【正文】 九世紀后期，人們通過對光電應用的研究，發(fā)現(xiàn)開關解電器的觸點在打開的時候會產生放電效應，使得接觸點燒蝕，損壞了接觸面。這樣的情況下工作液先出現(xiàn)汽化，進一步發(fā)生氣化，高溫范圍向周邊延伸出去，金屬材料的表層逐步開始出現(xiàn)熔化以及氣化。在人們逐步摸索之中，電火花加工作為一類新的工藝展現(xiàn)在人們面前。不過國內在將微細電火花加工技術轉向商業(yè)化[5]和產品化方面仍遠遠落后于日本與歐美那些技術發(fā)達的國家[6]。事實上，微凸起結構所形成的粗糙表面不但沒有因為接觸面的不光滑而降低制作的機械零件表面抗磨損能力，而且很大程度上提高了使用壽命和承載能力[8,9]，實現(xiàn)了現(xiàn)代機械客觀傳動高速和重載的要求。（5）電火花成型加工技術可以加工硬度較高的工件，我們一般所遇到的加工是用硬的刀具來加工較為軟的物體，不過電加工卻是利用軟的電極來加工較硬的工件。而超聲加工既無宏觀機械作用力、沒有熱作用、不依賴于材料的導電性，又可加工確定比值的高深寬三維立體結構，加工精度和零件表面質量效果都很好，因此超聲微細加工在壓電陶瓷材料加工上具有獨特的優(yōu)勢，有著良好進步空間和發(fā)展前景。（3）就材料的要求，電火花成型加工在一般情況下適宜加工具有高熔點的金屬材料，電火花放電加工無法對非導體材料進行加工，而超聲加工大多數(shù)情況下適宜用來對硬、脆等性能的材料實施加工。（4） 電火花線切割法電火花線切割法是依靠電極絲（一般用細金屬絲），使它能夠不斷移動。同時在電極的選擇上選取100*145標準的電極板，板上為條狀的凸起，平行于長為100mm的邊，將放電間隙考慮進去，可取間隙為30um，最終使得每根齒狀凸起高200um，寬為140um，間隔為260um的相鄰條紋。在滿足加工要求的前提下，細長電極伸出來的長度要盡可能短些，這樣會提高電極的剛性。（2）夾具必須完全浸沒在電解液里面，處于密封狀態(tài)。事實上，就是固定軸來實現(xiàn)轉動的，同時控制它在軸向和徑向上的移動。第五章 加工工藝 工藝參數(shù) 在本次畢業(yè)設計中。表52 圓管微結構尺寸試件位置L(um)D(um)H(um)AA1198197154A2198196153A3195200158平均值197197155BB1204199149B2201195145B3204200150平均值203198148CC1195194152C2201195156C3196192158平均值197193155試件表面的粗糙度Ra為： 。參考文獻[1] 趙萬生 .先進電火花加工技術［M］.國防工業(yè)出版社 , 2003 :10 .[2] 曹鳳國 .電火花加工技術 .化學工業(yè)出版社 .[3] 董德生等 .群孔的微細電火花加工技術研究 .電加工與模具 .2006 ,2 : 47 ～49 .[4] 周焱 .微細加工技術研究進展 ..機械工程師 .2006 , 11 :29 ～31 .[5] 唐勇軍等 .微細電火花加工技術的最新發(fā)展 .電加工與模具 ,2005 ,增刊 :36～39 .[6] 王振龍等 .微細電火花加工技術的研究進展 .中國機械工程 ,2002 ,13（10）:894 ～898 .[7] 狄士春等 .微細電火花線切割加工技術的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢 .航空精密制造技術 ,2004 , 40（1）:12～15 .[8] 林子光等 .在機械零件表面進行激光微精處理的實驗研究 .應用激光聯(lián)刊 ,1989 ,4: 27～31 .[9] Ku. P. M，Li. K. Y，Effect of surface roughness orientation on the tentral film thickness .Elastohydro dynamic and related topics .proc of the 5th .LeedsLyon simposium on tribology .1977 .[10] 袁德 . ,1993 ,9 :23 ～24 .[11] 王振龍等 .微三維結構型腔的微細電火花加工 .微細加工技術，2000 ，1 :71 ～78 .[12] 董德生等 .群孔的微細電火花加工技術研究 .電加工與模具 .2006 . 2 . 47 ～49 .[13] 陳安駿 . ,2005 ，1 ～4 ，9 ～10 .[14] 苑偉政(李曉瑩) .微機械及微細加工技術 .機械科學與技術 ,1997 ,16（3）:503 ～504 .[15] :華中理工大學出版社，1992，1 .[16] 張勇(王振龍，胡富強，賈寶賢，李志勇，趙萬生 (哈爾濱工業(yè)大學機械工程系,黑龍江哈爾濱150001)) ) . 