【正文】 的實(shí)際尺寸作為定位精度檢測(cè)時(shí)的目標(biāo)位置坐標(biāo)（測(cè)量基準(zhǔn)）。 _ix ↑ X Pi Pij↑ 0 圖 24 螺矩誤差補(bǔ)償原理 Pi 圖 8 激光干涉儀測(cè)量示意圖 中國(guó)最大的管理資源中心 第 6 頁 共 10 頁 反向間隙補(bǔ)償原理 反向間隙補(bǔ)償又稱為齒隙補(bǔ)償。 工作臺(tái) 0 Pi _B X L 圖 25 反向間隙補(bǔ)償 中國(guó)最大的管理資源中心 第 7 頁 共 10 頁 圖 27 參數(shù)索引界面 。 ? 將“反向間隙”值設(shè)為“ 0”，“螺距補(bǔ)償類型”設(shè)為“ 2 ”，“補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)”設(shè)為“ 6”，“補(bǔ)償間隔” 設(shè)為“ 100000”，“參考點(diǎn)偏差號(hào)” 為“ 5” ? 將“記錄表”中“平均位置偏差 _ix ↑”的值填入“ X 軸補(bǔ)償參數(shù)表”的“偏差值 []” 內(nèi)；既 將 _0x ↑值“ 1”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [11]” 將 _1x ↑值“ 3”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [10]” 將 _2x ↑值“ 5”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [9 ]” 將 _3x ↑值“ 2”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [8 ]” 將 _4x ↑值“ 9”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [2 ]” 將 _5x ↑值“ 11”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [6 ]” 將 _0x ↓值“ 2”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [5 ]” 將 _1x ↓值“ 4”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [4 ]” 將 _2x ↓值“ 6”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [3 ]” 將 _3x ↓值“ 8”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [2 ]” 將 _4x ↓值“ 10”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [1 ]” 圖 28 系統(tǒng)軸補(bǔ)償參數(shù)界面及單向補(bǔ)償后的數(shù)據(jù)設(shè)置 中國(guó)最大的管理資源中心 第 10 頁 共 10 頁 將 _5x ↓值“ 12”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [0 ]” 雙向補(bǔ)償后的參數(shù)如下圖 29 所示。 將“記錄表”中“平均位置偏差 _ix ↑”的值填入“ X 軸補(bǔ)償參數(shù)表” 表 23 測(cè)試記錄表 實(shí) 驗(yàn) 記 錄 機(jī)床型號(hào) ZJK2532A 測(cè)試坐標(biāo) X 測(cè)試者 機(jī)床編號(hào) 測(cè)試溫度 日 期 i= 0 1 2 3 4 5 目標(biāo)位置 Pi = 0 趨近方向 ↑ ↓ ↑ ↓ ↑ ↓ ↑ ↓ ↑ ↓ ↑ ↓ 位置 j=1 偏差 2 Xij 3 4 （μ m） 5 0 6 數(shù)據(jù)處理 平均位置偏差 _ix 1 2 3 4 5 6 2 8 9 10 11 12 反向差值 Bi 平均反向差值 Bi 的“ 偏差值 []”內(nèi)；即： 將 _0x ↑值“ 1”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [ 5 ]” 將 _1x ↑值“ 3”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [ 4 ]” 將 _2x ↑值“ 5”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [ 3 ]” 將 _3x ↑值“ 2”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [ 2 ]” 將 _4x ↑值“ 9”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [ 1 ]” 將 _5x ↑值“ 11”填入“ 偏差值（內(nèi)部脈沖當(dāng)量） [ 0 ]” 補(bǔ)償后的參數(shù)如圖 28 所示。 編制步距規(guī)的測(cè)量程序，實(shí)現(xiàn)圖 22 所示測(cè)量循環(huán)。即使未到大修