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正文內(nèi)容

激光在精密測(cè)量中的應(yīng)用-激光干涉測(cè)長(zhǎng)(編輯修改稿)

2025-02-08 13:30 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)的組成 1. 除了邁克爾遜干涉儀以外,激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)還包括激光光源,可移動(dòng)平臺(tái),光電顯微鏡,光電計(jì)數(shù)器和顯示記錄裝置。 ,其分光器件、反射器件和總體布局有若干可能的選擇。 3. 移相器也是干涉儀測(cè)量系統(tǒng)的重要組成部分。常用的移相方法有機(jī)械移相(圖64),翼形板移相,金屬膜移相和偏振法移相。 圖 64 機(jī)械法移相原理圖 上一頁 回首頁 下
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