材料顯微分析選修課的原子力顯微鏡ppt(2)(編輯修改稿)
2025-03-20 10:19 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 小于排斥力，大約為1012N。 非接觸模式： 優(yōu)點：可以很好地保護樣品。 缺點： （ 1）分辨率比較低； （ 2）掃描速度比較低； （ 3）氣體的表面壓吸附到樣品表面，造成圖像數(shù)據(jù)不穩(wěn)定和對樣品的破壞。 振幅： 5100nm 輕敲模式即探針與樣品表面間歇性的輕微跳動接觸，維持探針的振幅不變，振幅大于非接觸模式，當樣品表面發(fā)生起伏時，振幅發(fā)生變化，為維持振幅不變，壓電陶瓷就會控制掃描管隨著樣品表面起伏向上或向下移動，通過記錄掃描管的位置變化，達到測試樣品表面信息的目的。 輕敲模式： 輕敲模式： 優(yōu)點：（ 1）分辨率比較高； （ 2）適用于較軟易碎及粘性樣品，不損傷樣品表面。 缺點：（ 1）掃描速度低于接觸式； （ 2）當探針敲擊較硬的樣品時，可能會損壞針尖。 18 原子力顯微鏡的特點與應(yīng)用 19 ?制樣相對簡單，分辨率高，樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究、生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗越來越微觀化的要求。 原子力顯微鏡的特點 ?非破壞性，遠比以往觸針式粗糙度儀壓力小，不會損傷樣品，不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問題。 ?應(yīng)用范圍廣，可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計處理、層間絕緣膜的平整度評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。 ?軟件處理功能強，三維圖象顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設(shè)定。并可選用網(wǎng)絡(luò)、等高線、線條顯示。圖象處理的宏管理，斷面的形狀與粗糙度解析
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