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復旦大學(微電子)半導體器件第八章mosfe(留存版)

2025-06-26 23:29上一頁面

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【正文】 sh DSchDSDS VVVLWCWLRVRVI ???? ?可調(diào)電阻 嚴格推導(考慮到 VDS 對溝道中反型電子濃度的影響): 強反型條件下( VGS VT) VDS 較小時 ? ? ?????? ??? 221 DSDSTGSnoxDS VVVVLWCI ? LWC nox ?? ?跨導參數(shù) (1) 當 VDS = VDSsat 時 定義 VDSsat ? VGS ? VT Qn(L) = 0 反型電子消失 溝道被 夾斷 ? ?? ? ? ? ?????? ????? 221 TGSTGSTGSnoxDS VVVVVVLWCI ?MOSFET 的飽和區(qū) Leff ?L y ? ? 22 2121 DSs atTGSnox VVVLWC ?? ???(2) 當 VDS VDS sat 時 夾斷點左移,有效溝道縮短 ?????? ?????? LLLLLL e ff 1221DSs atDSs atDS VII ???IDSsat 不飽和, 溝道長度調(diào)制效應(yīng) NMOS(增強型) NMOS(耗盡型) PMOS(增強型) PMOS(耗盡型) 四種 MOSFET 的輸出特性 溝道長度調(diào)制效應(yīng) ? 溝道長度調(diào)制效應(yīng)使輸出特性的飽和區(qū)發(fā)生傾斜。 亞閾值特性 溝道長度調(diào)制效應(yīng) ? 溝道長度調(diào)制效應(yīng)會導致飽和電流區(qū)伏安特性傾斜。 ? 畫 CMOS結(jié)構(gòu)的示意圖。 ? 通常硅表面的電子和空穴的遷移率約為: ? 垂直表面的電場越強表面遷移率越小。 VDS ? Ey ? 當 Ey ? Ec 時,溝道擊穿 電子:溝道 ? D 溝道 ? SiO2 空穴:溝道 ? B (3) 漏源勢壘穿通 n+ n+ pSi VGS VDS S B E(x) x 0 L DsAPT VLqNV ???22擴散勢 V D MOSFET 的柵擊穿 SiO2 擊穿電場 Ec = (5~10)?106 V/cm Eg. Cox = 1 pF, tox = 100 nm, Q = (5~10)?10?11 C V / c m 105 6???oxoxox CtQE ? n+ n+ pSi G D n+ S 柵擊穿! 齊納二極管 (隧道二極管) dtdVC GDGDdtdVC GSGSMOSFET 的電容 n+ n+ … … G S D iG iS iD CGSO CGDO CJS CJD CGB B MOSFET 的高頻等效電路 最高振蕩頻率 GSmimCgCgf?? 22m ax ??gmvGS + ? ? G S D CGS gD?1 S ? + CGD = 0(飽和區(qū)) vGS 其中(飽和區(qū)) ?
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