【正文】 （圖五） （圖六） 27 BH Position Calibration Step Gauge 調(diào)整步驟： SETUP Menu ?Calibration Menu ?BH Position Calibration ETorch移開 (避免進行校正時 , ETouch和 Step Gauge 發(fā)生碰撞 , 造成 ETorch損壞 ) Setup Sensor (),按下 ”1” , 關閉 Bond Head 電源 ,此時 Bond Head 為不咬電的狀況 ,接著移動 XY Table , 將 Capillary移至 Step Gauge “” 的位置如 (圖 1) (若 Bond Head 無法放至 Step Gauge “” 的位置 ,請檢查 Capillary高度、 Top Plate 高度并重新調(diào)整 Step Gauge “” 及 “” 的位置 ) 圖 1 28 Z軸 Sensor amp 歸零 .(Spec 為 2040~2048)歸零方法如下述 : (1) 先將 amp 的撥鈕由 ”Lock” 撥至 ”Free”, 接著按下歸零 鍵 ”Zero” (2) 再將 amp 的撥鈕由 ” Free” 撥至 ” Lock” 即完成歸零 Capillary自 Step Gauge 移開 ”1” 選擇 ”Warn reset bondhead”, 將 Bond Head 電源打開 (此時 Bond Head 恢復咬電狀態(tài) ) ”2”選擇 ”Set(7mm) step”, 按 ”Pg Dn amp。 WORKHOLDER CENTER LINE 檢查步驟 : 1. 放入 W/H amp。此讀數(shù)應為 “–56”。 3. 用顯微鏡檢查 leadframe PAD 是否在熱壓凹槽中央。 4. 進入 Main Menu ? Setup Menu ? Contact Search 選擇 “1” 利用 Bondhead 測量其后軌內(nèi)緣 ( SURFACE ?C? ) 之高度 , 測量 5 次后記錄數(shù)值。 SCREW B。 開固定螺絲 SCREW A amp。 2. 在沒有導線架的狀態(tài)下 ,彈簧檔板必須與電磁 閥密合 ,如沒有密合則松開兩個SCREW 螺絲調(diào)整。一體成型的前、后軌導上蓋可加強導線架的保護 ,并且進一步維持輸送的準確性。 ADJUTMENTS………………………………………………. 34 ALIGNMENT OF WIRE CLAMP AND CAPILLARY…… 35 ETORCH CHECK amp。 W/H menu?Diagnostic?track solenoid,選擇右邊輸送器右爪之電磁閥功能 ,將導 線架夾住。 。 SCREW C 控制預熱平臺高度 ,使其調(diào)整至適當位置，切勿將平臺高度調(diào)整過高導致導 線架離開軌道上緣。 8 熱板水平、高度之檢查與調(diào)整 檢查水平步驟 : 1. 將 transducer 裝上 capillary 2. 進入 Set up menu Bond Tip Offset 3. 記錄 X , Y offset 數(shù)值 4. Press 1 Key in X , Y 數(shù)值 0 , 0 5. 進入 Set up menu Ctact search 6. 移動 Table 使 capillary tip 在 topplate 正上方 7. Press “ 1” ( Ctact die ) Bond head 將會作 contact 并顯示 Contact Level 8. 檢查 topplate 四個角落 contact level (如下圖 )不可超過 3 parameter step ( 異常請通知 ASM Service ) 9 檢查高度步驟 : 1. 進入 Main Menu ? Shift + O/C Trk等待軌道打開。D 并檢查前后水平是否正常。 調(diào)整步驟 : 1. 將情況良好的導線架置于熱板的凹槽處，將導線架底部適當定 位于熱板中。 （圖三） Pulley Screw 20 INDEXER TUNNING CHECK amp。 （圖三） （圖四） 26 4. 由側面看接觸面必須沒有空隙（如圖五）。 高度設定 調(diào)整步驟： SETUP Menu ?Calibration Menu ?BH Position Calibration ETorch移開 ,松開 Proximity Sensor 的固定螺絲與設定擋板 Limited Position 的螺絲 (如圖 3) Setup Sensor (),按下 ”1” , 關閉 Bond Head 電源 ,此時 Bond Head 為不咬電的狀況 ,接著移動 XY Table , 將 Capillary移至 Step Gauge “” 的位置 (如圖 4), 將 Proximity Sensor向前推緊同時使用 Bond Head 位置至 Step Gauge “” 的位置 ,輕輕鎖緊設定擋板 Limited Position 的螺絲 BH Position Calibration 1~10 的校正步驟 30 Bond Force Calibration (Use Sensor) (Bond Force Sensor) 調(diào)整步驟： MAIN menu? 