微細電火花加工中微細電極的制作與檢測技術研究 ,2004　,8 .[17] 蔡亦峰 . ,2002 ,9 :38 ～39 .[18] 趙波(程雪利 ,劉傳紹) .微細加工與裝備技術進展 .現(xiàn)代制造工程 ,2006 ,6 :143 ～146 .[19] 狄士春(王振龍 ,劉維東等) ．電極等損耗微細電火花加工技術[J] .電加工 ，1998(2) :1 ～3 .[20] 宋小中(劉正勛) .電致伸縮型電火花微細加工伺服系統(tǒng)的研究[J] .電加工 ,1995 (3) .[21] et Science ,1998 :236 ~247[7]M .Nesladek et al .Thin Solid Films ,1995 :184 ~188 .[22] Yoshihito Imai ，Takayuki Nakagawa ，Hidetaka Miyake ．Local actuator module for highly accurate microEDM[J] .Journal of Materials Processing Technology .2004 , 149 :328~333 .[23] seral .Surface and Coatings Technology :1991 :600~607 .致 謝經過兩個多月的時間終于完成了這篇畢業(yè)設計，在完成這項設計的過程中遇到了無數(shù)的困難和挫折，不過基本都在薛功林和于海林老師以及同學的幫助下解決了。本次畢業(yè)設計中制作出的專用夾具，通過一次裝夾同時完成對工件周向和軸向兩道工序的加工，這樣的工序降低對工件定位的難度，同時提高了加工的效率和加大了加工的行程，完成在長圓柱上的微凸起結構的加工。由于加工工件的面積會影響峰值電流、脈沖寬度，在加工中，峰值電流需要限制，不能過大，否則會導致電流密度變大，熱量非正常集中，容易導致拉弧的產生，使加工面的粗糙度值Ra增大以及加工質量下降，甚至會引起非正常放電，增大電極損耗。零部件在整個夾具中所起到的作用：通過壓板將三個螺栓擰在橡膠件上，然后經過擠壓，確保壓緊處于中間小孔中的電線，避免液體流進箱體中。c) 由于存在著反向轉矩，導致合成轉矩相應地減小，所以單相異步電動機相對其他電機來說，它過載能力較好[21]。圖41（a）、圖41（b）是兩個局部執(zhí)行模塊的原理圖，分別針對微孔加工和微細電火花成型加工所給出的。電極實物圖分別是圖33,圖34。所以最終選擇線切割法來實施電極的制作。（3）單脈沖放電法當工件與電極十分逼近的時候，由于放電間隙間存在著火花液，加工時候的電流不能流通。（2）不能加工非導體材料。隨著科技不斷發(fā)展，材料及工藝也得到不斷研究和改良，信息、電子、航空航天等高科技領域也是一天一個面目的改進，壓電陶瓷材料的制作技術與開發(fā)應用也將前途遠大，備受到社會的關注和重視。電火花成型加工的優(yōu)點：（1）電火花成型加工的過程中沒有切削力的存在，所以被加工的材料不會發(fā)生變形很大程度上保證其加工精度。把彈性力學與流體潤滑理論相結合所建立起來的彈流潤滑理論，它是一個可以解決滾動接觸的潤滑理論。目前,大多數(shù)發(fā)達國家的微細電火花加工技術已進入工業(yè)生產應用階段,甚至步入商業(yè)銷售階段,例如美國麥威廉斯、瑞士夏米爾、日本松下精機等公司在這方面尤為突出。區(qū)別于機械加工，電火花加工是一種完全不同的新工藝。因為通道的截面太過細微，通道內受熱膨脹所形成的壓力最高可達幾萬帕，這樣的情況下，高溫高壓的放電通道以一個難以想象的速度擴展，產生一個強烈的沖擊波輻射到四周。 fixture。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。這種放電效應在電極產起的燒蝕現(xiàn)象我們稱之為電腐蝕。最終氣化后的金屬蒸氣和工作液會一瞬間體積增長，導致了形如爆炸的性質。一般來說電火花加工主要特點：可以加工任何韌、強、脆、硬和純等高性能的導電材料；加工的時候沒有很明顯的機械力，非常適合用到對微細結構和低剛度工件進行加工；通過調節(jié)脈沖參數(shù)實現(xiàn)在一臺機床上進行粗，半精和精加工；電火花加工后的形成的表面呈現(xiàn)凹形，用于貯油和削弱噪聲；電火花加工的生產效率明顯比切削加工低；加工過程受放電能量影響，有一些能量會在工具電極上出現(xiàn)消耗，損傷電極，從而影響了加工的精度。就全世界微細加工領域來看，歐美這些國家突出對硅原料實現(xiàn)微結構的加工制作，就這細分下來的領域技術人員普遍稱為微細電子機械領域。所以來說，微彈流動力潤滑理論是能過成為潤滑理論這一領域的重大突破。（6）電火花成型加工不會因為像存在R角的銑加工