ca的 串聯電路 ，如圖 6－ 9(b)。其中， Ra為壓電元件的漏電阻。 Ca Ra Cc Ri Ci Q 電荷等效電路 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 Ca Ra Cc Ri Ci U 電壓等效電路 注意事項 ：如果用導線將壓電傳感器和測量儀器連接時 ,則應考慮 連接電纜的等效電容 ,前置放大器的輸入電阻 、輸入電容 。 山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 術語： 壓電式傳感器的靈敏度 電壓靈敏度 ku：單位力產生的電壓； 電荷靈敏度 kq：單位力產生的電荷。 aqu Ckk /?二者關系如下：山東理工大學機械學院 第六章 壓電式傳感器 二、測量電路 壓電式傳感器本身的內阻很高 (Ra≥10 10Ω) ，而輸出的能量信號又非常微弱，因此它的信號調理電路通常需要一個
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