微波放電zzppt課件(編輯修改稿)
2025-02-10 16:48 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 b ? E型放電中，通常基本的導(dǎo)電電流由位移電流和傳導(dǎo)電流共同組成，放電由高頻電場激發(fā)，傳導(dǎo)電流并不閉合，放電比較弱。 ? H型放電中基本的導(dǎo)電電流具有閉合曲線的形式，由交變磁場感應(yīng)的環(huán)形電場激發(fā)的，該放電可以調(diào)節(jié)得很強(qiáng)。 E型放電和 H型放電 USTC ABCD Lab 感應(yīng)耦合放電（ H型放電） Matching Box RF Power Gas Vacuum chamber USTC ABCD Lab 微波放電（ E型放電）簡介 ? 微波放電：微波放電是將微波能量轉(zhuǎn)換為氣體分子的內(nèi)能，使之激發(fā)、電離以發(fā)生等離子體的一種氣體放電形式。 通常采用的頻率為2450MHz．屬分米波段。 USTC ABCD Lab ? 微波等離子體的發(fā)生方法 ? 采用微波放電時(shí)
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