用橢圓偏振儀測量薄膜厚度(編輯修改稿)
2024-11-16 14:50 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 r2p=tan(φ2φ3)/tan(φ2+φ3), r2s =sin (φ2φ3)/ sin(φ2+φ3) 即著名的菲涅爾（ Fresnel） 反射系數(shù)公式． 如果能從實驗中測出 ψ和 Δ的值，原則上就可以算出薄膜的折射率 n2和厚度 d．這就是橢圓偏振法測量的基本原理 實驗儀器 橢圓偏振儀 實驗內(nèi)容 （ 1）接通激光電源和硅光電池電源，在樣品臺上放好被測樣品，將手輪轉(zhuǎn)至“目視”位置，從觀察窗看光束，調(diào)節(jié)平臺高度調(diào)節(jié)鈕，使觀察窗中的光點最亮最圓。 （ 2）調(diào)節(jié)好樣品態(tài)后，轉(zhuǎn)動起偏器刻度盤手輪，目測光強(qiáng)變化，當(dāng)光強(qiáng)最小時，起偏器位置保持不動。 （ 3）轉(zhuǎn)動檢偏器刻度盤手輪，目測光強(qiáng)變化，當(dāng)光強(qiáng)最小時，檢偏器位置保持不動。 （ 4）此時將觀察窗蓋嚴(yán)，然后將轉(zhuǎn)鏡手輪轉(zhuǎn)到光電接收位置，觀察放大器指示表（ 1011），反復(fù)交替微調(diào)起偏器、檢偏器手輪，使表的示值最小（對應(yīng)消光）。 （ 5）從起偏器刻度盤及游標(biāo)盤上讀出起
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