【摘要】蒸汽噴射真空泵的工作原理2009-8-19??蒸汽噴射真空泵是利用流體流動時的靜壓能與動能相互轉(zhuǎn)換的氣體動力學(xué)原理來形成真空。具有一定壓力的水蒸汽通過拉瓦爾噴嘴喉徑時達(dá)到聲速,到噴嘴的擴(kuò)散部時,靜壓能全部轉(zhuǎn)化為動能,達(dá)到超聲速,同時噴嘴出口處形成真空,被抽氣體在壓差的作用下,被抽入吸入室,和以超聲速的蒸汽一邊混合一邊進(jìn)入文丘里管,然后以亞聲速從文丘里的擴(kuò)散管
2025-08-23 16:35
【摘要】????IC產(chǎn)業(yè)可分為設(shè)備業(yè)、設(shè)計(jì)業(yè)、加工業(yè)和支撐業(yè)(包括硅晶圓、各種化學(xué)試劑、氣體、引線框架等)。IC加工業(yè)本身按其順序可分為光掩膜業(yè)、制造業(yè)(包括IDM#模式和Foundry##模式)、封裝業(yè)和測試業(yè)。IC制造流程見圖一?!ED晶片生產(chǎn)流程圖:晶圓的生產(chǎn)工藝流程
2025-06-24 12:36
【摘要】 渦旋真空泵是一種無油容積式機(jī)械真空泵,具有結(jié)構(gòu)簡單,有效容積利用系數(shù)大,壓縮比大,在較寬的壓力范圍內(nèi)具有較穩(wěn)定的抽速,真空度高,驅(qū)動力矩小,功率變化小,振動噪聲低,可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。本文介紹了渦旋真空泵的發(fā)展、目前不同結(jié)構(gòu)型式產(chǎn)品的工作原理、間隙和密封、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、存在的技術(shù)問題及相應(yīng)的解決方法等。1、渦旋真空泵的研究進(jìn)展 渦旋理論是法國人LenoCreux于1905年以可逆轉(zhuǎn)的渦旋
2025-06-07 19:19