微波放電zzppt課件(2)(留存版)
【正文】 距離等于 x，則有 0 c osE E t??USTC ABCD Lab 由于外加電壓反向之前最大的有效時(shí)間是 T/4，則 則電場(chǎng)的最大頻率為 當(dāng)電場(chǎng)頻率超過 fmax時(shí)，正離子會(huì)在空間集聚。 高頻放電 USTC ABCD Lab ? 在交流放電中，頻率對(duì)擊穿電壓的影響很大，一般情況下高頻比低頻的擊穿電壓低。 E型放電和 H型放電 USTC ABCD Lab 感應(yīng)耦合放電（ H型放電） Matching Box RF Power Gas Vacuum chamber USTC ABCD Lab 微波放電（ E型放電）簡介 ? 微波放電：微波放電是將微波能量轉(zhuǎn)換為氣體分子的內(nèi)能，使之激發(fā)、電離以發(fā)生等離子體的一種氣體放電形式。 USTC
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