【正文】 晶粒尺寸的納米晶材料。 以上主要對(duì)納米材料的分類(lèi)、相關(guān)的應(yīng)用領(lǐng)域及其物理的制備方法進(jìn)行了較系統(tǒng)的概述，在此基礎(chǔ)上來(lái)促進(jìn)納米材料的物理制備方法的新發(fā)明。它是一個(gè)無(wú)外部熱能供給的、干的高能球磨過(guò)程，是一個(gè)由大晶粒變?yōu)樾【Я５倪^(guò)程。 1963年，Ryozi Uyeda等人用氣體蒸發(fā)（或“冷凝”）法獲得了較干凈的超微粒，并對(duì)單個(gè)金屬微粒的形貌和晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了電鏡和電子衍射研究。由于尺寸小、比表面大和量子尺寸效應(yīng)等原因，它具有不同于常規(guī)固體的新特性，也有異于傳統(tǒng)材料科學(xué)中的尺寸效應(yīng)。9 / 10納米材料的物理制備方法 摘比如，當(dāng)尺寸減小到數(shù)個(gè)至數(shù)十個(gè)納米時(shí)，原來(lái)是良導(dǎo)體的金屬會(huì)變成絕緣體，原為典型共價(jià)鍵無(wú)極性的絕緣體其電阻大大下降甚至成為導(dǎo)體，原為ｐ型的半導(dǎo)體可能變?yōu)椋钚汀?984年，Gleiter等人[1]用同樣的方法制備出了納米相材料TiO2。此法可合成單質(zhì)金屬納米材料，還可通過(guò)顆粒間的固相反應(yīng)直接合成各種化合物（尤其是高熔點(diǎn)納米材料）:大多數(shù)金屬碳化物、金屬間化合物、ⅢⅤ族半導(dǎo)體、金屬氧化物復(fù)合材料、金屬硫化物復(fù)合材料、氟化物、氮化物。 　低能團(tuán)簇束沉積法（ＬＥＢＣＤ）制備 納米薄膜該技術(shù)也是新近出現(xiàn)的，由Paillard等人[11]于1994年初發(fā)展起來(lái)。此法可有效地控制沉積在襯底上的原子數(shù)目。 　非晶晶化法制備納米晶體 這是目前較為常用的方法（尤其是用于制備薄膜材料與磁性材料）。比如Morokhov等人[3]早在1977年就首次制備成功了納米晶材料并研究其性質(zhì)。從技術(shù)應(yīng)用的角度講，納米顆粒的表面效應(yīng)等使它在催化、粉末冶金、燃料、磁記錄、涂料、傳熱、雷達(dá)波隱形、光吸收、光電轉(zhuǎn)換、氣敏傳感等方面有巨大的應(yīng)用前景。 關(guān)鍵詞：納米材料；納米微粒；納米薄膜；納米固體；物理制備方法；濺射 1　引言 早在1959年，著名科學(xué)家Feynman Richard就曾設(shè)想，有一天如果能按自己的愿望任意擺布原子的排列，人類(lèi)就