【正文】 獲得情報則愈多，其計算式為 ? 因子水準(zhǔn)數(shù) 1 = 自由度 ? 。 Rene Kao 2020/7/7 25 參數(shù)設(shè)計之觀念 A1 A2 y 要 因 A B1 B2 y 要 因 B 先利用非線性關(guān)係把 變異縮小 利用線性關(guān)係把特性 平均值調(diào)整到目標(biāo)值 上 目標(biāo)值 m Rene Kao 2020/7/7 26 參數(shù)設(shè)計的步驟 步驟 明白確定設(shè)計的目的 步驟 檢討目的特性及因素 步驟 因素的配置 步驟 決定實驗程序， 進(jìn)度安排 步驟 實驗和取得數(shù)據(jù) 步驟 數(shù)據(jù)的解析和最適條件的決定 步驟 最適條件下效果的推定 步驟 確認(rèn)實驗 Rene Kao 2020/7/7 27 參數(shù)設(shè)計之應(yīng)用實例 步驟一：設(shè)計的目的 半導(dǎo)體用矽晶圓上的鎳鎘電鍍膜，必頇開發(fā)沒有電解質(zhì)電鍍的電鍍法，電鍍膜被要求的特性是晶圓面上的電鍍膜厚，晶圓面上的變異必頇在 177。 :由外部因素所引起的雜音，如 :溫度 、 環(huán)境變異 …… 。 Rene Kao 2020/7/7 9 損 失 函 數(shù) (Loss Function) 當(dāng)品質(zhì)特性從其目標(biāo)值因變異而偏移時 ， 該產(chǎn)品之 品質(zhì)損失結(jié)果將趨近於拋物線二次方程式 ， 意即損失不 應(yīng)只是合格 /不合格 (GO/NO GO)二分法來討論 ， 而是具 有連續(xù)性的特質(zhì) 。 系 別 ２系 ３系 混合系 直交表名稱 因素各數(shù) 水準(zhǔn)數(shù) 實驗次數(shù) 多元配置的次數(shù) 4L 8L 16L23? 27? 215?9L 27L 12L 18L34? 313? 211? 37 21??4 8 16 9 27 12 1832 72 152 43 133 112 732??Rene Kao 2020/7/7 16 Expt. No. Column 1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7 8 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 2 2 1 2 2 1 1 2 2 1 2 2 2 2 1 1 2 1 2 1 2 1 2 2 1 2 2 1 2 1 2 2 1 1 1 2 1 2 2 1 2 1 1 1 成份 a b ab c ac bc abc 直交表 (A) (B) (C ) (D) 實驗 1 2 3 4 5 6 7 結(jié)果 1 2 3 4 5 6 7 8 1 1 1 1 1 1 1 12 1 1 1 2 2 2 2 13 1 2 2 1 1 2 2 21 1 2 2 2 2 1 1 18 2 1 2 1 2 1 2 22 2 1 2 2 1 2 1 19 2 2 1 1 1 2 1 20 2 2 1 2 1 1 1 17 (i) 無交互作用的分析 (A,B,C,D四種控制因子 ) ? ?78 2LRene Kao 2020/7/7 17 Column Column 1 2