快速熱處理ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-31 22:38 本頁面
【文章內容簡介】 高強度光源和加熱腔體設計 ? 鎢鹵燈 :Halogen lamp， 白熾燈 的加強 版 ? 與白熾燈的區(qū)別 ?鎢 鹵燈的玻璃外殼中充有一些鹵族元素氣體 (通常是碘或溴 ) ? 其工作原理 為 ? 當 燈絲發(fā)熱時， 鎢原子 被蒸發(fā)后向玻璃管壁方向移動，當接近玻璃管壁時，鎢蒸氣被冷卻到大約 800℃ 并和 鹵素原子結合 在一起，形成 鹵化鎢 (碘化鎢或溴化鎢 )。 ? 鹵化 鎢因熱流向玻璃管中央繼續(xù)移動，又 重新回到 被氧化的燈絲上，由于鹵化鎢是一種很不穩(wěn)定的化合物，其遇熱后又會重新 分解成鹵素蒸氣和鎢 ，這樣 鎢又在燈絲上沉積下來，彌補被蒸發(fā)掉的部分 。 ? 通 過這種再生循環(huán)過程，燈絲的使用 壽命 不僅得到了大大延長(幾乎是白熾燈的 4倍 )，同時由于燈絲可以工作在 更高溫度 下，從而得到了更高的亮度，更高的色溫和更高的發(fā)光效率。 15 高強度光源和加熱腔體設計 ?惰性氣體弧光燈 (nobel gas arc lamp) ?弧光燈：這種燈有兩個電極，通常是以熔點高的金屬 _鎢制成，在電極之間，電離氣體，發(fā)光。 ?在燈泡中充填的氣體，通常分成氖、氬、氪、氙、鈉、鹵化物及水銀等。 ?一般的 日光燈 , 充填了 低壓水銀氣體 的弧光燈。 16 Page 17 反應腔設計 鎢 鹵燈的消耗電能約每厘米 100W，約有 40%轉換成光能。氣體長弧放電燈每厘米發(fā)光強度 700W ，必須用水冷卻。 反應腔設計： 雙面加熱式 單面加熱式 RTP500快速熱處理設備 溫度均勻性 1).溫度測量 準確和可重復的溫度測量是 RTP工藝的最大困難之一。通常的方法有： 通常把熱電偶通過點接觸方式與加熱基片的背面緊帖，但必須對引線阻抗加以修正，并且要考慮加熱過程中引線溫度增加對溫度測量的影響。高溫下對硅片接觸還可能對硅片造成污染。 b. 高溫計非接觸式測量 原理：吸收 36微米波段的紅外光的能量，利用StefanBoltzman關系轉換成輻射溫度。優(yōu)點是無污染，缺點是由于工藝氣體的吸收、石英腔的阻擋等測量誤差較大、不穩(wěn)定。 溫度分布 溫度分布不均勻主要來源于以下方面： ① 邊緣效應 由于邊緣散熱快，熱損失大、以及工藝氣體對它的熱量傳導，造成溫度的邊緣低、中間高。 材料的輻射率可能因為硅片的摻雜等原因而不同。 實測溫度分布 ② 光照射的非均勻性 由于光源的非連續(xù)分布，及在工藝腔內漫反射的不完全，使得工藝片上的溫度不均勻。 解決的辦法主要是：將工藝腔用粗糙化很好的金或鋁材完全包封，保證產生良好的漫反射；工藝前仔細檢查燈管的發(fā)光性能，特別防止在有燈管
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