按 O/C Trk key 將軌道打開 , 并且進入 Utilities Menu ?Power Control選項關閉加熱器電源 , 讓加熱器降至常溫 Window Clamp 及 Top Plate 移開 , 同時將 Force Sensor Top Plate 置放于加熱器上 , 如 (圖 3) (圖 3) XDCR的信號 線接到 Force Sensor Top Plate 上 , 將 Scope的信號線接到 Z Servo Board的 Force Cal 孔 , 并且將 BQM 板上的 F 接頭取下 , 如 (圖 5) 此信號線連接至 Force Sensor 的 XDCR 此信號線連接至 Z Servo Board的 Force Cal 孔 此信號線連接至 Force Sensor Top Plate 31 PASSWORD 2020 (圖 5) Setup? Calibration ? ?”Bond Force Calibration” 內(nèi) , 選擇 ”Bond Force Calibration(Snr)” 選項 Force Sensor Constant Value , (其 Constant Value 計算如下述 )若 average sensitivity=(mv/N) (mv/N) =(mv)/(1000/) (g) =(mv/g) =(g/mv)故 Constant Value =2021 Capillary移至 gauge 上方 , Sensor 的正中央 , 按下 ”Enter” 進行校正 ”Stop” 跳出 Calibration畫面 , 接著進入 ”Force Verification” , 輸入測試值 , 并且檢查回授值是否合于 Spec , 其 Spec 如下 : 測試值 回授值 0~200 測試值 +3 201~400 測試值 +5 Spec , 請重復上述步驟 此信號線連接至Force Sensor 的 Scope 32 BOND FORCE CALIBRATION amp。R Xele (2) 調(diào)整 X motor的補償值 2. MGZN Guide 之空隙調(diào)整 : (1) 進入 WH menu? Service? Mv Dep Data ? Lamp。 5. 將這兩個讀數(shù)相加 (–56 + (–22) = –78 ) 6. 將讀數(shù)分成一半 (–78 / 2 = –39 ) 7. 設定 M1 = –39 8. 設定 M2 = M1 – (–3) ? M2 = –36 16 M1 and M2 設定指導方針 : 順序 設定項目 模式 設定壓力 1 零點調(diào)整 感應模式 ，并按零點調(diào)整鍵 ，若存在有大氣壓力以外的任何壓力， ”E3”便會顯示出來 2 M1 設定 M1 設定模式 設定 M1 ”UP”或 ”O(jiān)L” 3 M2 設定 M2 設定模式 設定 M2 M1 設定模式相同的程序 4 感應模式 按模式選取開關以終止設定 錯誤訊息 原因 恢復 E1 因負載電流過大而發(fā)生負載短路 關掉電源并檢查負載 E3 調(diào)整零點時，若存在有大氣壓力以外的任何壓力 施以大氣壓力并重做零點調(diào)整 所施壓力超過限定壓力范圍 減少所施壓力，使在感應壓力范圍內(nèi) 17 升降臺之皮帶張力檢查 F d E le va t o r X AxisT iming Bel tE le va t o r Y AxisT iming Bel t E le v a t or Z Ax isTiming Be lt 檢查步驟 : 1. 移開 Input / Output 升降臺之機臺左右外蓋 2. 檢查 Input / Output 升降臺之 X , Y , Z皮帶張力 3. 使用 推 /拉 力表下壓皮帶 , 檢查皮帶張力 ( F )必須為 1Kgf , 此時皮帶下壓距離 ( d ) 必須在 2 ~ 3 mm 之間 18 INDEXER HOME POSITION CHECKamp。 3. 將 SCREW A二個固定螺絲放松 ,轉動 Y ADJUST NUT將熱板凹槽調(diào)整至 leadframe PAD 中央。 7. 檢查后軌高度與基準平面熱板高度必須相同。 W/H menu?Diagnostic?track solenoid,選擇右邊輸送器右爪之電磁閥功能 ,將導線架夾住。 。 2. 移動厚薄規(guī)檢查間隙是否正確。 ,推或拉導線架 ,其讀數(shù)不可小于 500g 500g則需調(diào)整勾爪之機械位置。 WORKHOLDER CENTER LINE……………………………………………...………….. 22 SETUP ELEVATOR XAXIS amp。 3. 如果間隙不正確則須松開 SCREW B 調(diào)整 HOOK 位置。 3. 重新檢查皮帶張力。 調(diào)整步驟： 。 2. 移動厚薄規(guī)檢查間隙是否正確。 3. 固定 OFFSET PIN 并鎖緊 SCREW E 四個固定螺絲。 KNOB 鎖緊。 4. 鎖緊 Pulley Screw 并將 indexer 歸位。 （圖二） （圖一） 25 檢查與調(diào)整步驟： TRANSDUCERTOOL DATUMPLATFORMTOOL DATUMTOP PLATEGAP ADJUSTTOZEROCL A M P I NGS CR E WS CR E W AS CR E W A 1. 由正面看接觸面必須沒有空隙（如圖三）。 ALIGNMENT 檢查步驟 : 5. 請正確使用 Capillary gauge 來鎖針的高度 6. 進入 MAIN menu ? Parameter menu ? Bond Parameter ? EFO Fire Level 7. 選擇 A 項 (Auto teach fire level) 使用 ” F1 “ 鍵改變步數(shù) , 然后將 Bondhead 向下移動直到 Capillary 邊緣接近 E